温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明揭示了一种晶圆盒输送装置，包括承载机构、平移机构和输送机构，其中，承载机构用于放置晶圆盒，平移机构用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，输送机构用于输送平移机构，第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向构成空间笛...该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司授权不得商用。