一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组制造技术

本实用新型专利技术的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室11、气体分配模组12、传送滚轮13、承载盘14及下冷却模组15所组成。提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室能将温度下降至低于100度以下，使后续处理步骤能在低温下执行，有效降低设备设置成本，又同时冷却室在腔室内完成，避免受到环境的污染。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于镀膜设备领域，具体涉及异质结物理气相沉积设备冷却模组。
技术介绍
目前，于异质结物理气相沉积设备沉积薄膜时，会将承载盘加热200 250度，以达到薄膜沉积时的品质要求，同时，随着加热的过程薄膜质量会更好，因此在镀膜时加热室不可避免的过程。随着沉积薄膜温度越来越高的要求，传送出腔体外的承载盘温度就显得格外重要，以往设备上有两种方式克服:1.增加冷却腔体的数量，使承载盘在冷却真空腔内自然散热，2.在回传机制上加装强制冷却装置，例如风扇，来在一定的时间内冷却承载盘；但上述第一项设置会增加设备设置成本；第二项设置会造成传送时不可避免的环境污染，且冷却效率及结果都不甚满意，因此需要设置一机制来解决上述问题。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本技术的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15 )所组成。所述之下冷却模组(15)，内部设有5mm深度的凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径10mm，上下不锈钢 板以M6螺丝锁固。所述之气体分配模组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15)所组成，所述之下冷却模组(15)，内部设有5mm深度的凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径10mm，上下不锈钢板以M6螺丝锁固，所述之气体分配模组(12)，设置有51支气体分支管，气体由主管路进入分配管后，分配管上有面对承载盘分流的气体流出小孔，使气体均匀流向承载盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：