用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备制造技术

一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备，其包括沉积单元。所述沉积单元包括：基座，基板被安装在所述基座上；以及喷头，所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。

【技术实现步骤摘要】
201610172627

【技术保护点】
一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备，该金属有机化学气相沉积设备包括沉积单元，所述沉积单元包括：基座，基板被安装在所述基座上；以及喷头，所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。

【技术特征摘要】
2015.02.03 KR 10-2015-0016839;2015.03.31 KR 10-2011.一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备，该金属有机化学气相沉积设备包括沉积单元，所述沉积单元包括：基座，基板被安装在所述基座上；以及喷头，所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。2.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，该沉积设备还包括热障，所述热障被设置在所述喷头的面向所述基座的表面上。3.根据权利要求2所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述热障的热导率小于所述喷头的热导率；所述热障的热导率小于所述基座的热导率；或所述热障包括陶瓷或石英。4.根据权利要求2所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述喷头包括注射口、内部空间和排出孔，并且其中，所述热障包括与所述排出孔连通的通孔。5.根据权利要求4所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述排出孔和所述通孔中的每一个包括多个孔，使得所述排出孔与所述通孔一一对应；所述注射口包括一个注射口，所述多种原料气体通过所述一个注射口一同被注入；所述通孔具有从所述通孔的位于靠近所述排出孔的部分至所述通孔的位于与所述排出孔相反的部分逐渐增大的直径或截面面积；所述通孔具有圆锥形形状；所述通孔的靠近所述排出孔的部分的直径与所述排出孔的直径的比率在90％至110％的范围内；所述通孔的侧表面具有10度至20度的倾斜角；所述排出孔具有100um至1mm的直径；或所述排出孔包括以2/cm2至10/cm2的密度布置的多个排出孔。6.根据权利要求2所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述热障具有3mm
\t至30mm的厚度；或所述喷头与所述基座之间的距离在10um至100um的范围内。7.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述基座被固定为不旋转。8.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，该沉积设备还包括腔室，在所述腔室中限定设置有所述沉积单元的内部空间，其中，所述沉积单元包括在所述腔室中设置的多个沉积单元。9.根据权利要求8所述的金属有机化学气相沉积设备，其中，所述多个沉积单元中的每一个设置有4至25个基板或4至9个基板。10.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，该沉积设备还包括腔室，在所述腔室中限定设置有所述沉积单元的内部空间，其中，设置有用于提供反应气体的所述喷头的所述沉积单元包括与所述腔室的内部连接的多条排气管，并且在所述腔室中的工艺气体通过所述多条排气管被排放至外部，其中，要被沉积的所述基板被安装在所述腔室中...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳东柱，尹元基，李宪民，
申请(专利权)人：LG电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR