蒸镀遮罩、蒸镀方法及蒸镀遮罩之制造方法技术

本发明专利技术提供一种用于在显示面板基板上形成电致发光材料层的蒸镀遮罩，该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。由于本发明专利技术之蒸镀遮罩于主体膜内掺杂磁性颗粒使得主体膜具有磁性，蒸镀遮罩借助磁性颗粒的磁力固定，主体膜采用较易加工的树脂材质来代替现有技术之金属材质的蒸镀遮罩，有助于提高蒸镀之精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种蒸镀遮罩、蒸镀方法及蒸镀遮罩之制造方法。
技术介绍
目前之有机电致发光显示面板通过在基板上蒸镀有机发光物质以将有机发光物质形成在基板上。蒸镀遮罩一般选用金属材质，蒸镀时藉由一磁铁将基板与蒸镀遮罩紧密接合，蒸镀遮罩上之遮罩图案通常藉由蚀刻方式进行加工。然，于金属材质上加工图案的精细程度较难控制，从而影响蒸镀之精度。
技术实现思路
鉴于以上问题,有必要提供一种高精度之蒸镀遮罩、蒸镀方法及蒸镀遮罩之制造方法。一种蒸镀遮罩，用于在显示面板基板上形成电致发光材料层，该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在该主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一所述像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。一种蒸镀方法，该方法包括如下步骤：将该蒸镀遮罩贴置于显示面板基板上方；从该蒸镀遮罩一侧向该显示面板基板提供电致发光材料，以于该显示面板基板上形成电致发光材料层。一种蒸镀遮罩之制作方法，该蒸镀遮罩用于在显示面板基板上形成电致发光材料层，该方法包括如下步骤：形成一主体膜，并在形成该主体膜的过程中掺入磁性颗粒；在该主体膜上定义出至少一像素区域，并在该至少一像素区域上形成蒸镀所需之第一开口。本专利技术之蒸镀遮罩于主体膜内掺杂磁性颗粒使得所述主体膜具有磁性，在蒸镀过程中所述蒸镀遮罩借助所述磁性颗粒的磁力固定，所述主体膜采用较易加工的树脂材质来代替现有技术之金属材质的蒸镀遮罩，有助于提高蒸镀之精度。附图说明图1是本专利技术第一实施方式所提供之蒸镀遮罩的结构示意图。图2是图1中蒸镀遮罩沿II-II线之剖视图。图3是本专利技术第一实施方式所提供之蒸镀遮罩制作方法的步骤流程图。图4至图7是图3中各步骤流程的示意图。图8是本专利技术第二实施方式所提供之蒸镀遮罩的结构示意图。图9是图8中蒸镀遮罩沿IX-IX线之剖视图。图10是本专利技术第二实施方式所提供之蒸镀遮罩制作方法的步骤流程图。图11至图14是图10中各步骤流程的示意图。图15是本专利技术第三实施方式所提供之蒸镀遮罩的结构示意图。图16是图15中蒸镀遮罩沿XVI-XVI线之剖视图。图17是本专利技术第三实施方式所提供之蒸镀遮罩制作方法的步骤流程图。图18至图25是图17中各步骤流程的示意图。图26是使用本专利技术所提供之蒸镀遮罩进行蒸镀的步骤流程图。主要元件符号说明蒸镀遮罩100，200，300第一框架110，210，310第二开口111，211，311主体膜120，220，320像素区域121，221，321第一开口1211，2211，3211磁性颗粒130，230，330第二框架340第三开口341第二基板10第一表面11第二表面12光阻层20光阻层图案21光学掩膜30激光L如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式请一并参照图1及图2，图1是本专利技术第一实施方式所提供之蒸镀遮罩100的结构示意图。图2是图1中蒸镀遮罩100沿II-II线之剖视图。本专利技术第一实施方式提供一种蒸镀遮罩100，用于在基板上形成电致发光材料。具体地，该蒸镀遮罩100可用于在显示面板（例如手机显示面板或计算机显示面板等）（图未示）基板上形成有机电致发光材料层。该蒸镀遮罩100包括第一框架110、主体膜120及磁性颗粒130。该第一框架110贯穿开设有一第二开口111，该第一框架110呈中空的口字形。该磁性颗粒130掺杂在该主体膜120的内部，在本实施方式中，该磁性颗粒130均匀地掺杂在该主体膜120的内部，该磁性颗粒130的掺杂量可根据实际需求调整，在其他实施方式中，该磁性颗粒130也可根据实际需求调整掺杂在该主体膜120内部的均匀度。掺杂有该磁性颗粒130的该主体膜120贴附于该第一框架110的表面，使该第一框架110支撑于该主体膜120周侧以起支撑和加强的作用。该主体膜120上具有一像素区域121，该像素区域121与所述显示面板对应，本实施方式中，藉由激光L于该像素区域121上形成蒸镀所需要的多个第一开口1211。在其他实施方式中，也可以通过蚀刻的方式形成所述第一开口1211。该多个第一开口1211均显露于所述第二开口111。在其他实施方式中，该蒸镀遮罩100也可以不包括所述第一框架110，而仅由掺杂有所述磁性颗粒130的所述主体膜120构成。该第一框架110可为玻璃材质或磁性金属材质，在本实施方式中，该第一框架110为因瓦合金（Invar）材质。该主体膜120与所述第一框架110通过焊接或黏接的方式结合在一起。此外，由于所述磁性颗粒130的存在，所述主体膜120通过所述磁性颗粒130的磁力进一步与具有磁性的该第一框架110相吸附。在其他实施方式中，当该第一框架110使用玻璃材质时，所述主体膜120通过黏接的方式与所述第一框架110结合在一起。该主体膜120为树脂材料，例如聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇或聚醚砜中的任一种。