一种极坐标平面搬运机器人，解决了现有同类机器人载重普遍较轻，重载的机器人刚性差，形变量大，无法实现搬运的高精度，作业空间大等问题。其主要技术特点是：采用了大跨距的丝杠滑台结构，局部均作了刚度的优化；X轴双侧滑台和滑座中空的结构使得作业空...

本发明揭示了一种晶圆盒输送装载系统，包括晶圆盒、输送装置和开盒装置，开盒装置包括主板、开盒板、开锁组件、第一驱动件和吸附组件，主板上设置有一开口，开盒板与开口配合，且开盒板位于主板的后侧，开盒板上活动连接两个开锁组件，该两个开锁组件穿过...

本发明揭示了一种基底片存储器，包括承载机构和输送机构，承载机构具有多个凹槽，多个凹槽沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽分别对应一个基底片，输送机构用来带动凹槽沿着承载机构的长度方向移动，便于基底片的抓取或存放，通过凹槽将基底...

一种极坐标平面搬运机器人，解决了现有同类机器人载重普遍较轻，重载的机器人刚性差，形变量大，无法实现搬运的高精度，作业空间大等问题。其主要技术特点是：采用了大跨距的丝杠滑台结构，局部均作了刚度的优化；X轴双侧滑台和滑座中空的结构使得作业空...

本发明揭示了一种晶圆盒输送装置，包括承载机构、平移机构和输送机构，其中，承载机构用于放置晶圆盒，平移机构用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，输送机构用于输送平移机构，第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向构成空...

本发明提供了一种全封闭式SMIF系统，因为前进板上设置有第一气嘴孔，承载平台上安装有气嘴，容器底部设置有进气孔和压力排气阀，能够将容器内的气体置换；安装板与盒体侧面之间设置有第一密封圈，增加了系统的密封性；安装板的操作口的四边设置有第二...