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基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法技术方案
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下载基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法的技术资料
文档序号:9166883
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本发明公开了一种基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法,包括预热过程和蒸镀过程,其中,预热过程分三个具有温度梯度的升温过程;蒸镀过程以实测沉积速率曲线为依据,并通过控制蒸发电源功率控制蒸发源温度。本发明所述的基于温度控制系统的OL...
该专利属于四川虹视显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川虹视显示技术有限公司授权不得商用。
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