下载传输装置和蒸镀设备的技术资料

文档序号:15176021

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本实用新型提供一种传输装置,包括传输台和分离机构,所述传输台上设置有粘性层,所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面;所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离;所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件,所...
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