蒸镀坩埚和蒸镀系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀坩埚和蒸镀系统，属于设备制造技术领域。所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。本实用新型专利技术的蒸镀坩埚能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。

Evaporation crucibles and evaporation systems

The utility model discloses a evaporating crucible and a evaporation system, belonging to the technical field of equipment manufacture. The evaporation crucible comprises a crucible body, can be separated in the crucible crucible arranged at the outlet of the cover body and at least one nozzle, the nozzle is fixed in the crucible cover, the inside and outside of the crucible body connected, the crucible body is provided with at least one hole; the evaporation crucible also includes at least one sealing cover and at least one cleaning component, the sealing cover can be opened to the through hole sealing, the cleaning component can pass through the through hole into the crucible body and clean the nozzle. The evaporating crucible of the utility model can greatly save the cleaning time, improve the capacity of the evaporation process and save the cost.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚和蒸镀系统
本技术涉及设备制造
，具体涉及一种蒸镀坩埚以及一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。
技术介绍
一般的，显示装置的显示方式包括液晶显示(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有机发光二极管显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，有机发光二极管显示(OLED)与液晶显示(LCD)相比，具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。有机发光二极管显示(OLED)包括有源矩阵有机发光二级管(ActiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(PassiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，PMOLED)。实现有机发光二极管显示(OLED)显示时，使用低温多晶硅面板(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)的方式已初步成熟。上述高精度金属掩膜板(FMM)模式，是通过蒸镀方式将有机材料(OLED)按照预定程序蒸镀到低温多晶硅面板(LTPS)上，利用高精度金属掩膜板(FMM)上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性蒸镀坩埚进行蒸镀。但是，在有机材料(OLED)的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料(OLED)为蓬松结构，很容易在坩埚盖子的蒸镀孔部位集结，直至将蒸镀孔完全堵住。但由于有机发光二极管(OLED)显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机材料(OLED)的蒸镀，而一旦蒸镀孔被堵，将使有机材料(OLED)无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产进度。这种情况下，传统的解决方案，将有机材料(OLED)降温至室温，再打开蒸镀设备腔体，处理堵住蒸镀孔的蒸发源后，再关上蒸镀设备腔体，然后才能开始再次加热有机材料(OLED)继续蒸镀工艺，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响并且影响产品质量。另外，有机蒸镀坩埚材质为钛材质，采用加热丝加热方式，钛低热传导性能、加热丝高温形变等会导致坩埚内材料受热不均，造成局部高温，这会导致有机材料(OLED)灰化变性，影响产品性能。因此，如何设计出一种能够有效疏通蒸镀孔的蒸镀坩埚结构成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸镀坩埚和一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。为了实现上述目的，一方面，本技术提供一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。优选地，所述通孔设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述通孔的位置与所述喷嘴相对应。