在本实施方式中，该主体膜120为聚酰亚胺树脂(Polyimide resin)。形成于该主体膜120上的所述多个第一开口1211的大小和形状根据实际蒸镀的需要确定。所述第一开口1211的形状可以是正方形、矩形、圆形、椭圆形或者其它规则多边形或不规则多边形。本实施方式中，所述第一开口1211为正方形。该磁性颗粒130可以为球形、椭圆形或无规则多边形，本实施方式为球形，其中，球形结构的该磁性颗粒130的直径小于1μm，较佳是小于50nm，最佳是小于20nm。本实施方式中，所述磁性颗粒130的直径小于20nm。在其他实施方式中，椭圆形或无规则多边形结构的所述磁性颗粒130的最长处的直径小于1μm。该磁性颗粒130可以为铁磁性材料、顺磁性材料、超顺磁性材料或反磁性材料。优选地，该磁性颗粒130为磁性较强的铁磁性材料，比如：铁、钴、镍及其合金或任一种或几种的化合物、氧化铁、四氧化三铁中的任一种或几种的组合。本实施方式选用四氧化三铁。请同时参阅图26，图26是使用本专利技术所提供之蒸镀遮罩100进行蒸镀的步骤流程图。以下将陈述该蒸镀方法的各步骤。步骤S401，将该蒸镀遮罩100贴置于显示面板基板上方。具体地，藉由一磁板(图未示)所提供之磁性吸力将刻有所述多个第一开口1211的所述主体膜120吸附在所要蒸镀的显示面板基板(图未示)上，可以理解，当选用了具有磁性的该第一框架110时，所述磁板将所述第一框架110一并吸附，从而固定。步骤S402，从该蒸镀遮罩100一侧向该显示面板基板提供电致发光材料，以于该显示面板基板上形成电致发光材料层。请同时参阅图3至图7，图3是本专利技术第一实施方式所提供之蒸镀遮罩100制作方法的步骤流程图。图4至图7是图3中各步骤流程的示意图。为方便说明，下述方法流程中之组件沿用前述第一实施方式的组件标号。以下将陈述该蒸镀遮罩100的制作方法的各步骤，应说明的是，本专利技术的该蒸镀遮罩100的制作方法并不受限于下述步骤的顺序，且在其他实施方式中，本专利技术的该蒸镀遮罩100的制作方法可以只包括以下所述步骤的其中一部分，或者其中的部分步骤可以被删除。步骤S101，如图4所示，利用掺入有磁性颗粒130的树脂材料制备主体膜120。在本实施方式中，该主体膜120为聚酰亚胺树脂(Polyimide resin)。该磁性颗粒130可以为球形、椭圆形或无规则多边形，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀遮罩，用于在显示面板基板上形成电致发光材料层，其特征在于：该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在该主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一所述像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。

【技术特征摘要】
2015.02.02 CN 20151005267551.一种蒸镀遮罩，用于在显示面板基板上形成电致发光材料层，其特征在于：该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在该主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一所述像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。2.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：该蒸镀遮罩还包括一第一框架，所述第一框架贯设有一第二开口，该第一框架呈中空的口字形结构，用于支撑所述主体膜的周侧。3.根据权利要求2所述的蒸镀遮罩，其特征在于：该第一框架为Invar材质。4.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：蒸镀遮罩还包括一第二框架，所述第二框架上设有贯穿所述第二框架且分别与所述至少一像素区域对应的至少一第三开口，所述第三开口的大小不小于所述像素区域的大小。5.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：所述磁性颗粒为球形。6.根据权利要求5所述的蒸镀遮罩，其特征在于：所述磁性颗粒的直径小于1μm。7.根据权利要求6所述的蒸镀遮罩，其特征在于：所述磁性颗粒的直径小于20nm。8.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：所述磁性颗粒为椭圆形或不规则多边形。9.根据权利要求8所述的蒸镀遮罩，其特征在于：所述磁性颗粒的最长直径小于1μm。10.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：该主体膜的材料为聚酰亚胺树脂。11.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：通过激光工艺在该像素区域上形成该第一开口。12.根据权利要求1所述的蒸镀遮罩，其特征在于：该磁性颗粒选自铁、钴、镍及其合金或任一种或几种的化合物、氧化铁、四氧化三铁中的任一种或几种的组合。13.一种使用如权利要求1到12任意一项所述的蒸镀遮罩的蒸镀方法，该方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊杰，
申请(专利权)人：鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71