搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法制造方法及图纸

搬送装置，具备：第1支承部(3)，对基板的一面供给气体，能通过气体悬浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驱动部(402)，使第1及第2支承部的至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过驱动部而排列的第1及第2支承部的一方所支承的基板沿第1方向往另一方侧移动。

Conveying device, delivery method, exposure device, and component manufacturing method

Conveying device, comprising: first supporting part (3), on a surface of a substrate supply gas through the gas suspension supporting board; the second supporting part (400), side of the substrate; the driving part (402), the first and 2 at least one mobile support part, the first and 2 support the Ministry close to each other or contact are arranged in the first direction; and a transfer section will be arranged through the substrate first and a driving part 2 supporting a support along the first direction to move the other side.

【技术实现步骤摘要】
搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法本申请是申请日为2011年2月17日，申请号为201180009815.0，专利技术名称为“搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术是关于搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法。本申请案，是根据2010年2月17日提申的美国暂时申请第61/305，355号、及61/305，439号主张优先权，并将其内容援用于此。
技术介绍
在平面面板显示器等电子元件的工艺中，是使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在使用此等处理装置的曝光步骤、检查步骤中，是使用用以将大型基板(例如玻璃基板)搬送至处理装置的如揭示于下述专利文献的搬送装置。[专利文献][专利文献1]日本特开2001－100169号公报
技术实现思路
上述的大型基板的搬送装置中，因在将被基板支承构件支承的基板往基板保持部移交时基板与基板保持部之间会介在空气之层，故有时会有移交后的基板产生变形，或基板对基板保持部上的载置位置产生载置偏移的情形。若移交后的基板产生载置偏移或变形，则在例如曝光装置中会产生无法对基板上的适当正确的位置进行既定曝光等曝光不良的问题。当产生基板的载置偏移或变形时，为了解除该问题而例如通过重新进行基板的移交，会产生基板的处理迟延的问题。又，若为了在移交后不使空气之层残留而例如降低基板的移交速度，则会产生基板的处理更加迟延的问题。本专利技术的态样，其目的在于提供能在不产生载置偏移或变形的情形下进行基板的移交的搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法。根据本专利技术的第1态样，是提供一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承前述基板；第2支承部，能支承前述基板的前述一面；驱动部，使前述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过前述驱动部而排列的前述第1及第2支承部的一方所支承的前述基板沿前述第1方向往另一方侧移动。根据本专利技术的第2态样，是提供一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承前述基板；第2及第3支承部，能支承前述基板的前述一面；第1驱动部，使前述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；第2驱动部，使前述第1及第3支承部的至少一个移动，使该第1及第3支承部彼此接近或接触并排列于第2方向；第1移送部，将通过前述第1驱动部而排列于前述第1支承部的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述第1方向往前述第1支承部侧移动；第2移送部，将通过前述第2驱动部而排列于前述第3支承部的前述第1支承部所支承的前述基板沿前述第2方向往前述第3支承部侧移动。