【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蒸发坩埚，具体涉及一种导电氮化硼蒸发坩埚。
技术介绍
目前用于难熔金属，特别是用于铁、铜、铝、锌等难熔金属以及单晶硅等的熔解冶炼，是在真空状态下，将待蒸发材料通电加热，达到金属材料熔点后熔化蒸发，用于金属涂层的蒸镀。传统用于难熔金属以及单晶硅熔解的熔解炉主要材料为石墨，现有的石墨坩埚在熔炼过程中其锅体容易被铁、铜渣等沉渣料所粘附，从而导致石墨坩埚锅体出现裂缝，缩短了使用寿命。
技术实现思路
根据以上现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种导电氮化硼蒸发坩埚，能够解决沉渣料粘附锅体的问题，从而延长坩埚的使用寿命。本技术所述的一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体，锅体上部开设有物料凹槽，锅体底部开设有凹槽，物料凹槽表面复合有防粘涂层。其中，物料凹槽的开口形状优选为圆形。本技术采用氮化硼来代替石墨作为坩埚的制作原料，氮化硼可加热的温度高，并且不与金属发生反应，还能熔解一些普通坩埚难以熔解的金属与非金属材料。本技术在制作好坩埚锅体后，在高温离心作用下将熔融的防粘涂层附于物料凹槽的表面，防粘涂层能有效的防止物料与锅体的粘附。本技术所具有的有益效果是结构简单，制作简便，利用氮化硼的优良特性从而使坩埚更加耐高温，并且避免与锅体反应，防粘涂层有效的防止物料与锅体的粘附。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的俯视图；图中1、锅体2、物料凹槽3、凹槽4、防粘涂层。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步描述。如图1和图2所示，本技术所述的一种导电氮化硼蒸发坩埚，包括锅体1，锅体 1上部开设有物料凹槽2，锅体1底部开设有凹槽3，物料凹槽2表面复合有防粘涂...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：巩长生，宫伯昌，任学美，巩晓，
申请(专利权)人：山东鹏程特种陶瓷有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。