一种镀膜机液氮旋转冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种镀膜机液氮旋转冷却装置，从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，通过小齿轮、皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。本发明专利技术通过电机驱动中间轴做旋转运动，实现基片台旋转，使基片台下表面镀膜均匀，提高冷却速度，使得基片台可以高效快速均匀镀膜。

A liquid nitrogen rotating cooling device for a coating machine

The invention discloses a coating machine rotating liquid nitrogen cooling device, from top to bottom, including liquid nitrogen rotating device, a support screw, vacuum sealing device, hollow tube, substrate, liquid nitrogen rotating device shell and vacuum sealing device is connected to the housing through the support screw; a connecting body and a gear is arranged between the liquid nitrogen rotary device and vacuum sealing device of the intermediate shaft, large gear is located in the lower part of the connector is connected and bolt connection, vacuum sealing device is fixed on the casing of the motor seat, a motor seat is provided with a motor connected to the gear through the small gear and the big gear and the hollow belt; through the vacuum sealing device of hollow pipe welding. The tube is provided with a cooling pipe, cooling pipe and the upper liquid nitrogen rotating device is connected with the lower substrate. The invention rotates through the intermediate shaft driven by the motor to realize the rotation of the substrate table, so that the substrate is evenly coated on the lower surface and the cooling speed is increased, so that the substrate can be efficiently and evenly coated.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机液氮旋转冷却装置
本专利技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种镀膜机液氮旋转冷却装置。
技术介绍
在制作镀膜样片时，经常对基片进行冷却处理，传镀膜统冷却方法一般采用冷却水冷却或乙醇介质冷却法对静止的基片台冷却，但是这两种方式均冷却速度慢，不利于镀膜快速冷却成型，另外，静止的基片台极易造成镀膜不均匀，导致基片下面膜材蒸汽分布不均匀，靠近蒸发源的基片位置膜厚，远离蒸发源的基片位置膜薄，鉴于上述缺陷，实有必要设计一种镀膜机液氮旋转冷却装置。
技术实现思路
本专利技术提供一种镀膜机液氮旋转冷却装置，来解决镀膜材料镀膜不均匀和不能极速冷却导致镀膜效率降低，镀膜品质不良的问题。其技术方案如下所述：一种镀膜机液氮旋转冷却装置，从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。空心管外侧的上部设置有波纹管，波纹管位于真空密封装置下面，二者螺栓相连。液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴使用螺栓分别与连接体相连。所述冷却管包括进氮口和出氮口，所述冷却管在基片台螺旋排列，形成螺旋冷却面。所述液氮旋转装置包括与进氮口和出氮口分别对应的液氮入口和液氮出口。大齿轮为高真空密封齿轮，下面为真空密封装置，大齿轮与真空密封装置的中间轴螺栓连接。与现有技术相比，这种旋转冷却装置，通过电机驱动中间轴做旋转运动，实现基片台旋转，另外，液氮从液氮旋转装置液氮入口进入该装置，流经冷却管，进入基片台下端，使得基片台下表面镀膜均匀，提高冷却速度，上述结构使得基片台可以高效快速均匀镀膜。附图说明图1是所述镀膜机液氮旋转冷却装置的结构示意图；图2是所述空心管内部冷却管结构布置图；图3是所述基片台内部液氮循环管路图；图中：加热圈-1；液氮旋转装置-2；支撑螺杆-3；真空密封装置-4；波纹管-5；空心管-6；基片台-7；连接体-8；皮带-9；小齿轮-10；电机-11；大齿轮-12；电机座-13；冷却管-14；法兰-15；进氮口-16；出氮口-17；螺旋冷却面-18；入口处-19；出口处-20。具体实施方式在下文中，阐述了多种特定细节，以便提供对构成所描述实施例基础的概念的透彻理解。然而，对本领域的技术人员来说，很显然所描述的实施例可以在没有这些特定细节中的一些或者全部的情况下来实践。在其他情况下，没有具体描述众所周知的处理步骤。如图1、图2、图3所示，从上到下依次包括液氮旋转装置2、支撑螺杆3、真空密封装置4、空心管6、基片台7、连接体8、大齿轮12，所述液氮旋转装置2的外壳和真空密封装置4的外壳通过支撑螺杆3相连。液氮旋转装置2的外壳内设置有能够旋转的中间轴，真空密封装置4的外壳内设置有能够旋转的中间轴，在液氮旋转装置2和真空密封装置4的中间轴之间设置有连接体8、大齿轮12，大齿轮12位于连接体8的下部并和连接体8通过螺栓连接，液氮旋转装置2和真空密封装置4的中间轴使用螺栓分别与连接体8相连，大齿轮12为高真空密封齿轮，下面为真空密封装置4，大齿轮12与真空密封装置4的中间轴螺栓连接。这样，大齿轮旋转时，带动液氮旋转装置2和真空密封装置4的中间轴一起旋转，而液氮旋转装置2和真空密封装置4的外壳固定不动。真空密封装置4的外壳上固定有电机座13，所述电机座13上设置有电机11，所述电机11连接有小齿轮10，小齿轮10通过皮带9连接到大齿轮12。通过电机11的转动带动大齿轮12旋转。大齿轮12与穿过真空密封装置的空心管6焊接，空心管6穿过真空密封装置4的中间轴，空心管6外侧靠近真空密封装置4处设置有波纹管5，波纹管5位于真空密封装置4下面，二者螺栓相连。空心管6下端通过法兰15与基片台7固定连接。在空心管6中设置有冷却管14，大齿轮12和连接体8的中部设置有孔洞，冷却管14上部穿过大齿轮12和连接体8，然后与液氮旋转装置的中心轴相连接，如图2所示，所述冷却管14包括进氮口16和出氮口17，所述液氮旋转装置2包括与进氮口16和出氮口17分别对应的液氮入口和液氮出口。所述液氮旋转装置2的中间轴上设置有两个通道，其中第一个通道贯穿中间轴，下端与进氮口16固定连接，上端与液氮旋转装置2外壳顶部的液氮入口相连通；另外第二个通道在中间轴中部穿出，下端与出氮口17固定连接，上端与液氮旋转装置2外壳中部的液氮出口相连通。中间轴在第二个通道穿出中间轴的部位设置有环形凹槽，不管中间轴的旋转朝向，液氮都会在第二个通道出来时进入该环形凹槽，然后从液氮出口排出。在环形凹槽两侧设置有密封圈，隔开上面的液氮入口和下端的孔隙。液氮旋转装置2表面有凹槽，槽里嵌入加热圈1，二者螺栓紧密连接，形成保温结构。所述冷却管14的下部与基片台7相连，在基片台7螺旋排列，形成螺旋冷却面18，冷却管14在螺旋冷却面18的入口处19开始进行螺旋排列，最终从出口处20返回。这种旋转冷却装置，通过电机11驱动大齿轮带动中间轴做旋转运动，实现基片台7旋转，另外，液氮从液氮旋转装置2的液氮入口进入该装置，流经冷却管14，进入基片台7的下端，使得基片7台下表面镀膜均匀，提高冷却速度，上述结构使得基片台7可以高效快速均匀镀膜。本专利技术不局限于上述具体的实施方式，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所做出的种种变换，均落在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。2.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：空心管外侧的上部设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭书周，
申请(专利权)人：北京帕托真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11