硅片承载篮翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片承载篮翻转装置，包括机架，所述机架上水平固定一导向齿条，所述导向齿条上设置有两个机械手，两个所述机械手之间设置有一翻转机构，所述翻转机构包括翻转架、底座、连接翻转架和底座的水平转轴以及驱动所述水平转轴转动的驱动件，所述翻转架上设置有用于夹紧承载篮的夹紧组件。其能够对硅片承载篮实现平稳的翻转。

Silicon wafer carrying basket turnover device

The utility model discloses a wafer carrying basket turnover device, which comprises a frame, wherein the frame is horizontally fixed on a steering rack, wherein the guide rack is provided with two mechanical hand, a turnover mechanism is arranged between the two of the manipulator, the turnover mechanism comprises a horizontal shaft turning frame, a base and a connection flip the frame and the base and drives the rotating shaft to rotate the drive level, the setting on the turning frame for clamping the clamping component carrying basket. The utility model can realize a smooth turnover of the silicon bearing basket.

【技术实现步骤摘要】
硅片承载篮翻转装置
本技术涉及硅片加工装置领域，更具体的说，它涉及一种硅片承载篮翻转装置。
技术介绍
在硅片生产过程中，硅片表面会面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗。现有的清洗设备多是先使用插片机将硅片插入承载篮中，承载篮再放入清洗设备中进行清洗。在插片过程中，硅片从承载篮侧面的敞口插入，此时硅片呈水平放置，在插片结束后，为保证不影响插片机继续进行对下一个承载篮的插片工作，需要将承载篮从插片机处移开；由于承载篮在清洗设备中时需要使其开口朝上，此时硅片为竖直放置，因此承载篮从插片机处移开后需要进行翻转。目前，授权公告号为CN205555404U的中国专利公开了一种花篮翻转装置，包括用于传送花篮的传送带、用于移动花篮的花篮夹取装置和用于控制各个部件的控制器，在传送带的一端设有一用于接纳花篮的导向盒，该端为传送带的翻转端，传送带的翻转端呈弧形，花篮夹取装置将花篮放置在传送带上，传送带输送花篮至翻转端，花篮在翻转端沿着圆弧下滑降落并翻转90°落入花篮承载盒内，之后由清洗设备的机械手夹取花篮进行清洗工作。虽然该现有技术实现了对承载硅片的花篮的翻转，但是该翻转是通过花篮从翻转端下滑降落实现的，由于花篮的惯性作用，花篮在滑落到承载盒上时很容易发生晃动，甚至向远离传送带的一侧翻转，这样的晃动或翻转常常会影响清洗设备的机械手对花篮的夹取，影响清洗设备工作的连续性，造成清洗效率降低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片承载篮翻转装置，其能够对硅片承载篮实现平稳的翻转。