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一种气体喷洒模块，包括喷洒头主体、供气板、气体分布板以及气体喷洒板。喷洒头主体具有气体喷洒面和与其相对的进气面。供气板设于进气面，具有至少一第一气孔。气体分布板设于气体喷洒面与进气面之间的喷洒头主体内，具有多个第二气孔。气体喷洒板设于气体喷...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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