【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金属化薄膜生产的
，具体涉及一种新型热蒸发用坩埚结 构。
技术介绍
金属化薄膜生长中，热蒸发工艺是最传统、最稳定、最实惠的一道工艺。 热蒸发顾名思义就是将金属源置1于坩埚2 (容器）中，在真空环境下通过电极发 热，使固体金属源1熔化为液态，最终气化并以分子或离子团方式移动附着到目标材料表 面，逐渐累积，最后形成所需厚度的金属膜，即金属化薄膜生长。 在热蒸发工艺制作过程中，常出现行业内称之为"爬锅"的现象。即液化后的金属 源1会沿着坩埚壁（容器）向外溢出，严重时会导致加热器短路，损坏设备。为防止金属液 体溢出，若降低加热器温度，则金属源1不能充分液化；若减少金属源1投放量，则工艺质量 (薄膜厚度）难以保证。
技术实现思路
本技术针对
技术介绍
中存在的不足，要解决的技术问题是：提供一种抑制金 属源液体外溢的新型热蒸发用坩埚结构。 本技术为解决上述技术问题，采取的技术方案为：一种新型热蒸发用坩埚结 构，包括埚体，其改进在于：所述埚体内壁上套接有筒状内胆，内胆下端与埚体底部之间留 有间隙。 进一步，所述埚体上部直径大于下部直径，埚体上部和下部的交界处形成台阶，内 胆套接在埚体下部的内壁中，内胆上端高于埚体上端面。 本技术与现有技术相比，有益效果在于：坩埚增加了"内胆"结构，可以抑制热 蒸发过程中"爬锅"现象。新坩埚结构简单，安装方便，成本低廉，实用性强。使用新坩埚不 仅金属化薄膜生长的量产化效率最佳，同时也能够确保热蒸发工艺质量。【附图说明】 图1是现有坩埚的结构示意图； 图2是本技术实施方式之一的结构示意图； 图3是图2中内胆与...
【技术保护点】
一种新型热蒸发用坩埚结构，包括埚体（2），其特征在于：所述埚体（2）内壁上套接有筒状内胆（3），内胆（3）下端与埚体（2）底部之间留有间隙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓强，钟奇志，朱梦楠，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十四研究所，
类型：新型
国别省市：重庆;85
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