The present invention relates to the technical field of manufacturing OLED devices, and particularly relates to a coating equipment and coating, pre simulated magnetic plate pressing mechanism for mask changes caused by, and the formation of standard state parameters by detecting device under vacuum condition, the state parameters of the magnetic field pressing device is formed in the magnetic motion mask under, and form a state parameter detection output; the control unit according to the detected state parameters form the control signal output. The magnetic pressing device, the movable mask to make a corresponding adjustment to adjust the signal under the action of the magnetic pressing device, the movable mask in the best position to avoid in vacuum, magnetic pressing device, the movable mask produced uncontrollable variables, reduce the evaporation product evaporation products.
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备及蒸镀工艺
本专利技术涉及OLED器件制造
,尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀工艺。
技术介绍
有机电致发光显示器(0LED)具有主动发光、广视角、高亮度、低电压和节能等许多优点,被称为绿色能源。0LED是“双注入式”器件,电子和空穴分别从阴极和阳极注入,并在有机发光层中复合产生单态激子,单态激子因衰减辐射而发光。由于有机材料的电子亲和势比金属和无机材料的电子亲和势小得多,要想有效地往有机材料中注入电子,其阴极材料的功函数必须足够低。OLED的阴极大多采用真空蒸镀工艺形成。现有的蒸镀工艺如下:进入一个密封真空区域,基板载体承载一待蒸镀基板;并且裸露出待蒸镀基板的需要蒸镀的区域,可移动遮罩移动至上述待蒸镀基板的下端,并张网覆盖上述待蒸镀基板,因可移动遮罩具有图案化开孔,可移动遮罩的开孔区域即为待蒸镀基板的蒸镀区域。于可移动遮罩张网完成后,磁压合装置下压,上述磁压合装置结合上述可移动遮罩对所述待蒸镀基板进行夹持,但是通常采用此种方式制造的蒸镀基板,其总是出现蒸镀位置不准确的现象,进而导致,蒸镀产品的品质较低,而整个蒸镀工艺都是在真空状态下进行,蒸镀所采用的温度较低,不利于工作人员发现其蒸镀工艺中出现的弊端。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术提供一种蒸镀效果好、蒸镀成品率高的蒸镀设备及蒸镀工艺。一种蒸镀设备,应用于OLED器件的制造,其中,包括:基板载体,用以承载一待蒸镀基板;磁压合装置,设置于所述基板载体的上方,用以于一调节信号的作用下,调节所述磁压合装置的磁压板与所述基板载体之间的相对距离和/或磁场;可移动遮罩,具有图案化开孔,存在于所述 ...
【技术保护点】
一种蒸镀设备,应用于OLED器件的制造,其特征在于,包括:基板载体,用以承载一待蒸镀基板;磁压合装置,设置于所述基板载体的上方,用于以一调节信号的作用下,调节所述磁压合装置与所述基板载体之间的相对距离和/或磁场;可移动遮罩,具有图案化开孔,存在于所述基板载体下方,用以于所述调节信号的作用下调节所述可移动遮罩的张网方式;检测装置,于所述磁压合装置压合所述基板载体状态下,检测所述可移动遮罩于所述磁压合装置形成的磁力作用下的状态参数,并形成一检测状态参数输出;控制单元,存储有所述可移动遮罩于所述磁力作用下的标准状态参数,于所述检测状态参数不匹配所述标准状态参数时,形成所述调节信号输出。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备,应用于OLED器件的制造,其特征在于,包括:基板载体,用以承载一待蒸镀基板;磁压合装置,设置于所述基板载体的上方,用于以一调节信号的作用下,调节所述磁压合装置与所述基板载体之间的相对距离和/或磁场;可移动遮罩,具有图案化开孔,存在于所述基板载体下方,用以于所述调节信号的作用下调节所述可移动遮罩的张网方式;检测装置,于所述磁压合装置压合所述基板载体状态下,检测所述可移动遮罩于所述磁压合装置形成的磁力作用下的状态参数,并形成一检测状态参数输出;控制单元,存储有所述可移动遮罩于所述磁力作用下的标准状态参数,于所述检测状态参数不匹配所述标准状态参数时,形成所述调节信号输出。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,还包括:对位装置,设置于所述磁压合装置上,用于使得所述磁压合装置正对所述基板载体并在完成对位后进行垂直于基板方向的移动。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述检测装置包括:测量镜组,用以检测所述可移动遮罩的像素、和/或所述待蒸镀基板的总间距、和/或所述待蒸镀基板与所述可移动遮罩的临界距离;激光传感器,用以检测所述可移动遮罩与所述待蒸镀基板的相对距离。4.根据权利要求3所述的蒸镀设备,其特征在于,所述检测设备还包括一检测平台,设置于所述可移动遮罩正下方,用以承载所述测量镜组、所述激光传感器。5.根据权利要求3所述的蒸馍...
【专利技术属性】
技术研发人员:张耀宇,洪忠庆,
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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