四极质谱仪及残留气体分析方法技术

本发明专利技术降低在四极质谱仪中由变压器所引起的温度影响，并具备：离子化部(21)，其将试样离子化；四极部(23)，其具有使由离子化部(21)所产生的离子选择性地通过的两组相向电极(23P)；电压施加部(32)，其向两组相向电极(23P)分别施加将直流电压U与高频电压Vcosωt叠加而得的电压；以及离子检测部(24)，其检测通过四极部(23)的离子，电压施加部(32)具有对高频电压Vcosωt进行变压的变压器(4)，变压器(4)是在环形磁芯(41)卷绕初级绕组(42)和次级绕组(43)而构成的部件，初级绕组(42)由呈板状的金属导体形成。的金属导体形成。的金属导体形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】四极质谱仪及残留气体分析方法


[0001]本专利技术涉及一种四极质谱仪及残留气体分析方法。

技术介绍

[0002]以往，作为四极质谱仪，如专利文献1所示，具有使离子选择性地通过的四极部，在四极部中，对两组相向电极分别施加有将直流电压与高频电压叠加而得的电压。此处，施加于相向电极的高频电压使用变压器来进行升压。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2011
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249172号公报

技术实现思路

[0006]技术问题
[0007]另一方面，本申请专利技术人使用上述四极质谱仪，在预定期间连续测定特定的质荷比(m/z＝40AMU)，结果如图9所示，得知随时间经过而输出电流的峰偏移，成为测定误差。对其原因潜心研究，结果得知，受到变压器所产生的热的影响而对周边的电路基板上的电路零件造成热影响。
[0008]因此，本专利技术是为了解决上述问题点而完成的，其主要课题在于，降低在四极质谱仪中由对高频电压进行变压的变压器所引起的温度影响。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种四极质谱仪，其特征在于，具备：离子化部，其将试样离子化；四极部，其具有两组相向电极，所述两组相向电极使由所述离子化部所产生的离子选择性地通过；电压施加部，其向所述两组相向电极分别施加将直流电压与高频电压叠加而得的电压；以及离子检测部，其检测通过所述四极部的离子，所述电压施加部具有对高频电压进行变压的变压器，所述变压器是在环形磁芯卷绕初级绕组和次级绕组而构成的部件，所述初级绕组由呈板状的金属导体形成。2.根据权利要求1所述的四极质谱仪，其特征在于，卷绕于所述环形磁芯的所述次级绕组具有：第一次级绕组，其连接于所述两组相向电极中的一组；以及第二次级绕组，其连接于所述两组相向电极中的另一组。3.根据权利要求1或2所述的四极质谱仪，其特征在于，所述环形磁芯通过将两个以上的环形磁芯元件层叠而构成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的四极质谱仪，其特征在于，所述初级绕组相对于所述环形磁芯以成为放射状的方式卷绕。5.根据权利要求1至4中任一项所述的四极质谱仪，其特征在于，所述初级绕组在展开的状...

【专利技术属性】
技术研发人员：高仓洋，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：