晶圆搬运装置改良结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆搬运装置改良结构，主要结构包括一具有复数移动轮的移动载具、一枢设于移动载具上并藉一驱动马达摆动的活动摆臂、一枢设于活动摆臂背离驱动马达一端的夹持装置、及一设于活动摆臂内的传动组件，系包含一固定轮、一设于夹持装置一侧供夹持装置转动的转动轮、及一连结转动轮及固定轮的传动带，系使活动摆臂及转动轮同步反向旋转。采用上述方案后，以移动轮增加移动载具的移动便利性，而方便的转移晶圆至其他装置，并利用传动组件使夹持装置与活动摆臂同步反向转动，而维持搬运过程的稳定水平。

【技术实现步骤摘要】

本技术为提供一种晶圆搬运装置改良结构，尤指一种结构简单、移动性佳，且搬运过程可稳定维持水平的晶圆搬运装置改良结构。
技术介绍
随着工业的发展与科技的快速进步，自动化技术系被广泛的应用于现代的制造产业之中，而自动化技术中，多数系透过机械手臂装置以进行物料移动或物料加工等步骤。以晶圆及装载晶圆的晶舟盒为例，产品在生产过程中，常需要从一个操作平台移动至另一个操作平台上。又，为配合不同的生产需求，两个平台有时会不在一个平面上。习知晶圆的搬运装置，常采用以三维运动平台带动料爪来实现产品的移动、或利用机械手臂来实现产品的移动。然而，此二种搬运方式对晶圆而言，因搬运过程容易产生晃动，而晶圆乃高精度的科技产品，在搬运过程必须确保其平稳度，故此类搬运方法仍有其不适之处。再者，此类搬运装置通常结构复杂、体积较大、移动性极差，配置于指定位置后若需要变更位置，则需以起重机等器械辅助搬运，费时又费力。故上述晶圆的搬运装置于使用时，为确实存在下列问题与缺失尚待改进：一、结构复杂、体积较大、移动性极差。二、搬运过程容易晃动、平稳度较低。如何解决上述习用的问题与缺失，即为本技术的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向。
技术实现思路
本技术的申请人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，始设计出此种结构简单、移动性佳，且搬运过程可稳定维持水平的晶圆搬运装置改良结构技术。本技术的主要目的在于：简化结构组成、赋予良好之移动性，并使晶圆搬运过程的动作可确保平稳水平。为达上述目的，本技术的结构包括：一移动载具，该移动载具一侧具有复数供该移动载具自由移动的移动轮，并于该移动载具上枢设一直接透过一驱动马达进行摆动的活动摆臂，且于该活动摆臂背离该移动载具饿一端枢设一夹持装置，另于该活动摆臂内设置一传动组件，该传动组件系包含一与该驱动马达同轴枢设的固定轮、一设于该夹持装置一侧供该夹持装置转动的转动轮、及一连结该转动轮及该固定轮的传动带，系使该活动摆臂及该转动轮同步反向旋转，以此维持该夹持装置保持水平；当使用者利用本技术进行晶圆搬运的动作时，系可通过移动轮将移动载具移动至搬运目标一侧，接着利用驱动马达带动活动摆臂旋转，因活动摆臂旋转时，固定轮并未与活动摆臂同步旋转，使得传动带受固定轮牵制而与活动摆臂进行反向旋转，进而由传动带牵动转动轮旋转，致使夹持装置随着活动摆臂的转动而同步反向旋转，故不论活动摆臂摆动角度位置为何，夹持装置恒与移动载具保持水平，以维持晶舟盒的搬运稳定度。采用上述技术，可针对习用晶圆的搬运装置所存在的结构复杂、体积较大、移动性极差，及搬运过程容易晃动、平稳度较低等问题点加以突破，达到上述优点的实用进步性。附图说明图1为本技术较佳实施例之立体图。图2为本技术活动摆臂之结构示意图。图3为本技术活动升降台之结构示意图。图4为本技术较佳实施例之动作示意图一。图5为本技术较佳实施例之动作示意图二。图6为本技术较佳实施例之动作示意图三。图7为本技术较佳实施例之动作示意图四。其中：1、晶圆搬运装置；2、移动载具；21、移动轮；22、活动升降台；221、顶推螺杆；222、升降马达；23、定位脚架；231、锁固组件；24、定位部；3、活动摆臂；31、驱动马达；4、夹持装置；5、传动组件；51、固定轮；52、转动轮；53、传动带；54、调节轮；6、承载装置；7、被夹物。具体实施方式为达成上述目的及功效，本技术所采用的技术手段及构造，就本技术较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。