一种水洗装置制造方法及图纸

一种水洗装置，包括中空的塔体、喷淋装置、水封和储液罐；喷淋装置设于塔体顶部的内壁；水封位于塔体底部的下端，并连通于塔体和储液罐；塔体设有进气管和排气管；进气管连通于塔体的底部，排气管连通于塔体上部的侧壁。本实用新型专利技术根据上述内容，能够除去溶于水的酸性气体，并将酸性气体的水溶液有效的储存和利用，提高成品气体的纯度。

Water washing device

A washing device, comprising a hollow tower body, a spraying device, and the water tank; the inner wall of the spray device is arranged on the top of the tower; the lower seal at the bottom of the tower body, and connected with the tower body and the liquid storage tank; the tower body is provided with an air inlet pipe and an exhaust pipe; the air inlet pipe is communicated with the bottom of the tower body, exhaust the side wall of pipe communicated with the upper part of a tower. According to the above contents, the utility model can remove the acid gas dissolved in water and effectively store and utilize the aqueous solution of the acidic gas, thereby improving the purity of the finished gas.

【技术实现步骤摘要】
一种水洗装置
本技术涉及水洗设备领域，尤其涉及一种水洗装置。
技术介绍
四氟化碳是目前微电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。但是，在制备四氟化碳气体的过程中，会产生影响四氟化碳气体纯度的物质，如氟化氢气体，碳粉等，严重影响四氟化碳气体的纯度，所以，迫切需要一种可靠的水洗设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种水洗装置，能够除去溶于水的酸性气体，并将酸性气体的水溶液有效的储存和利用，提高成品气体的纯度。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种水洗装置，包括中空的塔体、喷淋装置、水封和储液罐；所述喷淋装置设于所述塔体顶部的内壁；所述水封位于所述塔体底部的下端，并连通于所述塔体和储液罐；所述塔体设有进气管和排气管；所述进气管连通于所述塔体的底部，所述排气管连通于所述塔体上部的侧壁。进一步，所述塔体至少包括两个塔节；相邻的所述塔节通过法兰连接。进一步，相邻的塔节之间设置有筛板，并通过相邻的所述塔节之间的所述法兰固定。进一步，所述喷淋装置为花洒式喷淋装置。进一步，沿所述塔体的外周设置有多个挂耳。进一步，所述储液罐的侧壁至少设有一条出料管。进一步，位于所述储液罐侧壁的下部至少设有一条排污管；所述出料管的水平位置高于所述排污管的水平位置。进一步，所述水封包括正向U型水封和反向U型水封；所述正向U型水封的一端与所述反向U型水封的一端连接，所述正向U型水封的另一端与所述塔体的底部连接，所述反向U型水封的另一端与所述储液罐连接。进一步，所述反向U型水封的顶部设有连通于外部的通管。进一步，所述塔体上部的内壁安装有喇叭状的配液盘；所述配液盘由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄；所述配液盘位于所述喷淋装置的下方且其上端开口靠近于所述喷淋装置。本技术的目的在于提出一种水洗装置，能够除去溶于水的酸性气体，并将酸性气体的水溶液有效的储存和利用，提高成品气体的纯度。将混有氟化氢气体和四氟化碳气体的混合气体从所述进气口通入至所述塔体，由于氟化氢气体易溶于水，四氟化碳气体不易溶于水，所述喷淋装置喷出的水会把氟化氢气体变成氟化氢的水溶液，并且氟化氢的水溶液会通过水封流入至所述储液罐，把其作为副产品保存起来，在在所述水封的作用下，四氟化碳气体并不能进入所述储液罐，提高氟化氢的水溶液的纯度。由于所述进气管连通于所述塔体的底部，所述排气管连通于所述塔体上部的侧壁，所述喷淋装置设于所述塔体顶部的内壁，通过这样的配合，能够增加混合气体流动的路程，使得所述喷淋装置喷出的水有更加多的时间与混合气体接触，进一步提高水洗的效率，进一步提高四氟化碳气体的纯度，提高氟化氢的水溶液的产率。附图说明图1是本技术其中一个实施例的正面结构示意图。其中：塔体41、进气管411、排气管412、塔节413、法兰414、挂耳415、配液盘416、喷淋装置42、水封43、正向U型水封431、反向U型水封432、通管4321、储液罐44、出料管441、排污管442、筛板45。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。