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种硅片承载篮翻转装置，包括机架，所述机架上水平固定一导向齿条，所述导向齿条上设置有两个机械手，两个所述机械手之间设置有一翻转机构，所述翻转机构包括翻转架、底座、连接翻转架和底座的水平转轴以及驱动所述水平转轴转动的驱动件，所述翻转架上设置有用于夹紧承载篮的夹紧组件。通过采用上述技术方案，一个机械手将装满硅片的承载篮从插片机上取下并放到翻转架上，此时承载篮的开口朝向插片机一侧，且承载篮内的硅片呈水平放置，夹紧组件将承载篮夹紧，这里的夹紧组件的结构可以与机械手的结构相同，目的在于夹柱承载篮，防止承载篮在翻转过程中发生晃动，承载篮被夹紧后驱动件驱动水平转轴转动，使翻转架以水平转轴为轴竖直转动90°，使承载篮的开口朝上，此时硅片为竖直放置，夹紧组件松开承载篮，即完成了对承载篮平稳的翻转，另一个机械手将承载篮从翻转架上取下并放入清洗设备中进行清洗，在两个机械手夹持承载篮，承载篮均为平稳不晃动的状态，有利于机械手顺利夹持并移动承载篮，从而保证清洗设备工作的连续性，增加清洗效率。本技术进一步设置为：所述翻转架包括呈“L”型设置的水平板和竖直板，所述夹紧组件包括设置在翻转架两侧的两个相互平行的固定侧板和活动侧板、固定在所述竖直板背离所述水平板的一侧的活动气缸，所述固定侧板垂直固定在所述水平板和竖直板的一侧，所述活动侧板与所述活动气缸的伸缩杆相互垂直固定。通过采用上述技术方案，承载篮被放置在翻转架上时，底面与竖直板贴合，侧面与水平板贴合，活动气缸带动活动侧板向固定侧板靠近，以将承载篮夹紧在活动侧板与固定侧板之间，这个时候承载篮的四个面均与翻转架和夹紧组件贴合，保证承载篮在翻转过程中始终保持平稳而不容易发生晃动。本技术进一步设置为：所述竖直板背离所述水平板的一侧固定有一导向板，所述导向板上设置有导向孔，所述活动气缸的伸缩杆穿过所述导向孔与所述活动侧板连接。通过采用上述技术方案，活动气缸的伸缩杆在伸缩过程中在导向孔内来回滑动，导向板对伸缩杆起到一定的支撑作用，避免伸缩杆在伸缩过程中发生晃动而引起承载篮发生晃动，进一步保证承载篮在翻转过程中始终保持平稳。本技术进一步设置为：所述活动侧板上固定有若干个穿过所述导向孔的导向柱，所述导向孔数量和尺寸与所述导向柱和所述活动气缸的伸缩杆一一对应。通过采用上述技术方案，活动气缸的伸缩杆在伸缩过程中，导向柱在在导向孔内来回滑动，进一步防止伸缩杆在伸缩过程中发生晃动，同时防止伸缩杆发生转动而使活动侧板也发生转动，保证活动侧板平稳的活动，以保证活动侧板顺利的夹紧承载篮。本技术进一步设置为：所述驱动件设置为伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩杆的一端通过侧板转轴与所述固定侧板转动连接，所述伸缩气缸的另一端通过气缸转轴与所述底座转动连接。通过采用上述技术方案，伸缩气缸收缩，使翻转架以水平转轴为轴相对于底座翻动，此时相当于伸缩气缸拉动竖直板向底座靠近，使竖直板与底座的夹角逐渐变小，直至竖直板与底座的上面平行，此时承载篮的开口朝上，在这个过程中，伸缩气缸通过侧板转轴相对于固定侧板平行转动，通过气缸转轴相对于底座竖直翻动，伸缩气缸、竖直板和底座的上面形成三角形的结构，该结构较为稳固从而保证翻转架在翻转过程中保持平稳。本技术进一步设置为：所述底座包括旋转板、与地面固定的固定板以及与固定板一体设置底柱，所述底柱内开设一圆柱形空腔，所述旋转板的下表面设置有与所述空腔相互适配的凸台，所述空腔内设置有驱动所述驱动组件，所述驱动组件通过从动转轴与所述凸台连接。通过采用上述技术方案，驱动组件驱动从动转轴带动旋转板转动，此时凸台的外壁相对于空腔的内壁发生相对滑动，旋转板上的翻转架随旋转板同步转动，使翻转架上的承载篮能够转动到适应机械手夹持的位置，有利于机械手顺利的夹持到承载篮，从而保证清洗设备工作的连续性，增加清洗效率。本技术进一步设置为：所述底座的一侧设置有一支撑架，所述支撑架的上面固定有若干个支撑柱，所述支撑柱的上端面与所述水平板远离所述水平转轴一端的底面贴合。