The utility model provides a rotating device for coating machine, the first cylinder through the cylinder rod and the top of the first axis linkage, the first axis and the lower end of the first ejector cam linkage, the first and the first cylindrical indexing cam rail clamping, the first cylindrical guide rail is arranged on the second shaft, a first spring is arranged on the first shaft in the lower part of the first division the first disc cam and the first shaft are respectively fixed; second cylinder and second cylinder top shaft through the linkage, second axle and second out of the top second cam connected with second cylindrical indexing cam rail clamping cylinder, second guide rails are arranged on the third shaft, second springs are arranged in second axis in the lower part, second indexing cam and the second and the second shaft are respectively fixed; third disc set in third axis. The utility model has the advantages of simple structure, low manufacturing cost, convenient operation and maintenance, reliable and safe operation.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜机的辅助装置,尤其涉及一种镀膜机三盘多工位回转分度自动选位对位装置。
技术介绍
镀膜机基片盘,掩膜盘一般采用实验人员人工进行基片和掩膜的选位及对位。实验人员选位、对位工作操作频繁,科研工作效率低。授权公告号为CN203613254U的中国技术专利公开了一种真空镀膜机,包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统,真空罩内设置有伞架和蒸发源,伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架,工件架分别与转盘通过各自转轴一相连,工件架沿转盘周向呈伞状分布,该真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴一的中心线转动的驱动机构。上述镀膜机的蒸发源将镀膜材料加热蒸发,镀膜材料蒸发后向上扩散到工件架处,附着在温度较低的待镀膜工件上,形成薄膜,该镀膜机的不足之处在于,蒸发源位于真空罩的底部,工件架位于真空罩的顶部,导致工件(或基片)距离蒸发源的距离较远,因此会出现镀膜效果不佳的问题。
技术实现思路
为了解决现有人工选位对位不足的问题,本技术提供了一种能够提高镀膜工作效率,提高镀膜机的自动化率,回转分度对位速度快,定位准确可靠的镀膜机旋转装置。本技术的目的是通过以下方案实现:一种镀膜机旋转装置,包括包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸;所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动,第一轴下端与第一顶出凸轮联动,第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合,第一柱面导轨设置在第二轴上,第一弹簧设置在第一轴的中下部,第一轴与第一分度凸轮用螺栓 ...
【技术保护点】
一种镀膜机旋转装置,其特征在于,包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸;所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动,第一轴下端与第一顶出凸轮联动,第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合,第一柱面导轨设置在第二轴上,第一弹簧设置在第一轴的中下部,第一轴与第一分度凸轮用螺栓固定,第一分度凸轮与第一盘用螺栓固定;所述第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动,第二轴下端与第二顶出凸轮联动,第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合,第二柱面导轨设置在第三轴上,第二弹簧设置在第二轴的中下部,第二轴与第二分度凸轮用螺栓固定,第二分度凸轮与第二盘用螺栓固定;所述第三盘设置在第三轴下端。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机旋转装置,其特征在于,包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸;所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动,第一轴下端与第一顶出凸轮联动,第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合,第一柱面导轨设置在第二轴上,第一弹簧设置在第一轴的中下部,第一轴与第一分度凸轮用螺栓固定,第一分度凸轮与第一盘用螺栓固定;所述第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动,第二轴下端与第二顶出凸轮联动,第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合,第二柱面导轨设置在第三轴上,第二弹簧设置在第二轴的中下部,第二轴与第二分度凸轮用螺栓固定,第二分度凸轮与第二盘用螺栓固定;所述第三盘设置在第三轴下端。2.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置,其特征在于,所述第一弹簧环绕第一轴一周,第二弹簧环绕第二轴一周。3.根据权利要求1所述的镀膜机旋转装置,其特征在于,所述第一柱面导轨、第二柱面导轨均设置有沿轴向延伸的导向槽和倾斜凸轮面;所述第一柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个;所述第二柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个。4.根据权利要求3所述的镀膜机旋转装置,其特征在于,所述第一分度凸轮、第二分度凸轮均设置导向突起和分度凸轮面;所述第一分度凸...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭书周,
申请(专利权)人:北京帕托真空技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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