下载基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法的技术资料

文档序号:9166883

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本发明公开了一种基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法,包括预热过程和蒸镀过程,其中,预热过程分三个具有温度梯度的升温过程;蒸镀过程以实测沉积速率曲线为依据,并通过控制蒸发电源功率控制蒸发源温度。本发明所述的基于温度控制系统的OL...
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