请参阅图1至图4所示，技术由图中可清楚看出本技术之晶圆搬运装置1系包括：一移动载具2，该移动载具2系包含一活动升降台22，且该活动升降台22系包含一顶推螺杆221、及一设于该顶推螺杆221一侧供驱动该顶推螺杆221的升降马达222；至少一设于该移动载具2一侧的定位脚架23，且该定位脚架23系包含一锁固组件231，系供调整该定位脚架23的长度；至少一界定于该移动载具2上之定位部24，系供承载及固定一被夹物7；复数设于该移动载具2一侧的移动轮21，系供该移动载具2自由移动；一枢设于该移动载具2及该活动升降台22上的活动摆臂3，系直接透过一设于该活动升降台22上的驱动马达31进行摆动；一枢设于该活动摆臂3背离该驱动马达31一端的夹持装置4；及一设于该活动摆臂3内的传动组件5，该传动组件5系包含一与该驱动马达31同轴设置之固定轮51、一设于该夹持装置4一侧供转动该夹持装置4的转动轮52、一连结该转动轮52及该固定轮51的传动带53、及一设于该传动带53一侧供调节该传动带53之松紧度的调节轮54，系该传动带53使该活动摆臂3及该转动轮52同步反向旋转，以此维持该夹持装置4保持水平。上述该晶圆搬运装置1一侧系链接一承载装置6，系供该夹持装置4置放该被夹物7。通过上述的说明，已可了解本技术的结构，而依据这个结构的对应配合，更可达到结构简单、移动性佳，且搬运过程可稳定维持水平等优势，而详细的解说将于下述说明。请同时配合参阅图1至图7所示，技术采用上述构件组构时，可由图中清楚看出，本技术的晶圆搬运装置1系架构于一移动载具2上，故使用时可利用移动轮21自由移动至一承载装置6一侧，并利用锁固组件231调整定位脚架23的长度，以将移动载具2固定于承载装置6一侧，然后透过活动摆臂3及夹持装置4的配合作动，供夹持装置4置放一被夹物7(本实施例中，该被夹物7系为晶舟盒)。实际搬运动作乃分为两段动作说明：第一，系为活动升降台22的的升降动作及被夹物7的定位动作。当活动摆臂3摆动到定位部24的对应位置上空时，即可透过升降马达222驱动顶推螺杆221，使顶推螺杆221带动活动升降台22下降，以供夹持装置4夹取被夹物7，并于夹持动作完成时，反向驱动活动升降台22上升回原对应位置高度。藉此，在让被夹物7在转移至承载装置6或接收回移动载具2前，进行定对动作，并以垂直升降动作确保夹持及置放的稳定度及精准度；第二，系为活动摆臂3的摆动转移动作。于活动升降台22上升后，系透过一驱动马达31直接带动活动摆臂3摆动，于此同时，传动组件5的固定轮51虽与驱动马达31同轴设置，但不与驱动马达31同步旋转，故当活动摆臂3顺向摆动时，本应与活动摆臂3同步旋转的固定轮51，因其固定效果转而变为反向带动传动带53逆向旋转的效果，也因为传动带53的逆向旋转，而使转动轮52受传动带53牵动一起逆向旋转，进而连动转动轮52一侧的夹持装置4进行逆向旋转，通过让活动摆臂3与夹持装置4同步反向旋转，故不论活动摆臂3摆动角度位置为何，夹持装置4恒与移动载具2保持水平，以维持晶舟盒的搬运稳定度。由此可知，当使用者欲将被夹物7由移动载具2搬运至承载装置6时，系先摆动活动摆臂3使夹持装置4定位于被夹物7上方，然后通过活动升降台22的升降将被夹物7垂直夹起，接着以活动摆臂3将被夹物7转移至承载装置6上方，最后垂直下降平稳放置；反之，亦可由承载装置6上将被夹物7搬运至移动载具2的定位部24上，而通过移动载具2将被夹物7转运至其他目标位置。请参阅全部附图所示，本技术使用时，与习用技术相较本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆搬运装置改良结构，其特征在于：包含：一移动载具；复数设于该移动载具一侧的移动轮，系供该移动载具自由移动；一枢设于该移动载具上的活动摆臂，系直接透过一驱动马达进行摆动；一枢设于该活动摆臂背离该驱动马达一端的夹持装置；及一设于该活动摆臂内饿传动组件，该传动组件系包含一与该驱动马达同轴设置的固定轮、一设于该夹持装置一侧供转动该夹持装置的转动轮、及一连结该转动轮及该固定轮的传动带，系使该活动摆臂及该转动轮同步反向旋转，以此维持该夹持装置保持水平。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运装置改良结构，其特征在于：包含：一移动载具；复数设于该移动载具一侧的移动轮，系供该移动载具自由移动；一枢设于该移动载具上的活动摆臂，系直接透过一驱动马达进行摆动；一枢设于该活动摆臂背离该驱动马达一端的夹持装置；及一设于该活动摆臂内饿传动组件，该传动组件系包含一与该驱动马达同轴设置的固定轮、一设于该夹持装置一侧供转动该夹持装置的转动轮、及一连结该转动轮及该固定轮的传动带，系使该活动摆臂及该转动轮同步反向旋转，以此维持该夹持装置保持水平。2.如权利要求1所述的晶圆搬运装置改良结构，其特征在于：移动载具系包含一活动升降台，且该活动摆臂系枢设于该活动升降台上。3.如权利要求2所述的晶圆搬运装置改良结构，其特征在于：活动升降台系包含一顶推螺杆、及一设于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：林永国，
申请(专利权)人：乐华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71