根据本专利技术的第3态样，是提供一种搬送方法，搬送基板，其包含：使能通过对前述基板的一面供给的气体以悬浮支承前述基板的第1支承部、及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；以及将所排列的前述第1及第2支承部的一方所支承的前述基板沿前述第1方向往另一方侧移动的动作。根据本专利技术的第4态样，是提供一种搬送方法，搬送基板，其包含：使能通过对前述基板的一面供给的气体以悬浮支承前述基板的第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；将排列于前述第1支承部的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述第1方向往前述第1支承部侧移动的动作；使前述第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第3支承部的至少一方移动，以使该第1及第3支承部彼此接近或接触并排列于第2方向的动作；以及将排列于前述第3支承部的前述第1支承部所支承的前述基板沿前述第2方向往前述第3支承部侧移动的动作。根据本专利技术的第5态样，是提供一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承前述基板；第2支承部，能支承前述基板的前述一面；驱动部，使前述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列；移送部，将通过前述驱动部而排列的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述排列方向往前述第1支承部侧移动；顶起机构，通过停止前述气体的供给，支承载置于前述第1支承部的载置部的前述基板并往该载置部的上方顶起；以及搬出机构，将通过该顶起机构而被支承于前述载置部上方的前述基板从前述第1支承部搬出。根据本专利技术的第6态样，是提供一种搬送方法，搬送基板，其包含：使能通过对前述基板的一面供给的气体以悬浮支承前述基板的第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列的动作；将所排列的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述排列方向往前述第1支承部侧移送的动作；通过停止前述气体的供给，支承载置于前述第1支承部的载置部的前述基板并往该载置部的上方顶起的动作；以及将被支承于前述载置部上方的前述基板从前述第1支承部搬出的动作。根据本专利技术的第7态样，是提供一种曝光装置，以曝光用光使基板曝光，其具备：保持前述基板并使前述基板移动至前述曝光用光的照射区域的上述搬送装置。根据本专利技术的第8态样，是提供一种元件制造方法，其包含：使用上述曝光装置于前述基板转印前述图案的动作；以及根据该图案加工转印有前述图案的前述基板的动作。根据本专利技术的态样，能在不产生载置偏移或变形的情形下进行基板的移交。附图说明图1为显示曝光装置的整体概略的剖面俯视图。图2为显示腔室内的具体构成的外观立体图。图3A为显示板保持具的周边构成的图。图3B为显示板保持具的周边构成的图。图4A为显示搬入部的主要部位构成的图。图4B为显示搬入部的主要部位构成的图。图5A为显示搬出部的主要部位构成的图。图5B为显示搬出部的主要部位构成的图。图6为说明基板对搬入用台的移交步骤的图。图7A为板保持具及搬出部间的基板的搬送步骤的说明图。图7B为板保持具及搬出部间的基板的搬送步骤的说明图。图8为显示于搬入用台上悬浮支承有基板的状态的图。图9为说明搬送搬入用台上的基板的步骤的图。图10为说明基板移载至板保持具侧的步骤的图。图11为说明于板保持具上载置有基板的状态的图。图12为说明基板对搬出用台的移交步骤的图。图13为显示于搬出用台上悬浮支承有基板的状态的图。图14A为说明从板保持具往搬出部侧的基板搬送的图。图14B为说明从板保持具往搬出部侧的基板搬送的图。图14C为说明从板保持具往搬出部侧的基板搬送的图。图15为说明从搬出部搬出基板的动作的图。图16A为显示第2实施形态的搬入部的构成的图。图16B为显示第2实施形态的搬入部的构成的图。图17为说明从搬入部往板保持具侧搬送基板的构成的图。图18为用以说明接续于图18的步骤的图。图19为显示第3实施形态的板保持具构成的图。图20A为说明从搬入部往板保持具侧搬送基板的构成的图。图20B为说明从搬入部往板保持具侧搬送基板的构成的图。图21为显示第4实施形态的构成的图。图22A为说明第4实施形态的基板的移交动作的图。图22B为说明第4实施形态的基板的移交动作的图。图22C为说明第4实施形态的基板的移交动作的图。图22D为说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；第2支承部，能支承所述基板的所述一面；驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过所述驱动部而排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方侧移动。

