本发明专利技术公开一种气体喷洒模块及其气体喷洒扫描装置，气体喷洒模块，其可以提供导引多种气体，并使该气体在模块内藉由气体通道的转折产生均匀扩散，使得气体可以均匀分布在气体喷洒模块内，在经由气体出口通道的导引均匀喷洒至基材上。此外，本发明专利技术还提供一种气体喷洒扫描装置，其将气体喷洒模块或者是承载基材的承载台耦设在可提供线性位移运动的位移驱动单元上，藉由线性位移运动将气体均匀洒布在基材上。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气体喷洒模块，尤其涉及一种可藉由扫描方式将气体均勻分布至基材上的一种气体喷洒模块及其气体喷洒扫描装置。
技术介绍
随着薄膜工艺的进步，在镀膜的过程中沉积的面积越来越大，而在沉积过程中气体的均勻度对于沉积的效果影响很大，而影响气体均勻度的诸多因素中，气体喷洒模块扮演相当重要的角色。如图1所示，该图是为现有的美国专利US. Pat. No. 7，270，713所教导的一种气体喷洒模块分解示意图。在该技术中，气体喷洒模块主要是由多层板状结构10所构成，一般而言，其在板体100上钻设多个孔洞，使得气体可以预先混合并且均勻的喷洒至腔体内。在图1的技术中，工艺气体进入混合腔11混合后，再从喇叭状的出气孔喷洒而出。此外，又如美国公开专利US. Pat. No. 6，478，872则揭露一种气体不会预先混合的气体喷洒模块构造， 其是由金属圆板所构成。该金属喷洒模块将两种气体分别导引，然后在喷洒模块外部喷洒出两种工艺气体。不过随着工艺能力的提升，待加工基材的面积变大，因此气体喷洒模块的长宽尺寸也必须随着待加工基材的面积增加。由于喷洒模块的尺寸增加，因此导致在加工时需要增加工时与成本。此外，在制造大面积的喷洒模块时，随着尺寸增加，则钻孔数也增加，进而在喷洒气体的均勻度上控制不易。为了提高大尺寸基板工艺的气体喷洒模块均勻度以及降低其制作成本，简化气体喷洒模块的结构设计是一个重要的课题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种气体喷洒模块，其是藉由单一层的结构设计，并不要经过复杂的加工以及组装，不但可以降低制造以及组装的成本，而且可以有效的将气体均勻的混合。在一实施例中，本专利技术提供一种气体喷洒模块，其包括有一本体；一对扩散通道部，其形成于该本体内；一对进气部，其分别与该对扩散通道部相连通；以及一出气部，其设置于该本体内且分别与该对扩散通道部相连接，该出气部于该本体的一表面上具有至少一出口。在另一实施例中，本专利技术提供一种气体喷洒扫描装置，其包括有一气体喷洒模块、一位移驱动单元，气体喷洒模块具有一本体；一对扩散通道部，其形成于该本体内；一对进气部，其分别与该对扩散通道部相连通；以及一出气部，其设置于该本体内且分别与该对扩散通道部相连接，该出气部于该本体的一表面上具有至少一出口 ；位移驱动单元提供至少一维度的线性位移运动，使该气体喷洒模块与设置于该气体喷洒模块一侧的一基材产生相对运动。本专利技术的功效在于，本专利技术提供的气体喷洒模块，其采用扩散区与混合区分离的4设计，首先将气体喷入到小体积的扩散腔(或扩散孔)内均勻扩散，均勻扩散的气体可以被预先混合或者是分别导引出喷洒模块再进行混合，最后藉由本专利技术的喷洒模块使得混合后的气体可以均勻的洒布在基材上。本专利技术提供的气体喷洒扫描模块，该气体喷洒模块藉由线性位移运动的方式，通过基材上的表面，使得喷洒模块所洒布的气体可以均勻的分布于基材的表面，使得在大尺寸的基材上也可以均勻的将气体洒布以提升工艺的良率。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。 