一种用于镀膜设备的监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于镀膜设备的监控装置，用来监测镀膜设备的内部状态和故障，属于太阳能电池镀膜设备技术领域。解决连续镀膜设备内的故障及工作状况监控等技术问题，用于镀膜设备的监控装置，该监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。本实用新型专利技术结构简单，当需要了解连续镀膜机腔室内状态或者锁定故障位置时，将该监控装置随镀膜基片一起传送入真空腔室内，监控装置通过数据线和控制器将镀膜设备的状况反馈到外部显示器，可以准确的掌握镀膜机状态。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于镀膜设备的监控装置，监测连续式镀膜设备的内部状态和故障，属于太阳能电池镀膜设备

技术介绍
目前，连续式镀膜设备可实现自动化生产，已被镀膜行业广泛应用。现有连续式镀膜设备在镀膜时出现问题或故障时，因不能确定故障位置及原因，通常需要打开所有腔室进行检查，才能看到腔内的状况。但是打开腔室后，真空度下降，且真空恢复时间长，影响产品品质。中国专利ZL 201120565822.6《一种具有检测装置的磁控溅射靶》公开了一种可以直接监测靶材消耗程度的装置，但并不能反应腔室内其它情况，因此需要开发一种不需要打开腔室就可以观察到腔内情况的监测装置。
技术实现思路
针对现有镀膜设备无监控功能的不足，本技术设计了一种用于镀膜设备的监控装置，解决连续镀膜设备内的故障及工作状况监控等技术问题，监控装置可以在不打开连续镀膜设备腔室的情况下直接进入腔室内部，在生产状态随基片进入连续镀膜设备各腔室进行工作，检测腔室内的设备情况，判断镀膜设备的故障或工作情况。为了实现以上任务，本技术采用的技术方案是:一种用于连续式镀膜设备的监控装置，其主要技术特点是监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。监控装置的外箱体是一个装有控制器的非密封箱体。监控器是集闪光照相和录像功能为一体的照相机或摄像机，该监控器与控制器连接。控制器具有无线信号接收数据线，该数据线与监控器的的信号线连接，控制监控器工作。监控装置的内箱体由顶盖、侧壁和底板组成，是一个能承受一个大气压压差的密封箱体，该密封箱体置于外箱体内部，内箱体的顶盖为高硼硅玻璃，其余五个面为不锈钢抛光板。监控装置的外箱体由顶盖、侧壁和底板组成的非密封箱，其顶盖和侧壁均为玻璃材质。外箱体的顶盖玻璃镀有复合膜层，外箱体的侧面为镀银及保护层的玻璃，底板为中空隔热板。监控装置还包括遥控器，该遥控器位于镀膜设备外，遥控监控器工作。监控装置的内箱体采用密封结构，因此可采用普通照相机放置于大气状态的内箱体内，而不需要采用特殊的照相机，降低了装置的成本。监控装置的外箱体为非密封结构，工作时，由于处在真空状态的腔室内，因此造成了内、外箱体的空间间隔为真空，阻断了向内箱体的热传递，顶盖及侧壁采用多种溅射镀层，阻隔了向内箱体的热辐射，底板采用中空隔热板，隔离了工作时设备或基片对内箱体的热传递，因此内箱体升温很小，保护照相机免受热影响。本技术的积极效果:设计的用于连续式镀膜设备的监控装置结构简单，当需要了解连续镀膜机腔室内状态或者锁定故障位置时，将该监控装置随镀膜基片一起传送入真空腔室内，监控装置通过数据线和控制器将镀膜设备的状况反馈到外部显示器，可以准确的掌握镀膜机状态，如靶材消耗，气管，遮罩镀层等等情况，也可以在故障发生时，准确锁定故障位置，非常有目的性的进行打开腔室，减少不必要的工作。附图说明图1:本技术的结构爆炸图。图2:本技术的结构示意图。图中:1、照相机，201、内箱体侧壁，202、内箱体顶盖，203、内箱体底板，301、外箱体侧壁，302、外箱体顶盖，303、外箱体底板，4、控制器。具体实施方式一种用于连续式镀膜设备的监控装置，主要包括照相机，控制器，内箱体，外箱体，遥控器，照相机置于密封的内箱体，内箱体置于非密封的外箱体，控制器置于外箱体内。