一种水洗装置，包括中空的塔体41、喷淋装置42、水封43和储液罐44；所述喷淋装置42设于所述塔体41顶部的内壁；所述水封43位于所述塔体41底部的下端，并连通于所述塔体41和储液罐44；所述塔体41设有进气管411和排气管412；所述进气管411连通于所述塔体41的底部，所述排气管412连通于所述塔体41上部的侧壁。为了更加清楚地说明，图1中的所述塔体41的中部与上部、还有储液罐44为内部示意图，以更加清晰地看到所述喷淋装置42、配液盘416、出料管441和排污管442的结构和位置。将混有氟化氢气体和四氟化碳气体的混合气体从所述进气口411通入至所述塔体41，由于氟化氢气体易溶于水，四氟化碳气体不易溶于水，所述喷淋装置42喷出的水会把氟化氢气体变成氟化氢的水溶液，并且氟化氢的水溶液会通过水封43流入至所述储液罐44，把其作为副产品保存起来，在在所述水封43的作用下，四氟化碳气体并不能进入所述储液罐44，提高氟化氢的水溶液的纯度。由于所述进气管411连通于所述塔体41的底部，所述排气管412连通于所述塔体41上部的侧壁，所述喷淋装置42设于所述塔体41顶部的内壁，通过这样的配合，能够增加混合气体流动的路程，使得所述喷淋装置42喷出的水有更加多的时间与混合气体接触，进一步提高水洗的效率，进一步提高四氟化碳气体的纯度，提高氟化氢的水溶液的产率。进一步，所述塔体41至少包括两个塔节413，本实施例的所述塔节413为管状的，所述塔节413内装填有PP填料；相邻的所述塔节413通过法兰414连接。可以根据实际的情况，增加所述塔节413的数量，以增加所述塔体41的长度，同时，通过所述法兰414连接，方便后续所述塔节413的拆装和维修。进一步，相邻的塔节413之间设置有筛板45，并通过相邻的所述塔节413之间的所述法兰414固定。混有氟化氢气体和四氟化碳气体的混合气体中会混有粉尘，主要是制备四氟化碳气体时不充分反应留下的碳粉，所述筛板45能够把粉尘过滤，增加四氟化碳气体的纯度，所述筛板45通过相邻的所述塔节413之间的所述法兰414固定，更加方便其安装和拆卸。进一步，所述喷淋装置42为花洒式喷淋装置。花洒式喷淋装置能够把水更加充分地喷淋，使水的喷淋面积更大，令水与混合气体的更加充分地接触，提高水洗的质量。进一步，沿所述塔体41的外周设置有多个挂耳415。所述塔体41安装时，通过钢索系住所述挂耳415，进一步提高所述塔体41的安装的稳定性。进一步，所述储液罐44的侧壁至少设有一条出料管441。方便水洗后的副产品氟化氢的水溶液的出料，本实施例设有1条出料管441，在满足出料的前提下能够降低成本。进一步，位于所述储液罐44侧壁的下部至少设有一条排污管442；所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置。混合气体中的粉尘经水洗后会成为固态渣，并且会一同进入至所述储液罐44，由于重力作用，这些固态渣会沉积在所述储液罐44的底部，本实施例的所述储液罐44的内部设置有隔板，有效将固态渣沉降下来而不参与循环，且设置有两条所述排污管442，均设在所述储液罐44侧壁的下部，能够加快固态渣的清理速度。因为所述储液罐44底部沉积有固态渣，所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置，从所述出料管441排出的氟化氢的水溶液的纯度会更加高。进一步，所述水封43包括正向U型水封431和反向U型水封432；所述正向U型水封431的一端与所述反向U型水封432的一端连接，所述正向U型水封431的另一端与所述塔体41的底部连接，所述反向U型水封432的另一端与所述储液罐44连接。所述正向U型水封431和反向U型水封432价格便宜，成本低，通过所述正向U型水封431和反向U型水封432的配合，能够有效地阻止四氟化碳气体进入到所述储液罐。进一步，所述反向U型水封432的顶部设有连通于外部的通管4321。所述通管4321连通至外部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水洗装置，包括中空的塔体、喷淋装置、水封和储液罐；其特征在于：所述喷淋装置设于所述塔体顶部的内壁；所述水封位于所述塔体底部的下端，并连通于所述塔体和储液罐；所述塔体设有进气管和排气管；所述进气管连通于所述塔体的底部，所述排气管连通于所述塔体上部的侧壁。

【技术特征摘要】
1.一种水洗装置，包括中空的塔体、喷淋装置、水封和储液罐；其特征在于：所述喷淋装置设于所述塔体顶部的内壁；所述水封位于所述塔体底部的下端，并连通于所述塔体和储液罐；所述塔体设有进气管和排气管；所述进气管连通于所述塔体的底部，所述排气管连通于所述塔体上部的侧壁。2.根据权利要求1所述的一种水洗装置，其特征在于：所述塔体至少包括两个塔节；相邻的所述塔节通过法兰连接。3.根据权利要求2所述的一种水洗装置，其特征在于：相邻的塔节之间设置有筛板，并通过相邻的所述塔节之间的所述法兰固定。4.根据权利要求1所述的一种水洗装置，其特征在于：所述喷淋装置为花洒式喷淋装置。5.根据权利要求1所述的一种水洗装置，其特征在于：沿所述塔体的外周设置有多个挂耳。6.根据权利要求1所述的一种水洗装置，其特征在于：所述储液...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖三，关创新，何西，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，江西华特电子化学品有限公司，江门市新会特种气体研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44