液体材料气化装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。

Liquid material gasifying device

The present invention provides a liquid material gasifying device which stably carries out the liquid transportation toward the gasification part and the gasification in the gasification part by eliminating the liquid accumulated between the gas-liquid mixing part and the gasification part. The liquid material gasification device comprises a liquid material and gas mixing gas-liquid mixing and generate the mixture of gas and liquid (2); and heating the gas-liquid mixture and the gasification of liquid material gasification (3), (2) Department of gas-liquid mixing with the gas-liquid mixture derived gas-liquid mixture derived from the tube (6), the Ministry of gasification (3) heating heating channel has a mixture of gas and liquid (HS), the gas-liquid mixture is derived (6) the export (6P) configuration in the heating channel (HS).

【技术实现步骤摘要】
液体材料气化装置
本专利技术涉及液体材料气化装置。
技术介绍
如专利文献1所示，以往的液体材料气化装置为如下的装置：在具备液体流量控制功能的控制阀内的气液混合部中，将液体材料和载气在进行流量控制的同时进行混合，并把此时的气液混合体从形成在流量控制部附近的喷嘴部释放，将液体材料减压气化。专利文献1：日本专利公开公报特开2001-156055号而且，在上述方式的液体材料气化装置中，由于难以生成大流量的材料气体，因此可以考虑特别是在大流量用途时，与气化器一同使用。可是，由于流道在所述气液混合部的喷嘴部正后方扩展，因此液体材料的流速在进入气化器之前降低，造成液体材料滞留。此外，所述液体材料气化装置与气化器需要通过焊接或管接头等而连接，因此难以在所述连接部设置用于供给仅使液体材料气化的热能的结构。如此，由于流速在喷嘴部正后方降低并且难以赋予热能，所以液体材料在进入气化器之前，会在所述连接部发生滞留。由此，不能稳定进行朝向气化器的液体输送和气化器中的气化，其结果，存在难以稳定生成材料气体的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术是为了解决上述问题而完成的，其主要目的是提供一种液体材料气化装置，尽可能地消除气液混合部和气化部之间产生的积液，使朝向气化部的液体输送和气化部中的气化稳定进行。即，本专利技术的液体材料气化装置包括：气液混合部，将液体材料和气体混合而生成气液混合体；以及气化部，加热所述气液混合体，使所述液体材料气化，所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管，所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道，所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。按照所述液体材料气化装置，由于气液混合体导出管的导出口配置在加热流道内，所以能够把气液混合部中生成的气液混合体直接供给到加热流道，可以尽可能地消除气液混合部和气化部之间产生的积液。由此，能够稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化，能稳定地生成材料气体。优选的是，所述加热流道形成在内置有加热器的加热模块的内部。按照所述结构，气液混合体导出管的导出口配置在加热模块的内部，能可靠地对从气液混合体导出管的导出口释放的气液混合体进行加热。优选的是，所述气化部具有第一连接部，所述第一连接部与所述加热流道连通并向所述加热模块的外部伸出，所述气液混合体导出管具有第二连接部，所述第二连接部设置在所述气液混合体导出管的与所述导出口相反侧的外周部，并与所述第一连接部连接，在所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内的状态下，所述第一连接部和所述第二连接部彼此连接。按照上述结构，由于向加热模块的外部伸出的第一连接部与设置在气液混合体导出管的外周部的第二连接部连接，因此能够减小从加热模块朝向气液混合部的热传递，可以抑制气液混合部中的液体材料的气化。另外，如果液体材料在气化混合部中发生了气化，则朝向气化部的液体材料的供给量会产生变动，从而会妨害气化部中的稳定的气化。优选的是，所述气液混合体导出管的内部流道整体呈等断面形状。按照所述结构，由于气液混合体导出管的内部没有喷嘴结构，所以能够消除气液混合体在喷嘴结构的正后方的停留，可以进一步消除气液混合体的积液。