一种镀膜机液氮旋转冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜机液氮旋转冷却装置，从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，通过小齿轮、皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。本实用新型专利技术通过电机驱动中间轴做旋转运动，实现基片台旋转，使基片台下表面镀膜均匀，提高冷却速度，使得基片台可以高效快速均匀镀膜。

A liquid nitrogen rotating cooling device for a coating machine

The utility model discloses a liquid nitrogen rotary cooling device for a coating machine. From top to bottom, it includes a liquid nitrogen rotary device, a support screw, a vacuum sealing device, a hollow tube and a base plate table. The outer shell of the liquid nitrogen rotary device and the outer shell of the vacuum sealing device are connected by the supporting screw; in the liquid nitrogen rotating device and the vacuum sealing device, the liquid nitrogen rotates and the vacuum sealing device is used. The intermediate shaft is provided with a connecting body and a large gear, the large gear is located at the lower part of the connecting body and connected with the connecting body bolt, and a motor seat is fixed on the casing of the vacuum sealing device. The motor is arranged on the motor seat, connected to the large gear through the small gear and the belt, and the large gear is welded with the hollow tube through the vacuum sealing device. A cooling tube is arranged in the hollow pipe, and the upper part of the cooling pipe is connected with the liquid nitrogen rotating device, and the lower part is connected with the substrate stage. The utility model rotates the intermediate shaft by the motor to realize the rotation of the base plate, so that the coating on the surface of the substrate is uniform and the cooling speed is improved, so the substrate table can be coated efficiently, quickly and evenly.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机液氮旋转冷却装置
本技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种镀膜机液氮旋转冷却装置。
技术介绍
在制作镀膜样片时，经常对基片进行冷却处理，传镀膜统冷却方法一般采用冷却水冷却或乙醇介质冷却法对静止的基片台冷却，但是这两种方式均冷却速度慢，不利于镀膜快速冷却成型，另外，静止的基片台极易造成镀膜不均匀，导致基片下面膜材蒸汽分布不均匀，靠近蒸发源的基片位置膜厚，远离蒸发源的基片位置膜薄，鉴于上述缺陷，实有必要设计一种镀膜机液氮旋转冷却装置。
技术实现思路
本技术提供一种镀膜机液氮旋转冷却装置，来解决镀膜材料镀膜不均匀和不能极速冷却导致镀膜效率降低，镀膜品质不良的问题。其技术方案如下所述：一种镀膜机液氮旋转冷却装置，从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：从上到下依次包括液氮旋转装置、支撑螺杆、真空密封装置、空心管、基片台，液氮旋转装置的外壳和真空密封装置的外壳通过支撑螺杆相连；在液氮旋转装置和真空密封装置的中间轴之间设置有连接体、大齿轮，大齿轮位于连接体下部并和连接体螺栓连接，真空密封装置外壳上固定有电机座，所述电机座上设置有电机，所述电机连接有小齿轮，小齿轮通过皮带连接到大齿轮；大齿轮与穿过真空密封装置的空心管焊接，空心管中设置有冷却管，冷却管上部与液氮旋转装置相连接，下部与基片台相连。2.根据权利要求1所述的镀膜机液氮旋转冷却装置，其特征在于：空心管外侧的上部设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭书周，
申请(专利权)人：北京帕托真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11