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搬送装置，具备：第1支承部(3)，对基板的一面供给气体，能通过气体悬浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驱动部(402)，使第1及第2支承部的至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过...
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