生产氮化硼制品的气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴、二级转轴和三级转轴，转轴上设有用于挂载模具的挂架。本实用新型专利技术能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气相沉积炉，具体涉及一种生产氮化硼制品的气相沉积炉。
技术介绍
生产氮化硼制品的工艺中需要使用到气相沉积炉，常规的气相沉积炉一般采用旋转的结构使模具在炉体内部进行公转，在加热的条件下进行气相沉积，而由于只能够进行公转，使得模具和产品的受热不够均匀，在气相沉积过程中容易产生残次品，造成氮化硼制品的质量不稳定。所以，需要设计出一种能够将模具进行高效公转和自转的炉体，确保氮化硼制品的产品质量和稳定性，提高气相沉积炉的生产效率。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题就在于克服现有技术的缺陷，提供一种生产氮化硼制品的气相沉积炉，它能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量；工作效率更高。为解决上述问题，本技术采用如下技术方案：生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；套轴为转动体的转动提供动力，是所有的转轴和模具发生公转，芯轴通过齿轮驱动所有的转轴发生自转，从而使所有的模具发生自转，实现模具和产品在炉体内的公转和自转；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴，一级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的二级转轴，二级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的三级转轴；所有一级转轴排列呈现的环形、所有二级转轴排列呈现的环形、所有三级转轴排列呈现的环形的轴线与芯轴轴线重合；所述一级转轴、二级转轴、三级转轴的上部均通过轴承与转动体转动连接；芯轴通过传动结构驱动所有的一级转轴、二级转轴、三级转轴转动。这样，芯轴通过传动结构驱动所有的转轴发生自转，继而实现转轴和模具产品的公转和自转，确保生产作业的效率和产品质量。优选的，传动结构包括设置在芯轴上的驱动齿轮，一级转轴的上端设有与驱动齿轮配合的一级从动齿轮；一级从动齿轮的下方的一级转轴上设有一级传动齿轮，一级转轴的径向外侧的二级转轴的上端设有与该一级转轴上的一级传动齿轮配合的二级从动齿轮；二级从动齿轮下方的二级转轴上设有二级传动齿轮，二级转轴的径向外侧的三级转轴的上端设有与该二级转轴上的二级传动齿轮配合的三级从动齿轮；芯轴转动驱动所有的一级转轴、二级转轴和三级转轴转动。这样通过芯轴的转动带动所有的转轴转动，提高驱动效率和同步转动效果。优选的，一级转轴、二级转轴、三级转轴的中部和下部设有用于悬挂模具的挂架。优选的，套轴的上端通过传动皮带与驱动电机的输出轴配合。驱动电机通过传动皮带带动套轴转动，实现所有转轴的公转。优选的，芯轴上端通过锁止环与炉体固定连接。锁止环固定芯轴，使芯轴能够竖直固定在炉体上。此时可以不驱动芯轴转动，在套轴驱动转动体转动的同时，一级从动齿轮与固定不转的一级传动齿轮啮合，使一级从动齿轮相对于芯轴发生转动，继而带动所有的转轴转动。可选的，芯轴的上端通过传动皮带与步进电机的输出轴配合。此时可以通过步进电机驱动芯轴转动，从而带动所有的转轴转动。优选的，转动体上设有6个一级转轴、12个二级转轴和24个三级转轴。本技术的优点和有益效果为：本技术生产氮化硼产品的气相沉积炉，通过套轴和芯轴的转动，能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量。附图说明图1为本技术生产氮化硼产品的气相沉积炉的结构示意图。图2为图1中A部分局部放大图。图3为图1中BB线剖视图。图中：1、三级转轴；2、轴承；3、三级从动齿轮；4、转动体；5、二级传动齿轮；6、二级转轴；7、二级从动齿轮；8、一级传动齿轮；9、一级从动齿轮；10、一级转轴；11、芯轴；12、套轴；13、驱动齿轮；14、固定套；15、顶壁；16、炉体；17、加热模块；18、挂架；19、底板；20、进气口；21、排气口。