【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空炉，具体涉及一种氟化镱用沉积真空炉。
技术介绍
真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统（由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉。现有技术中用于氟化镱的沉积真空炉一般都是在炉体上开设一个观察孔，通过操作人员人工观察之后，再对真空炉进行控制。这样的话，控制就会有滞后性，而且往往需要两名操作人员同时工作，耗费人力，且长期肉眼透过观察孔观察真空炉对人体眼睛也有损害。
技术实现思路
本技术针对上述不足，提出了一种能够实时监控、只需一名操作人员的氟化镱用沉积真空炉。本技术的技术方案如下：一种氟化镱用沉积真空炉，包括真空炉体，在所述真空炉体的圆周上设有若干观察孔，在所述观察孔之间设有导轨，在所述导轨上设有可在所述导轨上滑动的摄像机；所述摄像机通过所述导轨上滑动至所述观察孔位置。所述真空炉体圆周上的的观察孔数量根据实际需要确定。所述真空炉体圆周上的的观察孔数量为2~6个。在所述真空炉体外壁的多个圆周上均设有观察孔、导轨及摄像机。在所述真空炉体外壁上涂有隔热材料。在所述真空炉体上各个圆周上的导轨之间连接有竖导轨，所述摄像机通过所述竖导轨实现摄像机在不同圆周上的切换。所述摄像机上设有滑轮，滑轮安装在导轨上，滑轮内设置有驱动电机，外部控制电脑通过控制滑轮内设置的驱动电机驱动滑轮旋转。本技术的有益效果：本技术通过设置多个观察孔及在多个观察孔之间切换的摄像机，操作人员可在电脑上查看摄像机拍摄的画面，实现了实时监控，且只需一名操作人员即可完成监控。同时可以通过一台...
【技术保护点】
一种氟化镱用沉积真空炉，包括真空炉体（1），其特征在于：在所述真空炉体（1）的圆周上设有若干观察孔（2），在所述观察孔（2）之间设有导轨（3），在所述导轨（3）上设有可在所述导轨（3）上滑动的摄像机（4）；所述摄像机（4）通过所述导轨（3）滑动至所述观察孔（2）位置。
【技术特征摘要】
1.一种氟化镱用沉积真空炉，包括真空炉体（1），其特征在于：在所述真空炉体（1）的圆周上设有若干观察孔（2），在所述观察孔（2）之间设有导轨（3），在所述导轨（3）上设有可在所述导轨（3）上滑动的摄像机（4）；所述摄像机（4）通过所述导轨（3）滑动至所述观察孔（2）位置。2.根据权利要求1所述的氟化镱用沉积真空炉，其特征在于：所述真空炉体（1）圆周上的的观察孔（2）数量根据实际需要确定。3.根据权利要求1所述的氟化镱用沉积真空炉，其特征在于：所述真空炉体（1）圆周上的的观察孔（2）数量为2~6个。4.根据权利要求1所述的氟化镱用沉积真空炉，其特征在于：在所述真...
【专利技术属性】
技术研发人员：滕刚，闫海滨，
申请(专利权)人：南京施密特光学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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