一种高能效石墨舟制造技术

本实用新型专利技术涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。该高能效石墨舟包括石墨舟舟片、陶瓷环、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨块，所述石墨舟舟片按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片之间设置有一个陶瓷环，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨块将石墨舟舟片两端连接，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的石墨舟舟片的一侧其上部设置有上石墨电极块，其下部设置有下石墨电极块，其另一侧设置有陶瓷片，所述陶瓷片设置在上石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。

A high-energy Shi Mozhou

The utility model relates to a graphite boat, in particular to a high energy efficiency graphite boat field. The high efficiency graphite boat comprises graphite sheet, Zhouzhou ceramic ring, ceramic rods, graphite rods, graphite nut and graphite block, the graphite sheet Zhouzhou according to certain intervals are evenly arranged, a ceramic ring is arranged between each of the two pieces of graphite sheet of the graphite rod Zhouzhou, Zhouzhou and penetrates into the graphite graphite graphite block Zhouzhou connected to both ends of the graphite sheet, one side piece Zhouzhou end of the graphite Zhouzhou at the center of the upper part is provided with a graphite electrode, graphite electrode is arranged at the lower part of the block, the other side is provided with a ceramic plate, the ceramic plate is arranged on the graphite electrode block and at the center of the graphite sheet shape the two sides. Due to the addition of insulating ceramic sheets, the electric field is changed, the electric field is uniformly distributed in the entire graphite boat, the chromatic aberration rate of the silicon wafer is lowered, and the uniformity of the silicon nitride layer structure on the silicon wafer surface is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种高能效石墨舟
本技术涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。
技术介绍
现有的石墨舟承载硅片后在管式PECVD内做沉积反应，由于原有石墨舟高频辉光电极是由炉尾（以管式PECVD为参照物）传导至炉口，从而会出现高频电场效应炉尾至炉口依次减弱，引起沉积速率不一致，导致色差；其次由于辉光会产生热能，高频电场强产生的热能就多，导致炉尾温度和炉口温度偏差大，从而改变硅片表面钝化的效果，产生的结构不一致，改变了硅片的结构的统一性。为了解决以上技术问题，有必要将现有技术进行改良，设计一种高能效石墨舟，该高能效石墨舟的其中一层的最中心处的一片石墨舟片采用陶瓷片进行绝缘处理，使得该层的能量通过此石墨舟片从电极端传导到舟体另一端，能量按从内向外的传导顺序分别传导给此层舟体的其它石墨片，然后此层其它石墨舟片将能量从另外一端传导至电极端，而另外一个舟体的能量则直接从电极端传导到另一端，舟体两极能量通过这样的传导方式，以便舟体上能量均匀传导，从而使炉管内的沉积速率相近。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。
技术实现思路
为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高能效石墨舟，包括石墨舟舟片（1）、陶瓷环（2）、陶瓷棒（3）、石墨棒（4）、石墨螺帽（5）和石墨块（6），其特征在于：所述石墨舟舟片（1）按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片（1）之间设置有一个陶瓷环（2），所述石墨舟舟片（1）上均开有用于固定的安装孔（10），所述陶瓷棒（3）穿入安装孔（10）将石墨舟舟片（1）和陶瓷环（2）连接成一个整体，在两块相邻的石墨舟舟片（1）和两根相邻的陶瓷环（2）之间构成了物料存放空间，所述陶瓷棒（3）的两端用石墨螺帽（5）拧紧固定，所述石墨舟舟片（1）的两端与其相邻的石墨舟舟片（1）间设置有石墨块（6），所述石墨棒（4）穿入石墨舟舟片（1）和石墨块（6）...

【技术特征摘要】
1.一种高能效石墨舟，包括石墨舟舟片（1）、陶瓷环（2）、陶瓷棒（3）、石墨棒（4）、石墨螺帽（5）和石墨块（6），其特征在于：所述石墨舟舟片（1）按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片（1）之间设置有一个陶瓷环（2），所述石墨舟舟片（1）上均开有用于固定的安装孔（10），所述陶瓷棒（3）穿入安装孔（10）将石墨舟舟片（1）和陶瓷环（2）连接成一个整体，在两块相邻的石墨舟舟片（1）和两根相邻的陶瓷环（2）之间构成了物料存放空间，所述陶瓷棒（3）的两端用石墨螺帽（5）拧紧固定，所述石墨舟舟片（1）的两端与其相邻的石墨舟舟片（1）间设置有石墨块（6），所述石墨棒（4）穿入石墨舟舟片（1）和石墨块（6）将石墨舟舟片（1）两端连接，所述石墨棒（4）的两端用石墨螺帽（5）固定，所述石墨舟舟片（1）其中一端最中心处的石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄春雨，
申请(专利权)人：苏州旗正保精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32