装载口及装载口的气氛置换方法技术

本发明专利技术提供一种装载口，能够在将基板收纳空间内部维持为净化气体气氛的状态下，利用搬运机器人进行基板的搬入搬出。在将基板收纳容器的盖开放之后，在比开放位置进一步前进的第3位置，通过将基板收纳容器的开口部的周缘部密闭的框体以及多个遮蔽板沿铅垂方向配置而成的开闭器部将基板收纳容器的开口部封闭。开闭器部使多个遮蔽板的全部或者一部分局部地移动，能够形成狭窄的开口部(第3开口部)，将基板收纳空间内部进行了气氛置换的状态下的基板的搬运经由该狭窄的开口部(第3开口部)进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】装载口及装载口的气氛置换方法
本专利技术涉及一种装载口，其用于相对于收纳半导体晶圆等薄板状的基板等的密闭容器搬入或搬出该基板等。本专利技术尤其涉及具有气氛置换功能的装载口及装载口的气氛置换方法，为了在处理各种薄板状的基板等时在各处理工序之间进行搬运，在相对于在从外部环境被隔离的气氛内收纳多个薄板状的基板等的密闭容器搬入或搬出薄板状的基板等时，将容器内部的气氛置换成非活性气体等的气氛。
技术介绍
在本说明书中，各种薄板状的基板等包括半导体晶圆、液晶显示器面板用基板、有机EL显示器面板用基板、等离子显示器面板用基板、或太阳能电池用面板用基板等薄板状的基板，在以下的说明中，将以上的各种薄板状的基板等简称为“基板或薄板状基板”。以往，在对半导体晶圆等薄板状基板进行镀膜或蚀刻等各式各样的处理的各种处理装置、进行基板的移载的EFEM(EquipmentFrontEndModule)、以及将批次编号读取分类的被称为分拣机的装置等中，为了防止空气中浮游的微粒附着在薄板状基板上，采用将薄板状基板所曝露的装置内部气氛保持在高度清洁的微环境方式。在该微环境方式中，通过将被高度清洁化的空气仅向EFEM内部的比较微小的空间(微环境空间)供给，从而能够以比较便宜的费用将基板存在的空间维持为高清洁度。但是近年来，半导体电路线宽度的微细化快速推进，逐渐出现仅靠基于以往的微环境方式的高清洁化无法应对的问题。尤其是，有时候被处理装置处理并搬入到密闭容器内部的薄板状基板的表面与空气中的氧和水分发生反应，生成自然氧化膜之类的各种处理工序中不优选的膜。因这种氧化膜存在而产生形成于薄板状基板的表面的组件无法确保所期望的特性的问题。另外，由于将在处理装置内使用的污染物质以附着在薄板状基板上的状态搬入到密闭容器内，因此还存在该污染物质甚至污染到密闭容器内的其他薄板状基板，对下一个处理工序带来负面影响而导致成品率恶化的情况。作为解决这种问题的方法，以往考虑如下方法：用非活性气体将进入密闭容器内的空气或污染物质除去，通过利用非活性气体充满密闭容器内来防止收纳于内部的薄板状基板表面氧化。在专利文献1中公开了如下方法：对于载置于1个密闭容器即FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)的晶圆，从在隔开规定距离的位置以进退自如的方式设置的净化托板将非活性的净化气体朝FOUP内部供给，由此将附着在晶圆表面的污染物质除去。在收纳于该净化托板的内部的净化气体供给喷嘴的前端部，具备抑制净化气体的喷出力的元件，防止净化气体有力地朝FOUP内部喷出。根据该方法，通过不产生乱流地将大量的净化气体供给至FOUP内部，由此能够在不使滞留在FOUP内部的尘埃飞散的情况下短时间内置换FOUP内部的气氛。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5448000号公报但是在上述的方法中，在全部的处理完成的基板被收纳于FOUP内之前，FOUP的开口未被盖封闭。且，在即将利用盖封堵之前，利用净化气体置换FOUP内部的气氛。因此，在利用净化气体进行置换之前的期间，载置于FOUP内部的基板的表面长时间曝露于空气中的氧和水分。尤其是，在从第1张基板搬运到FOUP内部到最后的基板被搬运为止需要长时间的处理工序的情况下，这期间曝露于氧和水分的基板的表面的氧化持续进行，因在此生成的氧化膜而产生半导体组件无法获得所期望的特性的问题。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是鉴于以上的问题点而完成的，提供一种气氛置换装置，通过讯速地将表面处理结束并搬入到FOUP内部的基板的表面净化，由此防止形成于基板表面的半导体电路的氧化。用于解决课题的手段为了解决上述的以往的问题点，在本专利技术中，在比将基板收纳容器的盖取下的第2位置进一步靠里的第3位置，设置将基板收纳容器的第1开口部遮蔽并且能够局部开闭的开闭器部，朝该封闭空间内供给净化气体来防止基板的氧化等化学变化。开闭器部具备遮蔽部，通过将该遮蔽板开闭而能够将比第1开口部窄的第3开口部开闭。经由该第3开口部将基板相对于基板收纳容器搬出或搬入。由于第3开口部比第1开口部窄(小)，因此净化气体朝外部漏出的量少。本专利技术的第1方式提供一种具有气氛置换功能的装载口，其载置基板收纳容器，用于使所述基板相对于所述基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个所述基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，其中，具备：载台，在该载台的第1位置载置并固定所述基板收纳容器；载台驱动部，其使所述载台在所述第1位置、第2位置及第3位置之间进退移动；门，其在从所述第1位置前进的位置、即所述第2位置与所述基板收纳容器的所述盖部卡合，相对于所述基板收纳容器装卸所述盖部；门升降部，其使所述门升降移动；框体，其在从所述第2位置进一步前进的位置、即所述第3位置与所述基板收纳容器的周缘部抵接；开闭器部，其配置为能够局部开闭，在所述框体的与所述基板收纳容器相反的一侧，将被所述框体包围的所述第2开口部整体关闭；开闭器驱动部，其选择性地驱动所述开闭器部的一部分进行开闭，以便在所述开闭器部的所期望的位置设置比所述第2开口部小的第3开口部；以及至少一个净化喷嘴，其向所述基板收纳容器的内部供给净化气体。