遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体显示技术领域，尤其涉及一种遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺，蒸镀遮罩至少两层遮罩片按顺序排列以完全覆盖玻璃基板，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区与第二个遮罩片的第一非有效蒸镀区无缝隙连接，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区结合下一个遮罩片的第一非有效蒸镀区所覆盖的面积匹配蒸镀片闭合区的面积，进而可以使得经蒸镀处理的玻璃面板上有源区与非有效蒸镀区均匀分布，实现大尺寸AMOLED屏幕的蒸镀，且不受遮罩片本身尺寸的限制。

Mask sheet and vapor deposition mask and vapor deposition mask device and vapor deposition process

The present invention relates to the technical field of semiconductor display, especially relates to a mask film and a deposition mask and a deposition mask device and evaporation, the evaporation mask at least two layers of the mask sheet in order to completely cover the glass substrate, the first mask sheet second non effective evaporation area and second of the first non mask sheet effective evaporation area seamless connection, the first mask sheet second non effective evaporation area combined with a mask sheet first non effective evaporation area covered by evaporation, film closed area, which can be made by plating processing glass surface plate active region and non effective evaporation a uniform, large size AMOLED screen evaporation, and not subject itself to restrict the size of the mask sheet.

【技术实现步骤摘要】
遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺
本专利技术涉及半导体显示
，尤其涉及一种遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺。
技术介绍
在平板显示技术中，AM0LED(activematrixorganiclightemittingdiodes有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)以其卓越的显示性能被称为Superdisplay。三星SMD自2007年首次投放大量用于移动电话和MP4显示的小尺寸AMOLED产品以来，目前市场上能够发现众多应用了AMOLED的电子数码终端产品。然而这些产品多集中在小尺寸，现在市场对中、大尺寸的应用需求开始增多，例如笔记本电脑、监示器和电视等。通常大尺寸AMOLED屏幕的玻璃基板尺寸至少要达到5.5代。