通过采用上述技术方案，支撑柱对水平板起到支撑作用，在承载篮放到翻转架的过程中，保证水平板保持平稳而不发生晃动，同时当水平板下存在异物时，这些异物可以在支撑柱之间的空隙内，而不会影响到支撑柱对水平板支撑，使水平板保持水平状态，而有利于承载篮顺利平稳的放置在翻转架上。本技术进一步设置为：所述水平板与所述支撑柱接触的位置开设有凹槽，所述支撑柱的上端面伸入所述凹槽内。通过采用上述技术方案，在承载篮放置在翻转架上时，承载篮会对翻转架造成轻微碰撞，支撑柱的上端面伸入凹槽内，防止水平板与支撑柱发生相对滑动，保证翻转架的稳定性。本技术进一步设置为：所述支撑柱内设有磁铁，所述凹槽内安装有铁片。通过采用上述技术方案，支撑柱和铁片吸合，承载篮会对翻转架造成轻微碰撞时，防止支撑柱与水平板分离，保证翻转架的稳定性。本技术进一步设置为：所述水平板和所述竖直板均开设有若干个排水孔。通过采用上述技术方案，插片机向承载篮内进行插片工作往往是在装有液体的清洗槽内进行的，这样装满硅片的承载篮内往往会存在一部分液体，承载篮在随翻转架翻转时这些液体可以通过排水孔排出，避免翻转架内积水而造成其内部承载重量增加。综上所述，本技术具有以下有益效果：能够对硅片承载篮实现平稳的翻转；承载篮能够转动到适应机械手夹持的位置，有利于机械手顺利的夹持到承载篮，从而保证清洗设备工作的连续性，增加清洗效率；避免翻转架内积水而造成其内部承载重量增加。附图说明图1为实施例一的结构示意图；图2为实施例一中翻转机构第一视角的结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片承载篮翻转装置，包括机架(100)，所述机架(100)上水平固定一导向齿条(110)，其特征在于：所述导向齿条(110)上设置有两个机械手，两个所述机械手之间设置有一翻转机构，所述翻转机构包括翻转架(200)、底座(300)、连接翻转架(200)和底座(300)的水平转轴(240)以及驱动所述水平转轴(240)转动的驱动件，所述翻转架(200)上设置有用于夹紧承载篮(140)的夹紧组件。

【技术特征摘要】
1.一种硅片承载篮翻转装置，包括机架(100)，所述机架(100)上水平固定一导向齿条(110)，其特征在于：所述导向齿条(110)上设置有两个机械手，两个所述机械手之间设置有一翻转机构，所述翻转机构包括翻转架(200)、底座(300)、连接翻转架(200)和底座(300)的水平转轴(240)以及驱动所述水平转轴(240)转动的驱动件，所述翻转架(200)上设置有用于夹紧承载篮(140)的夹紧组件。2.根据权利要求1所述的硅片承载篮翻转装置，其特征在于：所述翻转架(200)包括呈“L”型设置的水平板(210)和竖直板(220)，所述夹紧组件包括设置在翻转架(200)两侧的两个相互平行的固定侧板(250)和活动侧板(260)、固定在所述竖直板(220)背离所述水平板(210)的一侧的活动气缸(270)，所述固定侧板(250)垂直固定在所述水平板(210)和竖直板(220)的一侧，所述活动侧板(260)与所述活动气缸(270)的伸缩杆相互垂直固定。3.根据权利要求2所述的硅片承载篮翻转装置，其特征在于：所述竖直板(220)背离所述水平板(210)的一侧固定有一导向板(280)，所述导向板(280)上设置有导向孔(281)，所述活动气缸(270)的伸缩杆穿过所述导向孔(281)与所述活动侧板(260)连接。4.根据权利要求3所述的硅片承载篮翻转装置，其特征在于：所述活动侧板(260)上固定有若干个穿过所述导向孔(281)的导向柱(261)，所述导向孔(281)数量和尺寸与所述导向柱(261)和所述活动气缸(270)的伸缩杆一一对应。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，轩云喜，
申请(专利权)人：北京南轩兴达电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11