OLED器件的有机薄膜蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，包括用于放置有机物的坩埚，坩埚通过坩埚固定装置安装在腔体底部，坩埚固定装置穿设于腔体的底部；坩埚内设有搅拌轴，搅拌轴的下端穿过坩埚固定装置连接在腔体外部的旋转机构上。本发明专利技术所提供的有机薄膜蒸镀装置，在坩埚内安装搅拌轴，将搅拌轴连接在真空腔体外部的旋转机构上，为了防止有机物凝固，在等待蒸镀的一段时间内，旋转坩埚内的搅拌轴，旋转机构使搅拌轴在蒸镀有机薄膜的过程中也一直保持旋转，从而在基板上形成均匀厚度的有机膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空镀膜
，具体涉及一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置。
技术介绍
真空镀膜是将固体材料置于真空室内，在真空条件下，将固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时，蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。真空镀膜有两种方法，一是蒸发镀膜，一是溅射镀膜。采用真空方式蒸镀有机薄膜，需要将有机物储存在坩埚内，通过加热使有机物蒸发，但常常出现有机物凝固的情况出现，影响蒸镀效率和成膜质量，
技术实现思路
本专利技术的目的是解决上述问题，提供一种防止有机物凝固、提高成膜质量的OLED器件的有机薄膜蒸镀装置。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，包括用于放置有机物的坩埚，坩埚通过坩埚固定装置安装在腔体底部，坩埚固定装置穿设于腔体的底部；坩埚内设有搅拌轴，搅拌轴的下端穿过坩埚固定装置连接在腔体外部的旋转机构上。优选地，所述搅拌轴上设有至少一个搅拌浆。优选地，所述搅拌轴和搅拌浆的材料相同，由铝或钨制成。本专利技术的有益效果是：本专利技术所提供的OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，在坩埚内安装搅拌轴，将搅拌轴连接在真空腔体外部的旋转机构上，为了防止有机物凝固，在等待蒸镀的一段时间内，旋转坩埚内的搅拌轴，旋转机构使搅拌轴在蒸镀有机薄膜的过程中也一直保持旋转，从而在基板上形成均匀厚度的有机膜。附图说明图1是本专利技术中有机薄膜蒸镀装置的结构示意图；图2是本专利技术中搅拌轴和搅拌浆的示意图。附图标记说明：40、坩埚；42、有机物；50、搅拌轴；52、搅拌浆；60、固定装置；70、腔体；80、旋转机构。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步的说明：如图1和图2所示，本专利技术的OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，包括用于蒸镀有机薄膜的真空的腔体70以及用于放置有机物42的坩埚40，坩埚40通过坩埚固定装置60安装在腔体70底部，坩埚固定装置60穿设于腔体70的底部，从而坩埚40的一部分固定在腔体70内，剩下的部分固定在腔体70外；坩埚40内设有搅拌轴50，搅拌轴50的下端穿过坩埚固定装置60连接在腔体70外部的旋转机构80上，当搅拌轴50旋转时，坩埚固定装置60是不旋转的，这样可以维持腔体70内的真空状态，搅拌轴50上设有至少一个搅拌浆52；搅拌轴50和搅拌浆52的材料相同，由导热率大的材料制成，从而可以把热量均匀的散发在有机物42中，防止其凝固，具体的，搅拌轴50和搅拌浆52可以由铝或钨制成。本专利技术所提供的有机薄膜蒸镀装置，为了防止有机物凝固，在等待蒸镀的一段时间内，旋转坩埚内的搅拌轴，旋转机构使搅拌轴在蒸镀有机薄膜的过程中也一直保持旋转，从而在基板上形成均匀厚度的有机膜。本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本专利技术的原理，应被理解为本专利技术的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本专利技术公开的这些技术启示做出各种不脱离本专利技术实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括用于放置有机物(42)的坩埚(40)，坩埚(40)通过坩埚固定装置(60)安装在腔体(70)底部，坩埚固定装置(60)穿设于腔体(70)的底部；坩埚(40)内设有搅拌轴(50)，搅拌轴(50)的下端穿过坩埚固定装置(60)连接在腔体(70)外部的旋转机构(80)上。

【技术特征摘要】
1.一种OLED器件的有机薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括用于放置有机物(42)的坩埚(40)，坩埚(40)通过坩埚固定装置(60)安装在腔体(70)底部，坩埚固定装置(60)穿设于腔体(70)的底部；坩埚(40)内设有搅拌轴(50)，搅拌轴(50)的下端穿过坩埚固定装...

【专利技术属性】
技术研发人员：郎丰伟，田朝勇，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51