目前大尺寸AMOLED屏幕尚未完全应用的最主要原因是良率无法保证，限制大尺寸AMOLED屏幕产品良率的因素主要涉及三个方面：面板、像素图案制作、器件的封装。低温多晶矽(LTPS)面板制程难以跨越5.5代AMOLED屏幕生产线，因为面板的制作是把红、绿、蓝有机发光体在玻璃面板上蒸镀，由于在蒸镀时必须要使用金属遮罩，在蒸镀制程中，金属遮罩的表面尺寸决定了玻璃基板的蒸镀尺寸，因金属遮罩的尺寸不能太大(金属遮罩的尺寸太大，在蒸镀过程中金属遮罩因重力出现下沉，使得形成的基板出现混色现象)，因此金属遮罩不适合实现大屏幕和高分辨率。为了实现大尺寸AMOLED屏幕的制作，现有技术中，如图1所示，通常采用遮罩片1实施蒸镀处理，将一根一根的遮罩片1按照顺序贴附于玻璃基板(图中未标示)表面，然后对玻璃基板进行蒸镀，但是此种方式的生产效率较低，不利于产业化生产。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供一种适用于大尺寸AMOLED屏幕制造、且生产效率高的遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺。一种遮罩片，其特征在于，所述遮罩片包括：设置有多个镂空区、遮蔽区、第一非有效蒸镀区、第二非有效蒸镀区，所述镂空区和遮蔽区依次交替设有至于所述第一非有效蒸镀区和所述第二非有效蒸镀区之间，单一所述镂空区与单一所述遮蔽区面积相同，单一所述第一非有效蒸镀区与单一所述第二非有效蒸镀区面积相同，且单一所述镂空区的面积为单一所述第一非有效蒸镀区面积的两倍。优选地，上述的遮罩片，其中，所述遮罩片的长度整数倍于单一所述镂空区的长度。本专利技术同时提供一种蒸镀遮罩，其中，至少包括上述的遮罩片，所述蒸镀遮罩包括开口区、闭合区，所述闭合区包括第一类闭合区和第二类闭合区；其中，每个所述遮罩片的镂空区形成所述蒸镀遮罩的开口区；每个所述遮罩片的遮蔽区形成所述蒸镀遮罩的第一类闭合区；第一个所述蒸镀遮罩片的第二非有效蒸镀区与相邻的第二个所述蒸镀遮罩片的第一非有效蒸镀区形成所述蒸镀遮罩的第二类闭合区。优选地，上述的蒸镀遮罩，其中，所述蒸镀遮罩片的开口区用以形成AMOLED屏幕的有源区，所述第一类闭合区结合所述第二类闭合区用以形成所述AMOLED屏幕的非有效蒸镀区。一种蒸镀遮罩装置，其中，包括两个上述的蒸镀遮罩，所述蒸镀遮罩装置包括设置于待蒸镀玻璃基板上的第一层所述蒸镀遮罩和设置于所述第一层所述蒸镀遮罩上端的第二层所述蒸镀遮罩，其中第二层所述蒸镀遮罩的开口区匹配第一层所述蒸镀遮罩的闭合区，第二层所述蒸镀遮罩的开口区覆盖所述玻璃基板上的区域形成AMOLED屏幕的有源区。优选地，上述的蒸镀遮罩装置，其中，第二层所述蒸镀遮罩部分覆盖第一层所述蒸镀遮罩，第二层所述蒸镀遮罩的闭合区覆盖于所述第一层所述蒸镀遮罩的开口区以形成所述AMOLED屏幕的第一非有效蒸镀区。优选地，上述的蒸镀遮罩装置，其中，所述AMOLED屏幕有源区的长度整数倍于所述AMOLED屏幕非有效蒸镀区的长度。优选地，上述的蒸镀遮罩装置，其中，所述第二层所述蒸镀遮罩未覆盖第一层所述蒸镀遮罩的区域形成所述AMOLED屏幕第二非有效蒸镀区域。一种蒸镀工艺，其特征在于，基于上述的蒸镀遮罩装置，所述蒸镀工艺包括：提供一玻璃基板，所述玻璃基板上包括蒸镀区和非蒸镀区；将至少两个所述蒸镀遮罩进行邻接或部分叠置形成所述蒸镀遮罩装置，以使得所述蒸镀遮罩装置上的开口对应于所述玻璃基板上的蒸镀区；以及利用所述蒸镀遮罩装置对所述玻璃基板进行蒸镀工艺，以于所述玻璃基板上的所述蒸镀区中形成蒸镀薄膜。与现有技术相比，本专利技术的优点是：(1)蒸镀遮罩至少两层遮罩片按顺序排列以完全覆盖玻璃基板，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区与第二个遮罩片的第一非有效蒸镀区无缝隙连接，第一个遮罩片的第二非有效蒸镀区结合下一个遮罩片的第一非有效蒸镀区所覆盖的面积匹配蒸镀片闭合区的面积，进而可以使得经蒸镀处理的玻璃面板上有源区与非有效蒸镀区均匀分布，实现大尺寸AMOLED屏幕的蒸镀，且不受遮罩片本身尺寸的限制。