【技术特征摘要】
2010.02.17 US 61/305,439;2010.02.17 US 61/305,3551.一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；第2支承部，能支承所述基板的所述一面；驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过所述驱动部而排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方侧移动。2.如权利要求1所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于较所述第1及第2支承部的另一方高的位置。3.如权利要求2所述的搬送装置，其中，所述驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第1及第2支承部的一方的上面部，配置于较所述第1及第2支承部的另一方的上面部高的位置。4.如权利要求1至3项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设置成至少一部分与所述第2支承部为一体。5.如权利要求1至4项中任一项所述的搬送装置，其中，所述驱动部设成至少一部分能与所述第1支承部一体移动。6.如权利要求1至5项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2支承部，对所述基板的所述一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板。7.如权利要求1至6项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1及第2支承部配置成至少一部分在俯视下彼此重叠，所述驱动部使所述第1及第2支承部移动于至少垂直方向。8.如权利要求1至7项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有以接触于所述基板下面的状态旋转的滚子机构与规定所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置规定部；所述滚子机构，以使所述位置规定部抵接的方式移动所述基板。9.如权利要求1至7项中任一项所述的搬送装置，其中，所述移送部，具有吸附保持所述基板的端部的吸附机构与检测所述基板对所述第1或第2支承部的位置的位置检测部；所述吸附机构，根据所述位置检测部的检测结果移动所述基板。10.如权利要求1至9项中任一项所述的搬送装置，其具有使支承所述基板的所述第1或第2支承部的上面部倾斜的倾斜机构。11.如权利要求1至10项中任一项所述的搬送装置，其具备检测所述第1支承部与所述第2支承部的相对位置的位置检测部。12.一种搬送装置，其具备：第1支承部，对基板的一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板；第2及第3支承部，能支承所述基板的所述一面；第1驱动部，使所述第1及第2支承部的至少一个移动，使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；第2驱动部，使所述第1及第3支承部的至少一个移动，使该第1及第3支承部彼此接近或接触并排列于第2方向；第1移送部，将通过所述第1驱动部而排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部侧移动；以及第2移送部，将通过所述第2驱动部而排列于所述第3支承部的所述第1支承部所支承的所述基板沿所述第2方向往所述第3支承部侧移动。13.如权利要求12所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第2支承部所支承的所述基板，配置于较所述第1支承部高的位置。14.如权利要求13所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部，将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第2支承部的上面部，配置于较所述第1支承部的上面部高的位置。15.如权利要求12至14项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2驱动部，将所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成所述第1支承部所支承的所述基板，配置于较所述第3支承部高的位置。16.如权利要求15所述的搬送装置，其中，所述第2驱动部，将所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成支承有所述基板的所述第1支承部的上面部，配置于较所述第3支承部的上面部高的位置。17.如权利要求12至16项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部设置成至少一部分与所述第2支承部为一体；所述第2驱动部设置成至少一部分与所述第3支承部为一体。18.如权利要求12至17项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1及第2驱动部，分别设成至少一部分能与所述第1支承部一体移动。19.如权利要求12至18项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2及第3支承部配置于同一水平面内的相异位置。20.如权利要求12至19项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2及第3支承部配置成至少一部分在俯视下彼此重叠，所述第1及第2驱动部，分别使所述第2及第3支承部移动于至少垂直方向。21.如权利要求12至20项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第2支承部及所述第3支承部的至少一方，对所述基板的所述一面供给气体，能通过该气体悬浮支承所述基板。22.如权利要求12至21项中任一项所述的搬送装置，其具有使支承所述基板的所述第2支承部的上面部倾斜的第1倾斜机构与使支承所述基板的所述第1支承部的上面部倾斜的第2倾斜机构。23.如权利要求12至22项中任一项所述的搬送装置，其具备检测所述第1支承部与所述第2或所述第3支承部的相对位置的位置检测部。24.如权利要求12至23项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一方，具有以接触于所述基板下面的状态旋转的滚子机构、与规定作为所述基板的移动目的地的所述基板对所述第1支承部或第2支承部的位置的位置规定部；所述滚子机构，以使所述位置规定部抵接的方式移动所述基板。25.如权利要求12至23项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一个，具有吸附保持所述基板的端部的吸附机构、与检测作为所述基板的移动目的地的所述基板对所述第1支承部或第2支承部的位置的位置检测部；所述吸附机构，根据所述位置检测部的检测结果移动所述基板。26.如权利要求12至25项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1驱动部排列所述第1及第2支承部的所述第1方向与所述第2驱动部排列所述第1及第3支承部的所述第2方向平行。27.如权利要求1至20项中任一项所述的搬送装置，其中，所述第1支承部停止所述气体的供给后将该基板载置于上面部。28.一种搬送方法，搬送基板，其包含：使能通过对所述基板的一面供给的气体以悬浮支承所述基板的第1支承部、及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；以及将所排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方侧移动的动作。29.如权利要求28所述的搬送方法，其将所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于较所述第1及第2支承部的另一方高的位置。30.一种搬送方法，搬送基板，其包含：使能通过对所述基板的一面供给的气体以悬浮支承所述基板的第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移动，以使该第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向的动作；将排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部侧移动的动作；使所述第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第3支承部的至少一方移动，以使该第1及第3支...

【专利技术属性】
技术研发人员：金城麻子，牛岛康之，花崎哲嗣，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP