一种真空状态可调的碳管炉制造技术

本实用新型专利技术涉一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀。本实用新型专利技术能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳管炉，具体涉及一种真空状态可调的碳管炉。
技术介绍
在过去的气相沉积过程中，一般认为炉体的加热体内径超过了￠300mm，用感应炉加热比碳管炉加热要好，因为它产生的热量损失小。但同功率的感应炉初期投资要比碳管炉高的多，同时需要的技术人员来操作和维护也相应的多。碳管炉在作业过程中，往往需要调整炉体内的真空度以确保最佳的工作效率和产品质量，而现有的碳管炉不能够便捷调控真空度，不能够保持真空度的温度，造成气相沉积作业的质量不高，产品质量不稳定。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的缺陷，设计一种真空状态可调的碳管炉，能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀；炉体的侧面设有电控箱，电控箱通过控制线路分别与每个电控真空阀电连接；真空压力传感器通过信号线路与电控箱连接。优选的，舱门与顶板开合配合。优选的，内衬板为陶瓷隔热板。优选的，底板上设有支座，加热管的下端固定在支座上。优选的，炉体的侧壁由厚度为1-2.5cm厚度的不锈钢构成。优选的，加热管为石墨加热管。优选的，电控箱上设有蜂鸣器和报警灯。本技术的优点和有益效果在于：能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。通过真空压力传感器，实时监控炉体内的真空度，由电控箱检测真空度数据后调控真空泵和电控真空阀的状态，调整炉体内的真空度，使真空度保持在最佳状态，确保最佳的真空度。本技术真空状态可调的碳管炉的工作过程为：打开舱门，将待加工部件放置在挂架上，管壁舱门使炉体密封，电控箱调控电控真空阀使炉体保持密封；加热管加热使炉体温度升高，真空泵在电控阀的控制下工作，对炉体内机箱抽真空作业，真空压力传感器实时监控炉体内的真空度，反馈至控制箱后，控制箱调控电控真空阀和真空泵的工作状态以确保最佳的真空度；当真空度超出预设阈值后，蜂鸣器和报警灯工作提示故障。附图说明图1是本技术真空状态可调的碳管炉的结构示意图。图中：1、真空管；2、真空泵；3、导线；4、加热管；5、舱门；6、顶板；7、内衬板；8、电控真空阀；9、抽气口；10、炉体；11、挂架；12、真空压力传感器；13、底板；14、支座；15、调压口；16、电控箱；17、显示屏。具体实施方式下面结合实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例1如图1所示：一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体10，炉体10内设有挂架11，炉体10为圆柱形炉体10，炉体10的上端设有顶板6，炉体10的下端设有底板13，顶板6、底板13和炉体10组成密闭舱体；炉体10内设有内衬板7，内衬板7内侧设有加热管4；底板13上设有舱门5；底板13上侧的炉体10内设有真空压力传感器12；顶板6的上端设有真空泵2，炉体10的侧面设有2个抽气口9，抽气口9通过真空管1与真空泵2连通；每个抽气口9上设有一个电控真空阀8；炉体10侧壁上设有一个调压口15，调压口15上设有一个电控真空阀8；炉体10的侧面设有电控箱16，电控箱16通过控制线路分别与每个电控真空阀8电连接；真空压力传感器12通过信号线路与电控箱16连接。舱门5与顶板6开合配合。内衬板7为陶瓷隔热板。底板13上设有支座14，加热管4的下端固定在支座14上。炉体10的侧壁由厚度为1.5cm厚度的不锈钢构成。加热管4为石墨加热管4。电控箱16上设有蜂鸣器和报警灯。本实施例的有益效果在于：能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。通过真空压力传感器12，实时监控炉体10内的真空度，由电控箱16检测真空度数据后调控真空泵2和电控真空阀8的状态，调整炉体10内的真空度，使真空度保持在最佳状态，确保最佳的真空度。本实施例的工作过程为：打开舱门5，将待加工部件放置在挂架11上，管壁舱门5使炉体10密封，电控箱16调控电控真空阀8使
炉体10保持密封；加热管4加热使炉体10温度升高，真空泵2在电控阀的控制下工作，对炉体10内机箱抽真空作业，真空压力传感器12实时监控炉体10内的真空度，反馈至控制箱后，控制箱调控电控真空阀8和真空泵2的工作状态以确保最佳的真空度；当真空度超出预设阈值后，蜂鸣器和报警灯工作提示故障。本实施例中采用的电控箱结构、电控箱的控制方法为现有常规技术，本领域的技术人员完全能够实现。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，其特征在于，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀；炉体的侧面设有电控箱，电控箱通过控制线路分别与每个电控真空阀电连接；真空压力传感器通过信号线路与电控箱连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，其特征在于，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀；炉体的侧面设有电控箱，电控箱通过控制线路分别与每个电控真空阀电连接；真空压力传感器通过信号线路与电控箱连...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，曹新华，周孟忠，
申请(专利权)人：常熟东星电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32