作为净化喷嘴，能够设置朝基板收纳容器的底部供给净化气体的底部净化喷嘴、在基板收纳容器的开口部的侧部供给净化气体的侧部净化喷嘴等。通过采用上述结构，能够利用净化气体对收纳基板的空间即基板收纳容器及开闭器部包围而成的空间的内部进行气氛置换，且仅能够在基板的搬入搬出时将狭窄的第3开口部开闭。因此，在搬入搬出时不需要预先将第1开口部长时间打开，外部气氛朝基板收纳容器内的侵入被抑制。本专利技术的另一实施方式提供一种具有气氛置换功能的装载口，所述开闭器部具备以能够上下移动的方式堆叠配置的多个遮蔽板，所述开闭器驱动部具备遮蔽板驱动部，该遮蔽板驱动部与任意位置的所述遮蔽板卡合，使该遮蔽板以及层叠在该遮蔽板之上的所述遮蔽板升降移动，由此将所述第3开口部开闭。本专利技术的另一实施方式提供一种装载口的气氛置换方法，该装载口用于使所述基板相对于基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个所述基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，在该装载口中，通过将搬入到所述基板收纳容器的内部的基板的表面迅速净化，由此防止形成于基板表面的半导体电路氧化，其中，包括以下工序：将所述基板收纳容器载置在停止于第1位置的载台的工序；将所述载台从所述第1位置前进移动至第2位置，将所述基板收纳容器的所述盖取下的工序；使所述载台从所述第2位置进一步前进移动，并将净化气体供给至所述收纳容器内的工序；将所述载台前进移动至进行所述基板的进出的第3位置，使所述基板收纳容器的所述第1开口部的周缘部与框体抵接的工序；响应使所述基板收纳容器向所述棚部接近的接近要求讯号，将遮蔽所述框体的开口部即第2开口部的开闭器部的一部分打开，在与存在接近要求的所述棚部的位置对应的位置，形成比所述第1开口部窄的开口即第3开口部的工序；以及响应针对所述棚部的接近结束讯号，将所述第3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有气氛置换功能的装载口，其载置基板收纳容器，用于使所述基板相对于所述基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个所述基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，其特征在于，具备：载台，在该载台的第1位置载置并固定所述基板收纳容器；载台驱动部，其使所述载台在所述第1位置、第2位置及第3位置之间进退移动；门，其在从所述第1位置前进的位置、即所述第2位置与所述基板收纳容器的所述盖部卡合，相对于所述基板收纳容器装卸所述盖部；门升降部，其使所述门升降移动；框体，其在从所述第2位置进一步前进的位置、即所述第3位置与所述基板收纳容器的周缘部抵接；开闭器部，其配置为能够局部开闭，在所述框体的与所述基板收纳容器相反的一侧，将被所述框体包围的所述第2开口部整体关闭；开闭器驱动部，其选择性地驱动所述开闭器部的一部分进行开闭，以便在所述开闭器部的所期望的位置设置比所述第2开口部小的第3开口部；以及至少一个净化喷嘴，其向所述基板收纳容器的内部供给净化气体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.05 JP 2014-1812291.一种具有气氛置换功能的装载口，其载置基板收纳容器，用于使所述基板相对于所述基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个所述基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，其特征在于，具备：载台，在该载台的第1位置载置并固定所述基板收纳容器；载台驱动部，其使所述载台在所述第1位置、第2位置及第3位置之间进退移动；门，其在从所述第1位置前进的位置、即所述第2位置与所述基板收纳容器的所述盖部卡合，相对于所述基板收纳容器装卸所述盖部；门升降部，其使所述门升降移动；框体，其在从所述第2位置进一步前进的位置、即所述第3位置与所述基板收纳容器的周缘部抵接；开闭器部，其配置为能够局部开闭，在所述框体的与所述基板收纳容器相反的一侧，将被所述框体包围的所述第2开口部整体关闭；开闭器驱动部，其选择性地驱动所述开闭器部的一部分进行开闭，以便在所述开闭器部的所期望的位置设置比所述第2开口部小的第3开口部；以及至少一个净化喷嘴，其向所述基板收纳容器的内部供给净化气体。2.根据权利要求1所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，所述开闭器部具备以能够上下移动的方式堆叠配置的多个遮蔽板，所述开闭器驱动部具备遮蔽板驱动部，该遮蔽板驱动部与所期望的位置的所述遮蔽板卡合，使该遮蔽板以及层叠在该遮蔽板之上的所述遮蔽板升降移动，由此将所述第3开口部开闭。3.根据权利要求1或2所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，所述开闭器部在与所述多个搁板位置对应的位置具有与所述搁板相同数量的所述遮蔽板。4.根据权利要求1或2所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，所述开闭器部具备比所述搁板的数量少的所述遮蔽板。5.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，所述遮蔽板驱动部改变所述遮蔽板的升降移动量，从而变更所述开口部的大小。6.根据权利要求2至5中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，所述遮蔽板驱动部将所述第3开口部开闭，使得该第3开口部达到与收纳一张所述基板的各所述棚部的间隔相同的开口高度。7.根据权利要求2至5中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂田胜则，奥津英和，
申请(专利权)人：日商乐华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP