传输装置和蒸镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。相应地，本实用新型专利技术还提供一种蒸镀设备。本实用新型专利技术能够便于操作人员确定何时更换粘性层。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示装置的制造领域，具体涉及一种传输装置和蒸镀设备。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀工艺，为了提高膜厚的均匀性，目前的蒸镀方式为：利用基板承载机构固定好基板，与掩膜板对位后，匀速经过各个装有不同材料的蒸镀源上方，以在基板上形成有机发光器件。大尺寸蒸镀设备一般采用使基板待形成有机发光器件的表面朝下的方式进行传送，为了克服大尺寸基板的重量和自身的弯曲量等因素，在承载机构上帖附粘性垫，从而粘住基板进行基板传输，在完成蒸镀工艺后再将基板与粘性垫分离。但是，在将基板与粘性垫分离过程中，粘性垫上很容易沉积颗粒物等杂质，影响粘性衬垫的粘性，一旦粘性垫粘性降低，容易造成粘结基板传输过程中基片掉落而破损。因此，需要过一段时间对粘性垫统一进行更换，但是，更换衬垫的间隔时间无法确定，如果间隔时间过长，导致破片风险太高；如果间隔时间过短，又浪费了成本。因此，如何确定更换粘性垫的时间成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置和蒸镀设备，以便于操作人员确定何时更换衬垫，从而降低破片风险同时降低成本。为了解决上述技术问题之一，本技术提供一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。优选地，所述粘性层包括多个彼此间隔的粘性垫；所述分离机构包括多个分离部，每个分离部均对应至少一个所述粘性垫，所述分离部用于将所述基板与相应的粘性垫分离；每个所述分离部上均设置有所述作用力检测器件。优选地，所述分离部为柱状结构，所述传输台上设置有与所述分离部一一对应的通孔，所述分离部能够在相应的通孔内升降，以向粘附在所述粘性垫上的基板施压直至所述基板与所述相应的粘性垫分离；所述作用力检测器件包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述分离部的用于朝向所述基板的一端。优选地，所述粘性垫为条状，所述传输台上对应于所述粘性垫两端的位置均设置有所述通孔，每个分离部所对应的粘性垫包括与所述分离部所对应的通孔相邻的粘性垫。优选地，所述分离部的用于朝向所述基板的一端还设置有缓冲层，所述作用力检测器件设置在所述缓冲层和所述分离部之间。优选地，所述分离机构还包括基底，多个所述分离部均设置在所述基底上。优选地，所述传输台包括粘结区，所述粘结区用于与所述基板的非显示区对应，所述通孔和所述粘性垫均位于所述粘结区。优选地，所述传输装置还包括：控制器，所述控制器与每个所述作用力检测器件均电连接，用于在所述粘性层多次与基板分离时，获取并记录每个作用力检测器件多次所测得的作用力，并在至少一个作用力检测器件连续预定次测得与所述粘性层对应的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成报警控制信号；报警器，与所述控制器相连，用于根据所述报警控制信号发出报警信号。优选地，所述控制器还用于获取每个作用力检测器件的位置，并在任意一个作用力检测器件连续预定次测得的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成与该作用力检测器件的位置相对应的位置提醒信号。相应地，本技术还提供一种蒸镀设备，包括上述传输装置。本技术的传输装置中，所述分离机构每次将基板与粘性层分离时，作用力检测器件能够检测到基板与分离机构之间的压力，从而根据所述作用力判断粘性层的粘性是否异常，以进一步判断是否要更换新的粘性层，因此，通过作用力检测器件能够确定何时需要更换粘性层；并且，分离机构的每个分离部上均设置有作用力检测器件，从而可以根据每个作用力检测器件测得的作用力判断异常位置，从而有针对性地对异常位置处的粘性垫进行更换，进而节省时间，降低成本。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的实施例中提供的传输装置的结构示意图；图2是本技术的实施例中贴附有基板的传输台的示意图图3是本技术的实施例中传输台的仰视图；图4是本技术的实施例中分离机构、作用力检测器件和缓冲层的结构示意图；图5是本技术的实施例中传输装置的工作过程示意图。