一种特气管道制造技术

一种特气管道，应用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备中。该特气管道将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便进行拆卸。与现有技术相比，本实用新型专利技术提出的特气管道，可以将特气孔拆卸下来进行清洗，甚至直接更换新的带孔螺母，从而避免了将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了明显提高。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池生产领域，尤其是一种等离子体增强化学气相沉积用的特气管道。
技术介绍
目前，太阳能电池是人类利用太阳能的有效方法之一。制备晶体硅太阳能电池的一般流程为表面清洗及织构化、扩散、等离子体去边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中镀膜一般都用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法沉积氮化硅膜作为减反射层。这层减反射层不仅可以减少硅片表面光的反射，即增加电池片的光吸收，而且可以很好的起到表面体钝化的作用。因此，其镀膜工艺和膜层质量越来越受到人们关注。 在PECVD设备镀膜过程中，气体会通过一定数量的孔均匀的分散，使得镀膜均匀性非常好，没有色差。因此，这些孔的质量对镀膜工艺非常关键，如德国Roth&Rau公司PECVD设备上的特气管道，多个特气孔的大小一致性将直接影响镀膜工艺。目前，最常用特气管道如图I。该特气管道包括主枝10，该主枝10为近似方形的空心管道，有四个面，在其一个面上设有多个特气孔11，如图2。分枝管道12的两端直接焊接在方形的主枝10上，并与其相通。分枝管道13的一端焊接在分枝管道12上，在其另一端有一个螺母14，该螺母本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种特气管道，其特征在于，包括：主枝，该主枝为中空的管道；多个大小一致的螺母口，以同一朝向均匀的分布于所述主枝上；对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通；第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端焊接在主枝上并与主枝保持气流畅通；第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端焊接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张春华，周剑，向宏伟，李栋，高文丽，孟祥熙，辛国军，章灵军，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯中国投资有限公司，
类型：实用新型
国别省市：