一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域。能够解决待蒸镀基板由于承载固定不牢固，而可能导致在蒸镀过程中由于重力变形而发生脱落的问题。包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。将承载件的后端连接固定在支撑架上，在承载件之上设置下压件，下压件的至少一部分位于承载面之上，下压件在下压状态下能够将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上，以降低待蒸镀基板的边缘由承载件的承载面上脱落的风险。

Substrate carrying mechanism and method of use and evaporation device

The embodiment of the invention provides a substrate bearing mechanism, a method of using the same and a vapor deposition device, relating to the field of evaporation technology. The utility model can solve the problem that the base of the evaporating plate is not firmly fixed because of the deformation of the gravity in the process of evaporation. The supporting member comprises a bearing surface at the front end of the bearing member for carrying the edge of the plate to be evaporated, and the rear end of the carrying member is fixedly connected with the support frame. At least a part of the lower pressing member is arranged above the bearing surface of the bearing member, and the lower pressing member can press the edge of the plate to be pressed on the bearing surface of the bearing member under the lower pressure state. The bearing member is connected with the back end fixed on the supporting frame, bearing parts in the pressing piece is arranged on the pressing piece, at least a part of the bearing surface, under pressure in the pressure state can be steam pressed in the plating substrate edge bearing surface parts, in order to reduce the evaporation to base the edge of the plate by carrying off the risk bearing surface on the.

