晶圆盒输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种晶圆盒输送装置，包括承载机构、平移机构和输送机构，其中，承载机构用于放置晶圆盒，平移机构用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，输送机构用于输送平移机构，第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系，通过了承载机构和输送机构结合的方式，直接由输送机构移至开门器前，并通过平移机构将晶圆盒准确的送到开门器上，因此省去了人工或机械搬运晶圆盒之一步骤，提高了效率，降低了成本，且自动化程度高。

Wafer box delivery device

The invention discloses a material conveying device, which comprises a bearing mechanism, a translational mechanism and a conveying mechanism, wherein, the bearing mechanism for placing a wafer box, a translation mechanism is used to drive the bearing mechanism respectively in the first shift shaft direction, second axis and third axis direction, conveying mechanism for conveying the translation mechanism, the first axis direction, second axis and third axis space Cartesian coordinate space Descartes Descartes or oblique coordinate system, the bearing mechanism and the conveying mechanism combination, to open the door by the conveyor structure directly before, and the wafer box accurate to the door opener by the translation mechanism, thus eliminating the need of manual or mechanical handling material steps to improve efficiency, reduce cost, and high degree of automation.

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒输送装置
本专利技术涉及一种晶圆盒输送装置。
技术介绍
半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，设备前端装置(EquipmentFrontEndModule，简称EFEM)正是完成这一任务的关键装备，是连接物料搬运系统与晶圆处理系统的桥梁，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。设备前端装置至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(FrontOpeningUnifiedPod，简称Foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(LoadPort)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车移至装载端口前，通过人工或机械将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆并输送至机台进行相应的制程，待晶圆加工处理后，再由操作机械手将晶圆收纳至晶圆盒内。晶圆盒在运输小车和装载端口的搬运过程中，人工搬运费时费力，且自动化程度不高。机械搬运可通过一部多关节机器人实现，虽然机械搬运满足了全自动生产线的需求，但是多关节机器人具有占用面积大、成本高和耗电量大等问题，另外，多关节机器人还必须进行特殊处理以保证洁净度，大大提高了使用成本。
技术实现思路
本专利技术解决上述现有技术中的不足和问题的技术方案是：提供了一种将承载机构和输送机构结合的晶圆盒输送装置，其省去了从输送机构上搬运到开门器上这一工序，有效提高了生产效率，大大减少了设备成本。为达到以上目的，本专利技术提供了一种晶圆盒输送装置，包括：承载机构，用于放置晶圆盒；平移机构，用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移；输送机构，用于输送平移机构；其中，所述平移机构包括：第一平移机构，用于带动所述承载机构在第一轴方向平移：第二平移机构，用于带动所述承载机构在第二轴方向平移：第三平移机构，用于带动所述承载机构在第三轴方向平移；所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系。进一步，所述第一平移机构包括第一安装件、第一驱动件和第一导向件，所述第一导向件平行于所述第一轴方向，所述承载机构和所述第一安装件之间通过所述第一导向件连接，使所述承载机构和所述第一安装件相互滑动，所述第一驱动件能够驱动所述承载机构沿着所述第一轴方向移动；所述第二平移机构包括第二安装件、第二驱动件和第二导向件，所述第二导向件平行于所述第二轴方向，所述第一安装件和所述第二安装件之间通过所述第二导向件连接，使所述第一安装件和所述第二安装件相互滑动，所述第二驱动件能够驱动所述第一安装件沿所述第二轴方向移动；所述第三平移机构包括第三安装件、第三驱动件和第三导向件，所述第三导向件平行于所述第三轴方向，所述第二安装件和所述第三安装件之间通过所述第三导向件连接，使所述第二安装件和所述第三安装件相互滑动，所述第三驱动件能够驱动所述第二安装件沿所述第三轴方向移动。进一步，所述第一安装件呈方体结构，该呈方体结构的所述第一安装件一侧开口，所述开口用于所述承载机构的滑入和滑出；所述承载机构包括第一承载件和第二承载件，所述第一承载件连接所述第二承载件，所述第一承载件位于所述第一安装件外侧，且用于放置所述晶圆盒，所述第二承载件用于滑入和滑出所述开口。进一步，所述第一安装件具有一位于所述第一承载件和所述第二承载件之间的底面，所述底面的相对面可为两个连接板，该两个所述连接板用于连接所述第二平移机构。进一步，所述第一导向件设置在所述第一承载件和所述第一安装件之间，所述第一导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个；所述第一平移机构还包括第一丝杠和第一导向块，所述第一驱动件和所述第一丝杠分别位于所述第一安装件内部，所述第一驱动件为电机，所述第一驱动件皮带传动连接所述第一丝杠，所述第一丝杠的轴线与所述第一轴方向平行，所述第一丝杠上螺纹连接有所述第一导向块，所述第一导向块穿出所述第一安装件外侧，并与所述第一承载件连接，通过所述第一驱动件可带动所述承载机构沿着所述第一轴方向移动，所述第一安装件上还设置有与所述第一导向块配合的第一避让孔。