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本发明公开了一种镀膜机液氮旋转冷却装置，从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连...
该专利属于北京帕托真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京帕托真空技术有限公司授权不得商用。

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