(2)采用蒸镀罩片蒸镀的玻璃面板，玻璃面板的非有效蒸镀区通常由第一类闭合区和第二类闭合区两部分形成，第一类闭合区为遮罩片本身的闭合区，第二类闭合区由两个遮罩片相邻连接处的非有效蒸镀区形成，将两个遮罩片的非有效蒸镀区设计为可用以形成玻璃面板的非有效蒸镀区，解决了现有技术中遮罩片的侧面无法完全形成非有效蒸镀区的技术难题，依照此种排列方式，在制造玻璃基板时可以不受遮罩本身面积的限制，在增加玻璃基板尺寸的情况下，增加遮罩片的数量即可实现蒸镀。附图说明图1为现有的蒸镀遮罩的结构示意图；图2为本专利技术中的一种蒸镀遮罩片的实施方式；图3为本专利技术中的一种蒸镀遮罩的实施方式；图4为本专利技术中的蒸镀装置的一种实施方式；图5为本专利技术中的蒸镀遮罩装置的一种实施方式；图6为本专利技术中的一种蒸镀工艺的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。一种遮罩片，可应用于制造大尺寸AMOLED屏幕，所述遮罩片包括：设置有多个镂空区、遮蔽区、第一非有效蒸镀区、第二非有效蒸镀区，所述镂空区和遮蔽区依次交替设有至于所述第一非有效蒸镀区和所述第二非有效蒸镀区之间，单一所述镂空区与单一所述遮蔽区面积相同，单一所述第一非有效蒸镀区与单一所述第二非有效蒸镀区面积相同，且单一所述镂空区的面积为单一所述第一非有效蒸镀区面积的两倍。如图2所示，列举一种具体实施方式，一种蒸镀遮罩，其中，蒸镀遮罩包括复数个遮罩片1，复数个遮罩片1相邻排列，遮罩片1包括多个镂空区11、遮蔽区12、第一非有效蒸镀区13、第二非有效蒸镀区14，第一非有效蒸镀区13、第二非有效蒸镀区14分别设置于遮罩片1的两端，镂空区11与遮蔽区12相互间隔地设置于第一非有效蒸镀区13和第二非有效蒸镀区14之间，其中，单一镂空区11长度匹配单一遮蔽区12长度，单一第一非有效蒸镀区13、单一第二非有效蒸镀区14水平方向的长度均为单一镂空区11长度的1/2。如图2所示，作为进一步优选实施方案，其中，蒸镀遮罩片的长度整数倍于单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种遮罩片，其特征在于，所述遮罩片包括：设置有多个镂空区、遮蔽区、第一非有效蒸镀区、第二非有效蒸镀区，所述镂空区和遮蔽区依次交替设有至于所述第一非有效蒸镀区和所述第二非有效蒸镀区之间，单一所述镂空区与单一所述遮蔽区面积相同，单一所述第一非有效蒸镀区与单一所述第二非有效蒸镀区面积相同，且单一所述镂空区的面积为单一所述第一非有效蒸镀区面积的两倍。

【技术特征摘要】
1.一种遮罩片，其特征在于，所述遮罩片包括：设置有多个镂空区、遮蔽区、第一非有效蒸镀区、第二非有效蒸镀区，所述镂空区和遮蔽区依次交替设有至于所述第一非有效蒸镀区和所述第二非有效蒸镀区之间，单一所述镂空区与单一所述遮蔽区面积相同，单一所述第一非有效蒸镀区与单一所述第二非有效蒸镀区面积相同，且单一所述镂空区的面积为单一所述第一非有效蒸镀区面积的两倍。2.根据权利要求1所述的遮罩片，其特征在于，所述遮罩片的长度整数倍于单一所述镂空区的长度。3.一种蒸镀遮罩，其特征在于，至少包括两个如权利要求1-2所述的遮罩片，所述蒸镀遮罩包括开口区、闭合区，所述闭合区包括第一类闭合区和第二类闭合区；其中，每个所述遮罩片的镂空区形成所述蒸镀遮罩的开口区；每个所述遮罩片的遮蔽区形成所述蒸镀遮罩的第一类闭合区；第一个所述蒸镀遮罩片的第二非有效蒸镀区与相邻的第二个所述蒸镀遮罩片的第一非有效蒸镀区形成所述蒸镀遮罩的第二类闭合区。4.根据权利要求3所述的蒸镀遮罩，其特征在于，所述蒸镀遮罩片的开口区用以形成AMOLED屏幕的有源区，所述第一类闭合区结合所述第二类闭合区用以形成所述AMOLED屏幕的非有效蒸镀区。5.一种蒸镀遮罩装置，其特征在于，包括两个如权利要求3-4所述的蒸镀遮罩，所述蒸镀遮罩装置包...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈秉宏，洪忠庆，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31