具体实施方式实施例1如图1至图3所示，本技术为生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体16，炉体16内壁上设有加热模块17，炉体16顶壁15上设有排气口21，炉体16的底板19上设有进气口20，还包括顶壁15下方的转动体4，顶壁15中央设有竖向的芯轴11，芯轴11圆周外侧套接有套轴12，套轴12下端的圆周外侧与转动体4的上端固定连接；芯轴11下端的圆周外侧通过轴承2和固定套14与转动体4下侧中央转动配合；套轴12为转动体4的转动提供动力，是所有的转轴和模具发生公转，芯轴11通过齿轮驱动所有的转轴发生自转，从而使所有的模具发生自转，实现模具和产品在炉体16内的公转和自转；芯轴11圆周外侧的转动体4上设有6个竖向呈环形并列设置的一级转轴10，一级转轴10外侧的转动体4上设有12个竖向呈环形并列设置的二级转轴6，二级转轴6外侧的转动体4上设有24个竖向呈环形并列设置的三级转轴1；所有一级转轴10排列呈现的环形、所有二级转轴6排列呈现的环形、所有三级转轴1排列呈现的环形的轴线与芯轴11轴线重合；所述一级转轴10、二级转轴6、三级转轴1的上部均通过轴承2与转动体4转动连接；芯轴11通过传动结构驱动所有的一级转轴10、二级转轴6、三级转轴1转动。这样，芯轴11通过传动结构驱动所有的转轴发生自转，继而实现转轴和模具产品的公转和自转，确保生产作业的效率和产品质量。传动结构包括设置在芯轴11上的驱动齿轮13，一级转轴10的上端设有与驱动齿轮13配合的一级从动齿轮9；一级从动齿轮9的下方的一级转轴10上设有一级传动齿轮8，一级转轴10的径向外侧的二级转轴6的上端设有与该一级转轴10上的一级传动齿轮8配合的二级从动齿轮7；二级从动齿轮7下方的二级转轴6上设有二级传动齿轮5，二级转轴6的径向外侧的三级转轴1的上端设有与该二级转轴6上的二级传动齿轮5配合的三级从动齿轮3；芯轴11转动驱动所有的一级转轴10、二级转轴6和三级转轴1转动。这样通过芯轴11的转动带动所有的转轴转动，提高驱动效率和同步转动效果。一级转轴10、二级转轴6、三级转轴1的中部和下部设有用于悬挂模具的本文档来自技高网...

【技术保护点】
生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，其特征在于，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴，一级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的二级转轴，二级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的三级转轴；所有一级转轴排列呈现的环形、所有二级转轴排列呈现的环形、所有三级转轴排列呈现的环形的轴线与芯轴轴线重合；所述一级转轴、二级转轴、三级转轴的上部均通过轴承与转动体转动连接；芯轴通过传动结构驱动所有的一级转轴、二级转轴、三级转轴转动；传动结构包括设置在芯轴上的驱动齿轮，一级转轴的上端设有与驱动齿轮配合的一级从动齿轮；一级从动齿轮的下方的一级转轴上设有一级传动齿轮，一级转轴的径向外侧的二级转轴的上端设有与该一级转轴上的一级传动齿轮配合的二级从动齿轮；二级从动齿轮下方的二级转轴上设有二级传动齿轮，二级转轴的径向外侧的三级转轴的上端设有与该二级转轴上的二级传动齿轮配合的三级从动齿轮；芯轴转动驱动所有的一级转轴、二级转轴和三级转轴转动。...

【技术特征摘要】
1.生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，
炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，其特征在于，还
包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套
接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端
的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；
芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一
级转轴，一级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的
二级转轴，二级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置
的三级转轴；所有一级转轴排列呈现的环形、所有二级转轴排列呈现
的环形、所有三级转轴排列呈现的环形的轴线与芯轴轴线重合；
所述一级转轴、二级转轴、三级转轴的上部均通过轴承与转动体
转动连接；芯轴通过传动结构驱动所有的一级转轴、二级转轴、三级
转轴转动；
传动结构包括设置在芯轴上的驱动齿轮，一级转轴的上端设有与
驱动齿轮配合的一级从动齿轮；一级从动齿轮的下方的...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33