照相机放置于内箱体，具有闪光照相及录像功能，与控制器相连；控制器处于外箱体，含无线信号接收天线，天线穿出箱体，并通过穿透内箱体的信号线控制照相机工作。内箱体由顶盖、侧壁和底板组成，能承受一个大气压压差，内箱体置于外箱体内部，顶盖为高硼硅玻璃，其余五个面为不锈钢抛光板。外箱体由顶盖、侧壁和底板组成，为非密封箱，除底板外，均为玻璃材质，顶盖玻璃镀有复合膜层，为银及金属氧化物数层，该面对可见光透过率好，对红外辐射反射率高，四侧面为镀银及保护层的玻璃，能有效反射200-500°C的腔室内温度所产生热辐射中主要波段，底板为中空隔热板；遥控器在镀膜设备的腔室外使用，当装置运动到腔室内既定位置时，透过镀膜设备的玻璃观察窗向装置发射信号，使照相机在所需的位置进行照相或录像。本实施例主要由照相机1、内箱体、外箱体、控制器4和遥控器组成，内箱体由内箱体侧壁201、内箱体顶盖202和内箱体底板203组成密封箱体，照相机I放置其内，外箱体由外箱体顶盖302和外箱体底板303通过螺栓连接在外箱体侧壁301上组成非封闭箱体，内箱体和控制器4放置其内，照相机I和控制器4相连，控制器4由遥控器控制接收信号。当用于在线查看靶面消耗状况或反应溅射中靶面中毒状况，将该装置放在基片上，进入真空腔室内，当运行至靶面时，关闭溅射设备辉光，通过遥控器的信号透过设备观察窗，经穿出外箱体的控制器4的天线接收，控制器4发出电信号给照相机1，照相机I闪光照相，装置随基片从出料口传出，读取照片，可观察靶面状况，为换靶或工艺调整提供决策依据。当查看数个腔体脏污情况时，将照相机I调为录像模式，放入内箱体中，并将一照明灯同时放入内箱体，提供光照，接好控制器4的控制线，将内箱体放入外箱体中，将该装置放在基片上，进入真空室后对所有腔体录像，装置随基片从出料口传出，或者监控装置通过数据线和控制器将镀膜设备的状况反馈到外部显示器，读取录像，为维护保养提供依据。权利要求1.一种用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。2.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置的外箱体是一个装有控制器的非密封箱体。3.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控器是集闪光照相和录像功能为一体的照相机或摄像机，该监控器与控制器连接。4.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述控制器具有无线信号数据线，该数据线与监控器的的信号线连接，控制监控器工作。5.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置的内箱体由顶盖、侧壁和底板组成，是一个能承受一个大气压压差的密封箱体，该密封箱体置于外箱体内部，内箱体的顶盖为高硼硅玻璃，其余五个面为不锈钢抛光板。6.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置的外箱体由顶盖、侧壁和底板组成的非密封箱,其顶盖和侧壁均为玻璃材质。7.根据权利要求6所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述外箱体的顶盖玻璃镀有复合膜层，外箱体的侧面为镀银及保护层的玻璃，底板为中空隔热板。8.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置还包括遥控器，该遥控器位于镀膜设备外，遥控监控器工作。专利摘要本技术涉及一种用于镀膜设备的监控装置，用来监测镀膜设备的内部状态和故障，属于太阳能电池镀膜设备
解决连续镀膜设备内的故障及工作状况监控等技术问题，用于镀膜设备的监控装置，该监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龙鹏，李毅，胡强，宋光耀，刘宪秋，盛国浩，
申请(专利权)人：深圳市创益科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：