一种六氟丁二烯的合成方法及中间二聚体的合成系统技术方案

本发明专利技术涉及特种气体合成技术领域，尤其涉及一种六氟丁二烯的合成方法，以纯度≥99.5％、沸点≥120℃的化学键饱和态氟化物为稳定剂，与三氟氯乙烯混合均匀后，加热发生二聚化反应，在前述稳定剂的作用下，可以均匀反应时的热量，不易导致局部温度升高，并且原料的流量会更加稳定，降低由于温度波动导致的副反应的产生，提高三氟氯乙烯转化率、中间二聚体的收率，其中，稳定剂与未反应的原料可以分离循环使用，综合可使三氟氯乙烯的转化率达95％以上，中间二聚体收率在95％以上，主目标二聚体在产物中摩尔占比在60％以上，具有良好的转化效果，经济效益高，系统维护成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及特种气体合成，尤其涉及一种六氟丁二烯的合成方法及中间二聚体的合成系统。

技术介绍

1、在半导体芯片制造过程中，电子特气广泛应用于硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节，其是决定半导体芯片产品质量的核心产品要素。随着近年来下游产业技术快速更迭，要求更大的晶圆尺寸，更细微化的制程技术，电子特气的精细化程度与稳定性持续提高，对先进制程用的中高端气体材料需求持续突出。

2、电子六氟丁二烯为8-12寸半导体先进制程的战略性核心气体，以其作为半导体的等离子蚀刻具有更快的蚀刻速率、高选择性和高深宽比，在大气中寿命较短，全球变暖潜值与传统刻蚀剂相比可忽略不计，是刻蚀气中唯一兼具应用性能和环保性能的产品。目前，主流合成六氟丁二烯的方法为：

3、

4、但上述方式涉及的原料及溶剂较多，且部分为有毒有害原料，反应过程复杂，成本高，且中间二聚体分离难度比较高，目标产物收率较低。

5、为解决上述问题，申请人申请了公布号cn116283481a的专利技术专利，公开一种六氟丁二烯的合成方法，对催化剂进行改进并本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，包括如下步骤：将稳定剂与三氟氯乙烯汽化后混合均匀得到混合物料，所述混合物料在加热的条件下发生二聚化反应得到反应产物，对所述反应产物进行分离提纯得到中间二聚体，所述中间二聚体经脱氯后处理得到六氟丁二烯，

2.根据权利要求1所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，所述反应产物包括所述中间二聚体和副产物，所述中间二聚体为CF2Cl-CF＝CF-CF2Cl的立体同分异构体及CF2Cl-CFCl-CF＝CF2。

3.根据权利要求2所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，对所述反应产物的分离包括二次分离，第一次分离采用一级精馏的方式得...

【技术特征摘要】

1.一种六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，包括如下步骤：将稳定剂与三氟氯乙烯汽化后混合均匀得到混合物料，所述混合物料在加热的条件下发生二聚化反应得到反应产物，对所述反应产物进行分离提纯得到中间二聚体，所述中间二聚体经脱氯后处理得到六氟丁二烯，

2.根据权利要求1所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，所述反应产物包括所述中间二聚体和副产物，所述中间二聚体为cf2cl-cf＝cf-cf2cl的立体同分异构体及cf2cl-cfcl-cf＝cf2。

3.根据权利要求2所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，对所述反应产物的分离包括二次分离，第一次分离采用一级精馏的方式得到用于回收再反应的未反应原料；第二次分离采用多级精馏的方式分别得到所述中间二聚体、所述副产物及所述稳定剂，其中，进行精馏时的温度为-10℃至100℃。

4.根据权利要求1所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，所述氟化物的来源为化学通式为cxf2(x+1)或cxf(y+2x+2)ny的化合物中的至少一种，其中x和y取正整数；

5.根据权利要求1所述的六氟丁二烯的合成方法，其特征在于，所述氟化物的沸点为z，120℃≤z≤300℃。

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【专利技术属性】
技术研发人员：杨俊豪，陈艳珊，傅铸红，茹高艺，谢武中，陈志炜，张政政，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：