基板镀膜载具及基板镀膜方法技术

本发明专利技术公开了一种基板镀膜载具，包括载具本体和正对所述载具本体承载面设置的基板检测单元，所述基板检测单元用于实时检测所述载具本体上有无基板。本发明专利技术还公开了一种基板镀膜方法，先通过基板检测单元的信号反馈确认载具上是否有基板，然后再决定当前载具是否需要开启镀膜工艺，控制可靠，可以有效避免基板漏镀膜或设备污染及靶材浪费等现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板加工
，尤其涉及一种基板镀膜载具及基板镀膜方法。
技术介绍
目前显示用的基板的镀膜设备大部分为生产线上流片生产，设备通过识别基板载具端是否有接收到基板的加工数据，以此来控制镀膜靶材瞄准基板载具上的预定位置，如有加工数据则进行镀膜，智能化程度高，有效地提升了镀膜效率。然而，当基板载具上并无基板而有接受到的基板的加工数据时，设备默认有基板而无法自动识别此种情形，则会进行无效镀膜，靶材也会透过载具裸空区域溅镀至设备上，因此会造成设备污染及靶材浪费，缩短载具清洗频率；或者实际有基板，而加工数据丢失，导致基板漏镀膜，造成产品出现异常。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种基板镀膜载具及基板镀膜方法，可以有效提高镀膜精度，避免产品异常。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种基板镀膜载具，包括载具本体和正对所述载具本体承载面设置的基板检测单元，所述基板检测单元用于实时检测所述载具本体上有无基板。作为其中一种实施方式，所述基板检测单元包括信号发射端和信号接收端，所述载具本体上的基板放置区域内开设有通孔，所述信号发射端和所述信号接收端分别设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板镀膜载具，其特征在于，包括载具本体(10)和正对所述载具本体(10)承载面设置的基板检测单元(20)，所述基板检测单元(20)用于实时检测所述载具本体(10)上有无基板(S)。

【技术特征摘要】
1.一种基板镀膜载具，其特征在于，包括载具本体(10)和正对所述载具本体(10)承载面设置的基板检测单元(20)，所述基板检测单元(20)用于实时检测所述载具本体(10)上有无基板(S)。2.根据权利要求1所述的基板镀膜载具，其特征在于，所述基板检测单元(20)包括信号发射端(21)和信号接收端(22)，所述载具本体(10)上的基板放置区域内开设有通孔(11)，所述信号发射端(21)和所述信号接收端(22)分别设于所述载具本体(10)两侧并正对所述通孔(11)。3.根据权利要求1所述的基板镀膜载具，其特征在于，所述基板检测单元(20)包括信号收发端(23)和信号反射端(24)，所述信号反射端(24)设于所述载具本体(10)上的基板放置区域内，所述信号收发端(23)正对所述信号反射端(24)。4.根据权利要求1-3任一所述的基板镀膜载具，其特征在于，所述基板检测单元(20)为多个，分别设于所述载具本体(10)上的基板放置区域边界边缘。5.根据权利要求4所述的基板镀膜载具，其特征在于，至少两个所述基板检测单元(20)对角设于所述载具本体(10)上的基板放置区域边界边缘。6.一种基板镀膜方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：董洪超，刘亮，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42