优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个容纳筒，一个所述容纳筒对应至少一个所述通孔，所述容纳筒固定设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述容纳筒的内部与相应的所述通孔连通，每个所述容纳筒对应一个所述密封盖，且每个所述密封盖设置在与其所对应的所述容纳筒的顶端开口处。优选地，所述清理组件包括刮板和驱动杆，所述刮板设置在所述驱动杆的一端，所述驱动杆能够带动所述刮板沿所述容纳筒的轴线方向移动，且所述刮板能够移动至所述喷嘴处，并与所述喷嘴接触。优选地，所述驱动杆中设置有沿该驱动杆的轴向延伸的容纳腔，所述驱动杆上还设置有激光入口和激光出口，所述容纳腔分别连通所述激光入口和所述激光出口，且所述激光出口与所述刮板相邻，所述清理组件还包括激光传导件，所述激光传导件设置在所述容纳腔中，且所述激光传导件的一端位于所述激光入口中，所述激光传导件的另一端位于所述激光出口中，以使得该激光传导件能够将激光传导至所述清理组件的外部。优选地，所述驱动杆还能够带动所述刮板绕所述容纳筒的轴线转动。优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个保护壳和至少一个加热件，每个所述容纳筒对应一个所述保护壳和一个所述加热件，且每个所述保护壳套设在与其所对应的所述容纳筒的外部且与该容纳筒间隔设置，每个所述加热件设置在与其所对应的所述容纳筒和所述保护壳的间隔中。优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个顶杆和至少一个引导套，每个密封盖对应一个所述顶杆，每个所述顶杆的一端与其所对应的所述密封盖的边部固定连接，每个所述顶杆能够沿与其所对应的所述容纳筒的轴线方向移动，且每个所述顶杆还能够绕自身轴线转动，每个所述顶杆设置在与其所对应的所述保护壳和所述容纳筒的间隔中，每个所述顶杆的外部均套设一个引导套，每个所述引导套设置在与其所对应的所述保护壳的内壁上。优选地，所述蒸镀坩埚还包括收集槽，所述收集槽用于接收由所述清理组件从所述喷嘴上移除的物体。另一方面，本技术提供了一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚为上述任意一项所述的蒸镀坩埚，所述蒸镀系统还包括抽真空组件，所述抽真空组件能够与所述喷嘴连通，以通过所述喷嘴对所述坩埚本体内部抽真空。本技术的蒸镀坩埚，在进行蒸镀时，将蒸镀材料放置于坩埚本体内部，保证密封盖与通孔密闭连接，使得蒸镀材料能够从喷嘴喷出以完成蒸镀工艺。同时，密封的通孔，还能够防止蒸镀材料从该通孔泄漏，造成蒸镀材料的浪费以及环境的破坏。当喷嘴堵塞时，此时，可以打开密封盖，清理组件可以从上述通孔进入到坩埚本体内部，完成对堵塞的喷嘴的清理，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。本技术的蒸镀系统，采用上述任意一种结构的蒸镀坩埚，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术第一实施例中蒸镀坩埚的结构示意图；图2为本技术第二实施例中蒸镀坩埚的结构示意图；图3为本技术蒸镀系统的结构示意图。附图标记说明100：蒸镀坩埚；110：坩埚本体；111：通孔；120：坩埚盖；130：喷嘴；140：密封盖；150：清理组件；151：刮板；152：驱动杆；153：激光传导件；154：激光发生器；160：容纳筒；170：保护壳；180：加热件；191a：温度检测件；191b：顶杆；191c：引导套；191d：收集槽；191e：支撑杆；200：蒸镀材料；300：动力源；400：蒸镀系统；410：抽真空组件；411：抽吸管；412：移动导轨；413：抽吸管末端罩。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。参考图1，本技术的第一方面，涉及一种蒸镀坩埚100。该蒸镀坩埚100包括坩埚本体110、可分离的设置在坩埚本体110出口处的坩埚盖120和至少一个喷嘴130。该喷嘴130固定设置在坩埚盖120上，以将坩埚本体110的内部与外部连通，坩埚本体11本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，其特征在于，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，其特征在于，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通孔设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述通孔的位置与所述喷嘴相对应。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括至少一个容纳筒，一个所述容纳筒对应至少一个所述通孔，所述容纳筒固定设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述容纳筒的内部与相应的所述通孔连通，每个所述容纳筒对应一个所述密封盖，且每个所述密封盖设置在与其所对应的所述容纳筒的顶端开口处。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述清理组件包括刮板和驱动杆，所述刮板设置在所述驱动杆的一端，所述驱动杆能够带动所述刮板沿所述容纳筒的轴线方向移动，且所述刮板能够移动至所述喷嘴处，并与所述喷嘴接触。5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述驱动杆中设置有沿该驱动杆的轴向延伸的容纳腔，所述驱动杆上还设置有激光入口和激光出口，所述激光入口和所述激光出口均与所述容纳腔连通，且所述激光出口与所述刮板相邻，所述清理组件还包括激光传导件，所述激光传导件设置在所述容纳腔中，且所述激光传导件的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞亭，李晓康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11