【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及化学气相沉积技术的
，特别提供了一种化学气相沉积炉。
技术介绍
现有技术中，气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均匀，进气口常采用同心圆筒的方式，模具对准进气口，且有齿轮使每一只吊挂的产品都进行自转。然而，当制作大尺寸的热解氮化硼制品时，容易导致锅底较厚，而侧壁较薄，同时由于原料气体在空间分布的不均匀，导致壁厚分布不均匀的现象时有发生。当同时制作多个热解氮化硼制品时，也容易导致导致壁厚分布不均匀。人们期望获得一种技术效果优良的化学气相沉积炉。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种技术效果优良的化学气相沉积炉。本专利技术具体提供了一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成炉体I、进气口 2、出气口 3、模具4、旋转机构5以及发热体6 ;其中发热体6、进气口 2、出气口 3都布置在炉体I上，进气口 2设置在炉体I的上部，旋转机构5由转盘5. I、齿轮5. 2、连接轴5. 3、伞齿轮组5. 4、齿套5. 5以及电机5. 6组成，发热体6由感应线圈6. I、加热体6. 2以及石墨套筒6. 3组成；电机5. 6通过伞齿轮组5. 4与转盘5. I相连，齿轮5. 2共有5个且皆通过连接轴5. 3固定在转盘5. I上，且每个齿轮5. 2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮5.2的动作实现模具4在炉体I内的公转与自转；其特征在于所述旋转机构5设置在炉体I内的上端；进气口为三同心圆进气口。炉体I具体为双壁水冷炉体。该气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，在炉体I内或炉体...
【技术保护点】
化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体（1）、进气口（2）、出气口（3）、模具（4）、旋转机构（5）以及发热体（6）；其中：发热体（6）、进气口（2）、出气口（3）都布置在炉体（1）上，进气口（2）设置在炉体（1）的上部，旋转机构（5）由转盘（5.1）、齿轮（5.2）、连接轴（5.3）、伞齿轮组（5.4）、齿套（5.5）以及电机（5.6）组成，发热体（6）由感应线圈（6.1）、加热体（6.2）以及石墨套筒（6.3）组成；电机（5.6）通过伞齿轮组（5.4）与转盘（5.1）相连，齿轮（5.2）共有5个且皆通过连接轴（5.3）固定在转盘（5.1）上，且每个齿轮（5.2）上都设置有一个模具4；其特征在于：所述旋转机构（5）设置在炉体（1）内的上端；进气口为三同心圆进气口。
【技术特征摘要】
1.化学气相沉积炉，其由下述几部分构成炉体(I)、进气口(2)、出气口(3)、模具(4)、旋转机构(5)以及发热体(6);其中发热体(6)、进气口(2)、出气口(3)都布置在炉体(I)上，进气口(2)设置在炉体(I)的上部，旋转机构(5)由转盘(5. I)、齿轮(5. 2)、连接轴(5. 3)、伞齿轮组(5. 4)、齿套(5. 5)以及电机(5. 6)组成，发热体(6)由感应线圈(6. ...
【专利技术属性】
技术研发人员：季历程，
申请(专利权)人：南通天华和睿科技创业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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