一种热解氮化硼用的沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱。本实用新型专利技术能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及工业设备，具体涉及一种热解氮化硼用的沉积炉。
技术介绍
气相沉积炉，是热解氮化硼生产用的常用设备；现有的设备，在输入气流时，往往是直接输入温度较低的气流，造成在炉体内的气流温度分布不均，炉体内的工作温度产生波动，对气相沉积的作业过程和产品质量带来较大不利影响；并且，现有的沉积炉，对输入气流和炉体内的温度监测性能薄弱，使得作业质量降低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的缺陷，设计一种热解氮化硼用的沉积炉，能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱，气流温度感应器、炉体温度感应器、加热器、加热结构均与电控箱电连接；炉体的内壁上设有隔热层；进气管的外壁上设有保温层。优选的，隔热层为陶瓷隔热层；保温层为岩棉保温层。优选的，底板上设有支架，加热结构安装在支架上侧。优选的，支架为陶瓷绝缘支架。优选的，炉体的侧壁上设有排气口，排气口通过管路与真空泵连通。优选的，加热器为电加热器；加热结构为石墨电加热结构。优选的，顶盖的下侧面和底板的上侧面设有陶瓷隔热层。优选的，炉体内设有真空传感器。优选的，加热结构为圆柱体形。本技术的工作过程为：将加工部件放置在炉体内，通过进气管向炉体内输入气流，电控箱调控加热器和加热结构的工作状态，对炉体和气流进行加热，达到工作温度后开始沉积作业；气流温度传感器实时监测进气管中的气流温度，炉体温度传感器实时监测炉体内的温度，电控箱根据监测温度实时调控加热器和加热结构的工作状态，使温度保持在合适区间；排气口通过与真空泵连通，能够调控炉体内的真空度；保温层为进气管保温隔热，隔热层为炉体保温隔热，降低能耗。本技术的优点和有益效果在于：热解氮化硼用的沉积炉，能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。附图说明图1是本技术热解氮化硼用的沉积炉的结构示意图。图中：1、电控箱；2、气流温度感应器；3、进气管；4、炉体温度感应器；5、加热结构；6、顶盖；7、加工部件；8、排气口；9、
加热器；10、炉体；11、支架；12、底板。具体实施方式下面结合实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例1如图1所示：一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体10，炉体10的上端和下端分别设有顶盖6和底板12，炉体10为密封结构，炉体10的内侧设有加热结构5，炉体10中部放置有加工部件7；炉体10的侧壁上设有2个进气管3，炉体10外侧的每个进气管3上设有加热器9；加热器9与炉体10之间的进气管3上设有气流温度感应器2；炉体10的内壁和底板12上侧分别设置有炉体10温度感应器4；炉体10外侧设有电控箱1，气流温度感应器2、炉体10温度感应器4、加热器9、加热结构5均与电控箱1电连接；炉体10的内壁上设有隔热层；进气管3的外壁上设有保温层。隔热层为陶瓷隔热层；保温层为岩棉保温层。底板12上设有支架11，加热结构5安装在支架11上侧。支架11为陶瓷绝缘支架11。炉体10的侧壁上设有排气口8，排气口8通过管路与真空泵连通。加热器9为电加热器9；加热结构5为石墨电加热结构5。顶盖6的下侧面和底板12的上侧面设有陶瓷隔热层。炉体10内设有真空传感器，真空传感器通过线路与电控箱1电连接。加热结构5为圆柱体形。本实施例的工作过程为：将加工部件7放置在炉体10内，通过进气管3向炉体10内输入气流，电控箱1调控加热器9和加热结构5的工作状态，对炉体10和气流进行加热，达到工作温度后开始沉积作业；气流温度传感器实时监测进气管3中的气流温度，炉体10
温度传感器实时监测炉体10内的温度，电控箱1根据监测温度实时调控加热器9和加热结构5的工作状态，使温度保持在合适区间；排气口8通过与真空泵连通，能够调控炉体10内的真空度；保温层为进气管3保温隔热，隔热层为炉体10保温隔热，降低能耗。本实施例的有益效果在于：热解氮化硼用的沉积炉，能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。本实施例中电控箱检测温度和真空度，并调控电热器和加热结构工作状态和功率的技术为现有公知技术，本领域的技术人员完全能够实现。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，其特征在于，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱，气流温度感应器、炉体温度感应器、加热器、加热结构均与电控箱电连接；炉体的内壁上设有隔热层；进气管的外壁上设有保温层。

【技术特征摘要】
1.一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，其特征在于，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱，气流温度感应器、炉体温度感应器、加热器、加热结构均与电控箱电连接；炉体的内壁上设有隔热层；进气管的外壁上设有保温层。2.如权利要求1所述的热解氮化硼用的沉积炉，其特征在于，隔热层为陶瓷隔热层；保温层为岩棉保温层。3.如权利要求1所述的热解氮化硼用的沉积炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，曹新华，周孟忠，
申请(专利权)人：常熟东星电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32