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本实用新型公开了一种晶圆搬运装置改良结构，主要结构包括一具有复数移动轮的移动载具、一枢设于移动载具上并藉一驱动马达摆动的活动摆臂、一枢设于活动摆臂背离驱动马达一端的夹持装置、及一设于活动摆臂内的传动组件，系包含一固定轮、一设于夹持装置一侧供...
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