气体喷洒模块制造技术

一种气体喷洒模块，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面和与其相对的进气面。供气板设于进气面，具有至少一第一气孔。气体分布板设于气体喷洒面与进气面之间的喷洒头主体内，具有多个第二气孔。气体喷洒板设于气体喷洒面，具有多个第三气孔。供气板与气体分布板的间距、气体分布板与气体喷洒板的间距介于7-9mm。第一气孔与第二气孔数量之比例、第二气孔与第三气孔数量的比例介于1∶4-1∶100。第二气孔的数量介于900个-1050个。第二气孔是沿气体分布板的表面上的两垂直方向呈45度角对称分布。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是有关于一种气体喷洒模块，且特别是有关于一种具有气体分布板，能使气体更均匀地喷出的气体喷洒模块。
技术介绍
随着镀膜工艺的发展，在化学气相沉积的反应过程中，如何将气体均匀地喷洒到腔室中便成为重要的问题。对此，气体喷洒模块(gas shower module),特别是气体喷洒头(gas showerhead)扮演了重要的角色。针对气体喷洒模块或气体喷洒头的设计与结构，已经有多种专利提出。美国专利US 7138336B2与美国专利US 7641939B2采用喷洒头进气、腔室侧边抽气的方式控制气体进出。美国专利US 6921437揭露一种可预先混合先驱气体的气体分布模块，但不适用于先 驱气体不可预先混合的工艺。美国专利US 6478872揭露一种将气体输送至腔室的方法，以及用于输送气体的喷洒头。然而该设计的构造复杂，且制造成本昂贵。
技术实现思路
本技术提供一种气体喷洒模块，相较于已知的气体喷洒模块可更均匀地喷洒气体。本技术提出一种气体喷洒模块，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面与相对气体喷洒面的进气面。供气板设于喷洒头主体的进气面，其中供气板具有至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体喷洒模块，其特征在于，包括：一喷洒头主体，具有一气体喷洒面与相对该气体喷洒面的一进气面；一供气板，设于该喷洒头主体的该进气面，其中该供气板具有至少一第一气孔；一气体分布板，设于该气体喷洒面与该进气面之间的该喷洒头主体内，其中该气体分布板具有多个第二气孔；以及一气体喷洒板，设于该喷洒头主体的该气体喷洒面，其中该气体喷洒板具有多个第三气孔，使一气体经由该供气板的该第一气孔流入该喷洒头主体内，并经该气体分布板的所述第二气孔扩散至该气体喷洒板，再自所述第三气孔喷出，该供气板与该气体分布板的间距在7mm？9mm之间，该气体分布板与该气体喷洒板的间距在7mm？9mm之间，该第一气孔的数量与所述第二...

【技术特征摘要】
2011.12.29 TW 1002249361.一种气体喷洒模块，其特征在于，包括 一喷洒头主体，具有一气体喷洒面与相对该气体喷洒面的一进气面； 一供气板，设于该喷洒头主体的该进气面，其中该供气板具有至少一第一气孔； 一气体分布板，设于该气体喷洒面与该进气面之间的该喷洒头主体内，其中该气体分布板具有多个第二气孔；以及 一气体喷洒板，设于该喷洒头主体的该气体喷洒面，其中该气体喷洒板具有多个第三气孔，使一气体经由该供气板的该第一气孔流入该喷洒头主体内，并经该气体分布板的所述第二气孔扩散至该气体喷洒板，再自所述第三气孔喷出， 该供气板与该气体分布板的间距在之间， 该气体分布板与该气体喷洒板的间距在7mm-9_之间， 该第一气孔的数量与所述第二气孔的数量的比例在I : 4-1 100之间， 所述第二气孔的数量与所述第三气孔的数量的比例在I : 4-...

【专利技术属性】
技术研发人员：王庆钧，黄智勇，陈建志，简荣祯，蔡陈德，林龚樑，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：