【技术实现步骤摘要】
一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置。
技术介绍
真空蒸镀是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，形成镀层的工艺。在有机显示领域，有机半导体器件如有机发光二极管中的有机功能层大多是使用真空蒸镀的方式进行加工制作，镀膜工艺的好坏是影响有机显示器件功能优劣的关键因素。现有技术中的蒸镀设备通常将待蒸镀基板水平放置在真空腔室内，其中待蒸镀基板的待蒸镀面向下，在待蒸镀基板的待蒸镀面上贴合包含有待蒸镀图案的掩膜版，蒸镀源设置在掩膜版的下方，蒸镀源在激发状态下将蒸镀材料向上蒸发，其中，蒸镀材料通过掩膜版上的待蒸镀图案中可透过的部分在待蒸镀基板上沉积，从而在待蒸镀基板上形成所需的蒸镀图案。由于待蒸镀基板的中心为待蒸镀区域，为了避免对待蒸镀区域的蒸镀图案造成影响，对待蒸镀基板进行承载固定的基板承载机构只能够与待蒸镀基板的外侧边缘相接触，这样一来，待蒸镀基板的中心就可能由于重力的作用发生下垂变形，从而影响到待蒸镀基板与掩膜版之间的对位精度，进而影响到蒸镀图案的正确性和镀膜层的均一性，甚至可能由于待蒸镀基板的边缘固定尺寸过小，导致待蒸镀基板脱落的事故。通过增加基板承载机构在待蒸镀基板边缘的支撑点能够在一定程度上减小下垂变形量，降低待蒸镀基板脱落的可能性，但是并不能解决上述问题，尤其是当待蒸镀基板的尺寸较大时，下垂变形量也会相应增大，现有技术中还可以采用在待蒸镀区域外用粘性胶对待蒸镀基板进行粘贴的方式，将待蒸镀基板背离蒸镀源的一侧与基板承载机构之间粘贴固定，但是这种方式的固定效果有限，待蒸镀基板在蒸镀过程中仍然有脱落的风险，而且在蒸镀完成后基板与胶体分离时容易造成基板破损，增加次品率。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，能够解决待蒸镀基板由于承载固定不牢固，而可能导致在蒸镀过程中由于重力变形而发生脱落的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例的一方面，提供一种基板承载机构，包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。进一步的，下压件的后端与承载件的后端固定连接，下压件由弹性材料制成，下压件的前端在自由状态下与承载件的前端之间留有用于置入待蒸镀基板边缘的间隙。优选的，承载件设置有一个，承载件的承载面沿支撑架的长度方向延伸为条状；和/或，下压件设置有一个，下压件沿支撑架的长度方向延伸为条状。进一步的，在承载件的承载面上设置有防滑结构；和/或，在下压件与待蒸镀基板边缘相接触的表面设置有防滑结构。进一步的，基板承载机构还包括驱动装置，驱动装置驱动下压件向承载件的承载面移动。优选的，驱动装置沿支撑架的长度方向设置有多个。进一步的，基板承载机构还包括拉伸部件，拉伸部件连接设置在支撑架的后端，用于拉动支撑架向后移动。本专利技术实施例的另一方面，提供一种基板承载机构的使用方法，包括，将待蒸镀基板放置在承载件上，其中，待蒸镀基板的边缘搭载在承载件的承载面上；向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧。进一步的，当下压件由弹性材料制成，且下压件的后端与承载件的后端固定连接时，向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧包括，向下移动下压件的前端将待蒸镀基板的边缘压紧；向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧之后，使用方法还包括，向后移动拉伸部件以拉动支撑架向后移动。本专利技术实施例的再一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室，还包括上述任一项所述的基板承载机构，基板承载机构设置有至少一组，其中，每一组设置有两个，且以相对的方向固定连接在蒸镀腔室内。本专利技术实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。将承载件的后端连接固定在支撑架上，在承载件之上设置下压件，下压件的至少一部分位于承载面之上，下压件在下压状态下能够将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上，以降低待蒸镀基板的边缘由承载件的承载面上脱落的风险。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构的结构示意图；图2为图1的俯视图之一；图3为图1的俯视图之二；图4为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构中下压件前端为自由状态时的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构中下压件前端为下压状态时的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有防滑结构的结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有驱动装置的结构示意图；图8为图7的俯视图；图9为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有拉伸部件的结构示意图；图10为图9的俯视图；图11为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图一；图12为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图二；图13为本专利技术实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图三；图14为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。附图标记：01-基板承载机构01；02-蒸镀腔室；10-支撑架；20-承载件；201-承载面；30-待蒸镀基板；40-下压件；50-防滑结构；60-驱动装置；70-拉伸部件；W-间隙。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种基板承载机构，如图1所示，包括支撑架10，承载件20，承载件20包括位于承载件20前端的承载面201，用于搭载待蒸镀基板30的边缘，承载件20的后端与支撑架10固定连接。下压件40，下压件40的至少一部分设置于承载件20的承载面201之上，下压件40在下压状态下可将待蒸镀基板30的边缘压紧在承载件20的承载面201上。需要说明的是，第一，承载件20的承载面201用于对待蒸镀基板30的边缘进行搭载，在本专利技术实施例中定义承载件20靠近待蒸镀基板30的一侧为前，背离待蒸镀基板30的一侧为后，以下对于前、后的定义与此相同。第二，本专利技术实施例中支撑架10指的是蒸镀装置内用于与移动部如机械手相连接的支撑部件，支撑架10可活动的设置在蒸镀装置内部，用于对基板承载机构的位置进行调整。因此，支撑架10的形状应该理解为长条状，支撑架10沿长条状结构的长度方向将基板承载机构的承载件20后端固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板承载机构，其特征在于，包括，支撑架；承载件，所述承载件包括位于所述承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，所述承载件的后端与所述支撑架固定连接；下压件，所述下压件的至少一部分设置于所述承载件的承载面之上，所述下压件在下压状态下可将所述待蒸镀基板的边缘压紧在所述承载件的承载面上。

【技术特征摘要】
1.一种基板承载机构，其特征在于，包括，支撑架；承载件，所述承载件包括位于所述承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，所述承载件的后端与所述支撑架固定连接；下压件，所述下压件的至少一部分设置于所述承载件的承载面之上，所述下压件在下压状态下可将所述待蒸镀基板的边缘压紧在所述承载件的承载面上。2.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，所述下压件的后端与所述承载件的后端固定连接，所述下压件由弹性材料制成，所述下压件的前端在自由状态下与所述承载件的前端之间留有用于置入所述待蒸镀基板边缘的间隙。3.根据权利要求1或2所述的基板承载机构，其特征在于，所述承载件设置有一个，所述承载件的承载面沿所述支撑架的长度方向延伸为条状；和/或，所述下压件设置有一个，所述下压件沿所述支撑架的长度方向延伸为条状。4.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，在所述承载件的承载面上设置有防滑结构；和/或，在所述下压件与所述待蒸镀基板边缘相接触的表面设置有防滑结构。5.根据权利要求1所述的基板承载机构，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置驱动所述下压...

【专利技术属性】
技术研发人员：张峰杰，张鑫狄，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11