一种化学气相沉积炉进气分布装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置。其包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特点是在进气管的上部设有导流罩，导流罩呈下部开口的圆桶形结构，导流罩的顶部或侧壁设有通孔。所述进气管的上部封闭，侧壁均布有出气孔。所述导流罩由炭/炭复合材料制成。采用本实用新型专利技术的进气分布装置，并配合工件在沉积炉中的合理排放，可以方便的实现内进气压差法或外进气压差法生产工艺，不仅可提高CVI速率，还可大大缩短CVI周期，而且材料密度梯度少，材质均匀，尤其适合于炭/炭复合材料飞机刹车盘的制造。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学气相沉积炉，尤其涉及一种化学气相沉积炉进气分布装置。
技术介绍
化学气相沉积是炭源气体(如天然气、丙烯等烃类气体)经扩散进入到预制体工件空隙，高温下通常在900-1200度炭源气体裂解，沿狭长孔隙通道壁的气一固相界面产生沉积炭过程。预制体工件内孔隙通道较长，炭源气体在狭长孔隙内的扩散越深入，沉积效果越好，材料密度梯度少，材质越均勻。众所周知，传统的CVI (Chemical vapor infiltrtion)技术多采用内进气等温法，炭源气体由预制体工件外部向内部扩散并沉积致密，当外部孔隙通道被热解炭封堵后，炭源气体向内进一步扩散无法进行，导致材质出现一定程度的密度梯度，甚至材料的密度达不到要求，影响材质的各种性能。在真空状态下，炭源气体扩散受反应动力学控制扩散速率较慢，预制体工件密度达到要求要经过数个CVI周期，沉积周期较长，电能消耗大，炭源气体用量也较多，进而成本也高。沉积速率受扩散速率控制，即只 有炭源气体的扩散速率提高，才能加快沉积速率。对于类似刹车盘的环形工件沉积炭过程，由于受其工件形状所限，利用内进气等温法进行沉积，上述缺陷更为明显。炭/炭复合材料因其重量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积炉进气分布装置，包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特征在于，在所述进气管的上部设有导流罩，所述导流罩呈下部开口的圆桶形结构，所述导流罩上设有通孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉清，
申请(专利权)人：烟台鲁航炭材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：