另外，由于加热流道的流道断面大于气液混合体导出管的内部流道的流道断面，所以气液混合体向所述加热流道流出后，气液混合体的流速降低，但是在流出到所述加热流道的时点，液体材料被加热，因此流速降低不会成为问题。此外，由于气液混合体导出管的内部不设置喷嘴结构，因此也可以防止气泡堵塞所述喷嘴结构。而且，可以简化气液混合体导出管的结构。按照这种结构的本专利技术，由于将气液混合体导出管的导出口配置在加热流道内，所以可以尽可能地消除气液混合部和气化部之间产生的积液，可以稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。附图说明图1是表示本实施方式的液体材料气化装置的结构的示意图。图2是表示同一实施方式的气液混合部的内部结构以及气液混合部与气化部的连接结构的断面图。图3是同一实施方式的主体模块的断面图。图4是同一实施方式的主体模块的俯视图。图5是表示同一实施方式的除去加热模块的气化部的结构的立体图。附图标记说明100液体材料气化装置2气液混合部3气化部31加热模块HS加热流道33(33x)加热器(内侧加热器)33(33y)加热器(外侧加热器)6气液混合体导出管6P气液混合体导出管的导出口71第一连接部72第二连接部具体实施方式以下参照附图说明本专利技术的液体材料气化装置的一个实施方式。本实施方式的液体材料气化装置100例如组装于光纤制造装置而用于光纤制造进程。此外，例如还可以组装于半导体制造装置而用于半导体制造进程。具体而言，如图1所示，所述液体材料气化装置100包括：气液混合部2，将液体材料和作为气体的载气混合而生成气液混合体；以及气化部3，加热气液混合体，并利用载气将液体材料气化而成的材料气体导出。另外，液体材料为OMCTS(八甲基环四硅氧烷，沸点175℃)和TEOS(四乙氧基硅烷，沸点169℃)等。另外，液体材料例如可以是以往的光纤制造中使用的SiCl4等卤素系液体材料和半导体制造进程中使用的材料。如图2所示，气液混合部2包括：主体模块21，具有使液体材料和载气混合的混合部21x；以及阀单元22，设置于所述主体模块21，调整液体材料的流量。主体模块21由不锈钢等富有耐热性和耐腐蚀性的材料形成。如图2～图4所示，所述主体模块21形成有：供液体材料流通的液体材料流道21a；供载气流通的载气流道21b；以及供气液混合体流通的气液混合体流道21c。而且，液体材料流道21a与气液混合体流道21c的合流部分成为液体材料和载气的混合部21x。气液混合体流道21c连接于所述混合部21x。本实施方式中，借助混合部21x，同轴地以直线状形成载气流道21b和气液混合体流道21c。此外，在混合部21x的正前方，载气流道21b的直径缩小为与气液混合体流道21c的直径相同。本实施方式中，液体材料流道21a构成为利用阀单元22分割为上游侧部分21a1和下游侧部分21a2(参照图3)。具体而言，在主体模块21的安装有阀单元22的一面(具体为上表面)，形成有圆环状的凹部211，在所述凹部211的底面形成有液体材料流道21a的上游侧部分21a1的下游侧开口。此外，在圆环状的凹部211的中央部分形成有下游侧部分21a2的上游侧开口，所述下游侧部分21a2连接于所述混合部21x。另外，下游侧部分21a2与载气流道21b和气液混合体流道21c垂直相交。在此，圆环状的凹部211的中央部分中的上游侧开口的周向边缘部212，成为与阀单元22抵接或分离的阀座(以下称为阀座212)。阀单元22作为控制阀发挥功能，如图2所示，阀单元22借助密封构件(未图示)设置在主体模块21的上表面。所述阀单元22包括：作为阀体部的隔膜221，与主体模块21的上表面上形成的阀座212抵接或分离；以及驱动部件222，按压所述隔膜221而使所述隔膜221变形。隔膜221由耐热性和耐腐蚀性良好且具有适当弹性的材料形成。此外，驱动部件222采用了在壳体内层叠多个压电元件而形成的压电堆。而且，在所述阀单元22中，隔膜221被弹簧223始终向上方施力，由此隔膜221与阀座212分离。而且，由驱动部件222作用有朝向下方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体材料气化装置，其特征在于，包括：气液混合部，将液体材料和气体混合而生成气液混合体；以及气化部，加热所述气液混合体，使所述液体材料气化，所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管，所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道，所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。

【技术特征摘要】
2015.12.11 JP 2015-2417031.一种液体材料气化装置，其特征在于，包括：气液混合部，将液体材料和气体混合而生成气液混合体；以及气化部，加热所述气液混合体，使所述液体材料气化，所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管，所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道，所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。2.根据权利要求1所述的液体材料气化装置，其特征在于，所述加热流道形成在内置有加热器的加...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊东丈智，井上正规，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本,JP