一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组制造技术

本实用新型专利技术的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室11、气体分配模组12、传送滚轮13、承载盘14及下冷却模组15所组成。提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室能将温度下降至低于100度以下，使后续处理步骤能在低温下执行，有效降低设备设置成本，又同时冷却室在腔室内完成，避免受到环境的污染。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于镀膜设备领域，具体涉及异质结物理气相沉积设备冷却模组。
技术介绍
目前，于异质结物理气相沉积设备沉积薄膜时，会将承载盘加热200 250度，以达到薄膜沉积时的品质要求，同时，随着加热的过程薄膜质量会更好，因此在镀膜时加热室不可避免的过程。随着沉积薄膜温度越来越高的要求，传送出腔体外的承载盘温度就显得格外重要，以往设备上有两种方式克服:1.增加冷却腔体的数量，使承载盘在冷却真空腔内自然散热，2.在回传机制上加装强制冷却装置，例如风扇，来在一定的时间内冷却承载盘；但上述第一项设置会增加设备设置成本；第二项设置会造成传送时不可避免的环境污染，且冷却效率及结果都不甚满意，因此需要设置一机制来解决上述问题。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本技术的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15 )所组成。所述之下冷却模组(15)，内部设有5mm深度的凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径10mm，上下不锈钢 板以M6螺丝锁固。所述之气体分配模组(12)，设置有51支气体分支管，气体由主管路进入分配管后，分配管上有面对承载盘分流的气体流出小孔，使气体均匀流向承载盘。本技术有益效果为。1.本技术利用表面抛光不锈钢板，结构简单。2.本技术利用螺丝锁固，拆卸方便。3.本技术利用凹槽方式将冷却铜管包覆，达到最佳的冷却效果。附图说明图1系为本技术结构示意图。图2系为本技术冷却模组示意图。图3系为本技术冷却模组结构示意图。图4系为本技术气体分配模组结构示意图。主要组件符号说明。11)...不锈钢腔室。12)...气体分配模组。13)...传送滚轮。14)...承载盘。15)...下冷却模组。21...M6 螺丝孔位。22...冷却水进入口。23...冷却水出口。31...冷却铜管。41...主管路。42...气体分配管。以上所述实例是对本技术技术方案的说明而非限制，所属
普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本技术技术方案的思路和范围，均应包含在本技术的权利要求范围之内。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步说明。请参阅图2所示，一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，其包括上冷却板及下冷却板组成，上下冷却板上设有M6螺丝孔位21，共37个，冷却媒介由冷却水进入口 22进入，由冷却水出口 23流出。请参阅图3所示，一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，下冷却模组结构示意图，冷却板表面设有5mm深凹槽，用以包覆冷却铜管31。请参阅图4所示，一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，气体分配模组12，主管41通入惰性冷却气体，通常为氮气，气体经由主管路41流入气体分配管42，在经由气体分配管42上的分流小孔流向面对像的承载盘。本实例中当承载盘(14)传入冷却模组(11)前，冷却媒介会流入下冷却模组(15)，使冷却模组维持一定的温度，同时气体分配模组(12)会通入氮气进入不锈钢腔室(11)内；承载盘进入冷却模组时，会受到上方气体的直接接触将热能往抽气口风向带出，同时间也会接触到下方冷却模组的辐射散热的作用，将承载盘的热能带走，达到快速冷却承载盘的目的。与现有技术相比，本技术一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，其优点在于:本技术使用气体分配模组(12)，并搭配下冷却模组(15)，提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室实能将温度下降至低于100度以下，使后续处理步骤能在低温下执行，有效降低设备设置成本，又同时冷却室在腔室内完成，避免受到环境的污染。以上所述实例是对本技术技术方案的说明而非限制，所属
普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本技术技术方案的思路和范围，均应包含在本技术的权利要求范围之内。权利要求1.一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15)所组成，所述之下冷却模组(15),内部设有5mm深度的凹槽,用以放置冷却铜管,冷却铜管直径IOmm,上下不锈钢板以M6螺丝锁固，所述之气体分配模组(12)，设置有51支气体分支管，气体由主管路进入分配管后，分配管上有面对承载盘分流的气体流出小孔，使气体均匀流向承载盘。2.根据权利要求1所述之一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，其特征在于所述的不锈钢腔室不锈钢板厚度25mm及表面抛光处理。3.根据权利要求1所述之一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，其特征在于所述的下冷却模组内冷却铜管直径10_。4.根据权利要求1所述之一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，其特征在于所述的气体分配模组共有51支 气体分配管，气体分配管管路上分布Imm分流小孔，共80个。专利摘要本技术的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室11、气体分配模组12、传送滚轮13、承载盘14及下冷却模组15所组成。提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室能将温度下降至低于100度以下，使后续处理步骤能在低温下执行，有效降低设备设置成本，又同时冷却室在腔室内完成，避免受到环境的污染。文档编号C23C14/54GK203112923SQ20122035577公开日2013年8月7日 申请日期2012年7月23日 优先权日2012年7月23日专利技术者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15)所组成，所述之下冷却模组(15)，内部设有5mm深度的凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径10mm，上下不锈钢板以M6螺丝锁固，所述之气体分配模组(12)，设置有51支气体分支管，气体由主管路进入分配管后，分配管上有面对承载盘分流的气体流出小孔，使气体均匀流向承载盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：