一种石墨舟片的勾点保护件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟片的勾点保护件，涉及石墨舟技术领域。石墨舟片上穿设有勾点，所述勾点保护件位于相邻两石墨舟片之间，并罩在相邻的两个石墨舟片上相对的两个卡位部上，且所述勾点保护件与相邻的两个石墨舟片之间均为密封配合。本实用新型专利技术在相邻两石墨舟片之间设置勾点保护件，在镀舟过程中用于避免勾点表面沉积薄膜，防止勾点与硅片之间产生接触电阻、勾点处烧焦，延长了勾点的使用寿命，提高了良品率，降低了生产成本。

Hook protector for graphite boat sheet

The utility model discloses a hook protector for graphite boat sheets, which relates to the technical field of graphite boats. Tablets are arranged on the graphite boat hook, the hook protector is located adjacent to two pieces of graphite boat, and relative cover in two adjacent graphite boat on the two clamping part, and the hook point protection element and two adjacent pieces are sealed with Shi Mozhou. The utility model is provided with hook protector between two adjacent graphite boat, the boat in the process of plating to avoid deposition of hook surface film, prevent contact resistance, burning point between the hook hook and hook the wafer, prolong the service life, improve the yield and reduce the cost of production.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟片的勾点保护件
本技术涉及石墨舟
，尤其涉及一种石墨舟片的勾点保护件。
技术介绍
太阳能电池生产过程中利用管式PECVD在硅片上镀减反射膜，利用石墨舟上的勾点对硅片进行支撑，然后在硅片上沉积氮化硅薄膜。石墨舟在使用过程中随着使用次数的增加，其表面沉积的氮化硅薄膜的厚度也随之增加，影响石墨舟在使用中的导电性和电场均匀性等，对硅片上沉积的氮化硅薄膜的质量造成影响。基于以上描述，石墨舟在使用过程中需要定期清洗，在清洗烘干后需要进行镀舟，即在石墨舟表面沉积一层均匀的氮化硅薄膜，使石墨舟电场较为均匀，保证在硅片上沉积氮化硅薄膜时的沉积速率一致。但在镀舟过程中会使勾点处沉积大量氮化硅，影响勾点导电性，增加勾点与硅片之间的接触电阻，易出现勾点烧焦的现象，影响勾点使用寿命，降低了良品率，同时也避免了使用易损耗且成本较高的石墨舟假片。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种石墨舟片的勾点保护件，解决了在镀舟过程中勾点表面沉积薄膜，勾点与硅片之间产生接触电阻以及勾点处易烧焦的问题。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种石墨舟片的勾点保护件，所述石墨舟片上穿设有勾点，所述勾点保护件位于相邻两石墨舟片之间，并罩在相邻的两个石墨舟片上相对的两个卡位部上，且所述勾点保护件与相邻的两个石墨舟片之间均为密封配合。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件为一体的中空结构。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件为一体结构，两端分别开设有相互对称的内凹的容置部，两端的容置部之间互不连通。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件两端的容置部由中间部连接。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述容置部为半球状。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件包括两个包覆结构，两个包覆结构远离石墨舟片的一端相互抵持。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件由硅树脂玻璃纤维或者硅橡胶玻璃纤维制成。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件由陶瓷制成。作为上述石墨舟片的勾点保护件的一种优选方案，所述勾点保护件的横截面的形状为圆环形。本技术的有益效果：本技术提出的石墨舟片的勾点保护件，设置在相邻两石墨舟片之间，在镀舟过程中用于保护勾点，避免了勾点表面沉积薄膜，防止了勾点与硅片之间产生接触电阻、勾点处烧焦，延长了勾点的使用寿命，提高了良品率，降低了生产成本。附图说明图1是本技术实施例一提供的石墨舟片的结构示意图。图2是本技术实施例一提供的勾点的结构示意图。图3是本技术实施例一提供的勾点和勾点保护件配合的结构示意图。图4是本技术实施例二提供的勾点和勾点保护件配合的结构示意图。图5是本技术实施例三提供的勾点和勾点保护件配合的结构示意图。图中：1、石墨舟片；2、勾点；3、勾点保护件；21、卡位部；41、容置部；42、中间部；51、包覆结构。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。实施例一：如图1-3所示，本实施方式保护一种石墨舟片的勾点保护件，石墨舟片1上穿设有勾点2，勾点2包括定位部和卡位部21，卡位部21突出于石墨舟片的表面，勾点保护件3位于相邻两石墨舟片1之间，勾点保护件3罩在相邻的两个石墨舟片1上相对的两个卡位部21上，且勾点保护件3与相邻的两个石墨舟片1之间均为密封配合，勾点保护件3套在勾点2的卡位部21上，防止镀舟过程中在勾点2的卡位部21上沉积大量氮化硅，避免防止勾点2与硅片之间的接触电阻增加，有效地防止勾点2处烧焦，增加勾点2使用寿命，提高良品率，避免石墨舟假片的使用，降低了生产成本。该实施例中的勾点保护件3的横截面的形状为圆环形，该结构的勾点保护件3加工操作方便，同时还可以根据具体情况选择勾点保护件3的具体结构形状，例如勾点保护件3的外表面的截面形状为正方形，内表面的截面形状为圆形。具体的，勾点保护件3为一体的中空结构由陶瓷制成，该结构简单，加工方便，陶瓷的绝缘、耐高温性能，能够避免对勾点保护件3与石墨舟片1之间的电场的影响。勾点保护件3还可以由硅树脂玻璃纤维或者硅橡胶玻璃纤维制成，该勾点保护件3耐高温，绝缘，耐磨性好。实施例二：如图4所示，与实施例一不同之处在于：勾点保护件3为一体结构，两端分别开设有相互对称的内凹的容置部41，两端的容置部41之间互不连通，且由中间部42连接，具体的，容置部41为半球状，半球状的容置部41与卡位部21的配合，稳定性更好，防止镀舟过程中在勾点2的卡位部21上沉积大量氮化硅，减少了勾点2与硅片的接触电阻，增加了勾点2的使用寿命。该实施例中的勾点保护件3的材质可以选择陶瓷、硅树脂玻璃纤维或者者硅橡胶玻璃纤维。实施例三：如图5所示，勾点保护件3还包括两个包覆结构51，两个包覆结构51远离石墨舟片1的一端相互抵持。勾点保护件3采用两个包覆结构51相互抵持，容易拆卸。注意，上述仅为本技术的较佳实施例。本领域技术人员会理解，本技术不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本技术的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本技术进行了较为详细的说明，但是本技术不仅仅限于以上实施例，在不脱离本技术构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本技术的范围由所附的权利要求范围决定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟片的勾点保护件，所述石墨舟片(1)上穿设有勾点(2)，其特征在于，所述勾点保护件(3)位于相邻两石墨舟片(1)之间，并罩在相邻的两个石墨舟片(1)上相对的两个卡位部(21)上，且所述勾点保护件(3)与相邻的两个石墨舟片(1)之间均为密封配合。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟片的勾点保护件，所述石墨舟片(1)上穿设有勾点(2)，其特征在于，所述勾点保护件(3)位于相邻两石墨舟片(1)之间，并罩在相邻的两个石墨舟片(1)上相对的两个卡位部(21)上，且所述勾点保护件(3)与相邻的两个石墨舟片(1)之间均为密封配合。2.根据权利要求1所述的石墨舟片的勾点保护件，其特征在于，所述勾点保护件(3)为一体的中空结构。3.根据权利要求1所述的石墨舟片的勾点保护件，其特征在于，所述勾点保护件(3)为一体结构，两端分别开设有相互对称的内凹的容置部(41)，两端的容置部(41)之间互不连通。4.根据权利要求3所述的石墨舟片的勾点保护件，其特征在于，所述勾点保护件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：静福印，黄红娜，何为晋，赵洪俊，廖海伦，王凯，
申请(专利权)人：奥特斯维能源太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32