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本实用新型的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室11、气体分配模组12、传送滚轮13、承载盘14及下冷却模组15所组成。提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室能将温...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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