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本发明公开了一种基板镀膜载具，包括载具本体和正对所述载具本体承载面设置的基板检测单元，所述基板检测单元用于实时检测所述载具本体上有无基板。本发明还公开了一种基板镀膜方法，先通过基板检测单元的信号反馈确认载具上是否有基板，然后再决定当前载具是...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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