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本发明提供一种装载口，能够在将基板收纳空间内部维持为净化气体气氛的状态下，利用搬运机器人进行基板的搬入搬出。在将基板收纳容器的盖开放之后，在比开放位置进一步前进的第3位置，通过将基板收纳容器的开口部的周缘部密闭的框体以及多个遮蔽板沿铅垂方向...
该专利属于日商乐华股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日商乐华股份有限公司授权不得商用。

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