其中，附图标记为：10、传输台；11、通孔；12、粘结区；13、非粘结区；20、基板；30、分离机构；31、分离部；32、基底；40、作用力检测器件；41、导线；50、粘性层；51、粘性垫；60、缓冲层。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。本技术提供一种传输装置，用于传输基板20。如图1所示，所述传输装置包括传输台10、分离机构30和设置在分离机构30上的至少一个作用力检测器件40。传输台10上设置有粘性层50，粘性层50包括用于粘附基板20的粘性表面。分离机构30用于将粘附在所述粘性层上的基板20与粘性层50分离。作用力检测器件40用于检测基板20与粘性层50分离时基板20与分离机构30之间的作用力。所述传输装置尤其适用于生产显示装置的蒸镀设备中，在蒸镀时，基板20通过粘性层50固定在传输台10的下表面，传输台10带动基板20在各个蒸镀源上方传输，而分离机构30可以设置在预定的分离位置；蒸镀结束后，传输台10到达所述分离位置，从而通过分离机构30将基板20与粘性层50分离。随着粘性层50与基板20分离次数的增加，粘性层50的粘性表面上沉积的杂质也会相应增多，从而使得粘性层50的粘性降低，而本技术中，分离机构30上的作用力检测器件40能够检测出基板20与粘性层50分离时的作用力，该作用力越大，则表明粘性层50的粘性越大；作用力越小，则表明粘性层50的粘性越小；因此，操作人员可以根据作用力检测器件40检测到的作用力确定何时更换粘性层50，以防止更换粘性层50的间隔时间过长而导致的基板20掉落，并防止更换粘性层50时间过短而导致的成本增加，从而在降低破片风险的同时减低生产成本。为了判断作用力检测器件40检测的作用力是否异常，以根据该作用力判断是否需要更换粘性层50，在实际生产中，可以预先通过实验的方式确定一个标准作用力范围，即，当前一张基板20在与粘性层50分离时，基板20与粘性层50之间的作用力在该标准作用力范围时，下一张基板20不会因为粘性过小而掉落，也不会因为粘性过大而在分离时破损。当作用力检测器件50检测到的作用力超出该标准作用力范围时，表明检测到的作用力异常，即粘性层50的粘性异常，此时需要更换粘性层50。或者，也可以通过数据分析的方式确定粘性层50是否需要更换，具体地，可以记录作用力检测器件40记录的多次作用力，当作用力检测器件40连续N次检测到的作用力(N的值也可以预先设置)逐渐降低或逐渐增加时，表明粘性层50的粘性有异常的趋势，这时，需要对粘性层50进行更换。其中，如图1至图3所示，粘性层50包括多个彼此间隔的粘性垫51。这时，如图1和图4所示，分离机构30可以包括多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；其特征在于，所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。

【技术特征摘要】
1.一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；其特征在于，所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述粘性层包括多个彼此间隔的粘性垫；所述分离机构包括多个分离部，每个分离部均对应至少一个所述粘性垫，所述分离部用于将所述基板与相应的粘性垫分离；每个所述分离部上均设置有所述作用力检测器件。3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述分离部为柱状结构，所述传输台上设置有与所述分离部一一对应的通孔，所述分离部能够在相应的通孔内升降，以向粘附在所述粘性垫上的基板施压直至所述基板与所述相应的粘性垫分离；所述作用力检测器件包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述分离部的用于朝向所述基板的一端。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述粘性垫为条状，所述传输台上对应于所述粘性垫两端的位置均设置有所述通孔，每个分离部所对应的粘性垫包括与所述分离部所对应的通孔相邻的粘性垫。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚固，邹清华，王玉，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34