【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种具有用于流量比率控制、流量或压力控制和溢流控制的通道的混合流量比率控制器系统及与流量分配系统一起使用的流量分配方法。
技术介绍
1、在被称为流量比率控制器的一种类型的流体分配系统中，在单个入口接收到的流量根据通道特定的流量比率设定点被划分为多个通道出口流量，该通道特定的流量比率设定点指定每个通道中的流量与总测得的入口流量的比率。比率设定点通常表示为总的入口流量的百分比，并且总数为100％。只要存在以下a)和b)两个条件，那么传统系统将允许的通道的数量(n)通常没有具体限制：a)足够的入口流量以在n个通道之间划分并且b)每个通道的比率设定点百分比产生高于最低可检测信号或噪声水平的各个通道流量，使得比率控制算法具有足够的信号以保持稳定。
2、在传统流量比率控制器中，很难重复和可再现地提供流体流量，特别是在处理室中针对各个喷头区域利用相对非常低的流量的应用中。在流量比率控制器上游的流量控制中出现的误差可能导致流量比率控制器的单个入口处的流量和压力变化，这可能导致多通道出口流量的流量比率控制中出现误差。这种误差可能不利地影响诸如半导体制造等需要高精度和低误差率的应用。
技术实现思路
1、为了解决这些问题，根据本公开的一个方面，提供了一种混合流量比率控制器系统。混合流量比率控制器包括：入口，其被配置为接收总的入口流体流量；和三个以上分配通道，其与入口流体连接并且并行地布置在入口下游的支流路径中。三个以上分配通道中的每个分配通道都设置有相应的可变流量控制阀并且被配
2、提供本
技术实现思路
是为了以简化形式介绍以下在具体实施方式中进一步描述的概念的选择。本
技术实现思路
不旨在确认所要求保护的主题的关键特征或基本特征，也不旨在用于限制所要求保护的主题的范围。此外，所要求保护的主题不限于解决本公开的任何部分中指出的任何或所有缺点的实施方式。
【技术保护点】
1.一种混合流量比率控制器系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，在所述溢流模式下，所述控制器被配置为：
3.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，进一步包括：
4.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，进一步包括：
5.根据权利要求4所述的混合流量比率控制器系统，其中，
6.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
7.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
8.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
9.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
10.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
11.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
12.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
13.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
14.一种与流量分配系统一起使用的流量分配方法，所述流量分配系统包
15.根据权利要求14所述的流量分配方法，进一步包括：
16.根据权利要求14所述的流量分配方法，其中，在所述三个以上分配通道的下游设置有喷头，所述喷头包括多个区域，所述方法进一步包括：
17.根据权利要求16所述的流量分配方法，进一步包括：
18.根据权利要求16所述的流量分配方法，进一步包括：
19.根据权利要求14所述的流量分配方法，进一步包括：
20.根据权利要求14所述的流量分配方法，其中，所述压力控制模式为第一压力控制模式或第二压力控制模式；所述方法进一步包括：
...【技术特征摘要】
1.一种混合流量比率控制器系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，在所述溢流模式下，所述控制器被配置为：
3.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，进一步包括：
4.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，进一步包括：
5.根据权利要求4所述的混合流量比率控制器系统，其中，
6.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
7.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
8.根据权利要求5所述的混合流量比率控制器系统，其中，
9.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
10.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
11.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
12.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
13.根据权利要求1所述的混合流量比率控制器系统，其中，
14.一种与流量分配系统一起使用的流量...
【专利技术属性】
技术研发人员：马克西米利安·冈德拉赫，帕特里克·劳瑞，安田忠弘，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：
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