附图说明图1为现有的美国专利US. Pat. No. 7，270，713所教导的一种气体喷洒模块分解示意图；图2A与图2B为本专利技术的气体喷洒模块第一实施例局部立体透视与剖面示意图；图2C为本专利技术的气体喷洒模块第一实施例立体示意图；图2D为本专利技术的气体喷洒模块第一实施例先趋气体混合示意图；图3A为本专利技术的图2A所示出气通道组的出气通口排列示意图；图;3B与图3C为本专利技术的出气通道组的出气通口排列另一实施例示意图；图4A至图4D分别为本专利技术的出气通道开口轮廓示意图；图5为本专利技术的出气部另一实施例示意图；图6A至图6C为出气通道的出口轮廓示意图；图7A与图7B为本专利技术的气体喷洒模块第二实施例立体示意图以及剖面示意图；图8A为本专利技术的气体喷洒模块第三实施例立体与局部透视示意图；图8B为本专利技术的气体喷洒模块第三实施例的剖面示意图；图9为本专利技术的气体喷洒模块第四实施例剖面示意图；图10为本专利技术的第四实施例的出气部另一实施例示意图；图11为本专利技术的气体喷洒扫描装置第一实施例示意图；图12A为本专利技术的气体喷洒扫描装置第一实施侧视示意图；图12B为本专利技术的气体喷洒扫描装置第二实施侧视示意图。其中，附图标记10-多层板状结构10100-板体11-混合腔2-气体喷洒膜组20-本体21、22-扩散通道部210、220_第一扩散通道211、221-第二扩散通道212、222_ 连络通道213、223-钻口214、224-柱塞215、225_ 第一扩散槽216、226_ 第二扩散槽217、227-连络通道218、228_ 连络通道23、24-进气部230、240-气体通道25-出气部250、251-出气通道组252-混合气通道253-混合气开槽2500、2510-出气通道26-开槽27-混合槽体28、290、291、292-侧板293-气密组件90-法向量91、92_先趋气体3-气体喷洒扫描模块30-位移驱动单元31-基材32-载台33-基材具体实施例方式为了能对本专利技术的特征、目的及功能有更进一步的认知与了解，下文特将本专利技术的装置的相关细部结构以及设计的理念原由进行说明，本专利技术的特点详细说明陈述如下请参阅图2A与图2B所示，该图为本专利技术的气体喷洒模块第一实施例立体与剖面示意图。该气体喷洒模块2包括有一本体20、一对扩散通道部21与22、一对进气部23与 M以及一出气部25。该本体20可以为一金属或者是非金属的结构本体。在本实施例中，该本体虽为一长条状的矩形本体，但其构形并不以该形状为限制。该对扩散通道部21与22， 其形成于该本体20内的两侧。在本实施例中，该对扩散通道部21与22分别为一第一扩散通道210与220，其贯穿该本体20分别与该进气部23与M与该出气部25相连通。该对进气部23与M，在本实施例中，为至少一个与该第一扩散通道210与220相连接的气体通道 230与M0，其数量只要有至少一个或者是多个都可以实施。该出气部25在本实施例中， 为一对分别与第一扩散通道210与220相连接的出气通道组250与251。每一出气通道组 250或251具有多个出气通道2500与2510。请参阅图3A所示，该图为本专利技术的图2A所示出气通道组的出气通口排列示意图。根据图2A与图3A所示的实施例中，该出气通道2500 与2510的开口呈现交错重叠排列的分布方式，使喷出的气体在该气体喷洒模块移动进行扫描的过程中可以完整且均勻的将气体喷洒在被扫描的平面(基材)上。当然也可以呈现如图:3B与图3C所示的直线形的排列，其排列方式根据需要而定，并无一定的限制。如图4A至图4D所示，该图分别为本专利技术的出气通道开口轮廓示意图。出气通道 2500或2510的出口轮廓形状可以有各种不同的形式，可以根据需要而定，并不以图4A至 4D所示的实施态样为限制。开口的轮廓可以为多边形，例如图4A的矩形，或者是具有弧度的轮廓，例如图4B的圆形开口、图4C的椭圆形开口或者是如图4D的长形状的开口等。 除了通道形式的方式之外，如图5所示，该图为本专利技术的出气部另一实施例示意图。在图5 的实施例中，为了方便说明只绘出了单一侧的出气部，而该出气部为一开槽26，其与该扩散本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江铭通，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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