进一步，所述第二导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个，每个所述连接板与所述第二安装件之间分别设置有一所述导轨；所述第二平移机构还包括第二丝杠和第二导向块，所述第二驱动件和所述第二丝杠分别设置在所述第二安装件的外侧，且所述第二驱动件和所述第二丝杠位于两个所述连接板之间，所述第二驱动件为电机，所述第二驱动件皮带传动连接所述第二丝杠，所述第二丝杠的轴线与所述第二轴方向平行，所述第二丝杠上螺纹连接有所述第二导向块，所述第二导向块连接一所述连接板，通过所述第二驱动件带动所述第一平移机构沿着所述第二轴方向移动。进一步，所述第三平移机构还包括第三丝杠、第三导向块和滑板，所述第三驱动件、所述第三丝杠、所述第三导向块、所述第三导向件和所述滑板分别设置在所述第三安装件内部；所述第三驱动件为电机，所述第三驱动件皮带传动连接所述第三丝杠，所述第三丝杠的轴线与所述第三轴方向平行，所述第三丝杠上螺纹连接有所述第三导向块，所述第三导向块连接有所述滑板，所述滑板连接第三导向件，所述第三导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个，所述第二安装件穿进所述第三安装件连接所述滑板，所述第三安装件上设置有所述第二安装件配合的第二避让孔，通过所述第三驱动件带动所述第二平移机构沿着所述第三轴方向移动。进一步，所述输送机构为自动导引运输车，所述第三安装件固定在所述自动导引运输车上。进一步，还包括控制器，所述控制器分别与所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件电连接；所述控制器设置在所述第三安装件内部，通过一个隔板将所述控制器与所述第三丝杠和所述第三驱动件隔开。进一步，所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件可分别为气缸或液压缸。据优选实施例，本专利技术提供了如下优点：本专利技术通过承载机构和输送机构结合的方式，直接由输送机构移至开门器前，并通过平移机构将晶圆盒准确的送到开门器上，因此省去了人工或机械搬运晶圆盒之一步骤，提高了效率，降低了成本，且自动化程度高。以下结合附图及实施例进一步说明本专利技术。附图说明图1为本专利技术所述晶圆盒输送装置的示意图；图2为本专利技术所述承载机构和第一平移机构装配的示意图；图3为图2后视的断开剖视图；图4为本专利技术所述第一平移机构和第二平移机构装配的示意图；图5为图4的主视图；图6为图5中沿A-A向的剖视图；图7为本专利技术所述第二平移机构和第三平移机构装配的立体图；图8为图7的右视图；图9为图8中沿B-B向的剖视图；图10为图7的后视图；图11为图10中沿C-C向的剖视图。具体实施方式以下描述用于揭露本专利技术以使本领域技术人员能够实现本专利技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在此描述的专利技术不局限于输送晶圆盒，举例来说，本专利技术各个实施例也可以被应用于和/或适用于搬运标准机械接口盒、光栅盒、平板显示器或其它任何容器或加工设备。该容器被定义为用于承载物品的任何类型构件，上述物品包括但不局限于晶圆。为了描述本专利技术，将只参照用于输送晶圆盒。参照图1，示出了根据本专利技术优选实施例所述的一种晶圆盒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括：承载机构，用于放置晶圆盒；平移机构，用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移；输送机构，用于输送平移机构；其中，所述平移机构包括：第一平移机构，用于带动所述承载机构在第一轴方向平移：第二平移机构，用于带动所述承载机构在第二轴方向平移：第三平移机构，用于带动所述承载机构在第三轴方向平移；所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括：承载机构，用于放置晶圆盒；平移机构，用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移；输送机构，用于输送平移机构；其中，所述平移机构包括：第一平移机构，用于带动所述承载机构在第一轴方向平移：第二平移机构，用于带动所述承载机构在第二轴方向平移：第三平移机构，用于带动所述承载机构在第三轴方向平移；所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系。2.如权利要求1所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一平移机构包括第一安装件、第一驱动件和第一导向件，所述第一导向件平行于所述第一轴方向，所述承载机构和所述第一安装件之间通过所述第一导向件连接，使所述承载机构和所述第一安装件相互滑动，所述第一驱动件能够驱动所述承载机构沿着所述第一轴方向移动；所述第二平移机构包括第二安装件、第二驱动件和第二导向件，所述第二导向件平行于所述第二轴方向，所述第一安装件和所述第二安装件之间通过所述第二导向件连接，使所述第一安装件和所述第二安装件相互滑动，所述第二驱动件能够驱动所述第一安装件沿所述第二轴方向移动；所述第三平移机构包括第三安装件、第三驱动件和第三导向件，所述第三导向件平行于所述第三轴方向，所述第二安装件和所述第三安装件之间通过所述第三导向件连接，使所述第二安装件和所述第三安装件相互滑动，所述第三驱动件能够驱动所述第二安装件沿所述第三轴方向移动。3.如权利要求2所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一安装件呈方体结构，该呈方体结构的所述第一安装件一侧开口，所述开口用于所述承载机构的滑入和滑出；所述承载机构包括第一承载件和第二承载件，所述第一承载件连接所述第二承载件，所述第一承载件位于所述第一安装件外侧，且用于放置所述晶圆盒，所述第二承载件用于滑入和滑出所述开口。4.如权利要求3所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一安装件具有一位于所述第一承载件和所述第二承载件之间的底面，所述底面的相对面可为两个连接板，该两个所述连接板用于连接所述第二平移机构。5.如权利要求4所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一导向件设置在所述第一承载件和所述第一安装件之间，所述第一导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个；所述第一平移机构还包括第一丝杠和第一导向块，所述第一驱动件和所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司，
类型：发明
国别省市：上海,31