本实用新型专利技术公开了一种工作效率较高且能够减少硅片受污染几率的用于石墨舟上下片装置。该用于石墨舟上下片装置，包括支架，支架上设置有托架，托架上方设置有机械手，支架上设置有硅片上料盒与硅片下料盒，硅片上料盒上连接有支撑架，支架上设置有升降装置，硅片上料盒的外侧设置有自动上片装置；在工作时，利用自动上片装置将上一个工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒内，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，大大降低了工人的劳动强度，节约了人力成本，提高了工作效率，同时，降低了硅片被污染的几率。适合在硅片加工设备领域推广应用。
【技术实现步骤摘要】
用于石墨舟上下片装置
本技术涉及硅片加工设备领域，尤其是一种用于石墨舟上下片装置。
技术介绍
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，在晶体硅表面淀积减反射膜技术中，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力，从而被广泛采用。在晶体硅太阳能电池制造过程中，制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法，简称为PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。目前，在晶体硅太阳能电池制造过程中，用于制备氮化硅膜的装置主要包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述进气口上连接有用于通入制程气体的进气管，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有真空泵，真空泵的进口与排放管的出口相连，真空泵的出口连接有尾排管，其中，在将硅片放置于石墨舟上或将硅片从石墨舟内取出时通过人工实现硅片的取放，这是一种单调、重复的体力劳动，效率非常低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种工作效率较高且能够减少硅片受污染几率的用于石墨舟上下片装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该用于石墨舟上下片装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上设置有硅片上料盒与硅片下料盒，所述机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒内；所述硅片下料盒通过可拆卸结构固定在支架上，所述硅片上料盒上连接有支撑架，所述支架上设置有用于使支撑架上下移动的升降装置，所述硅片上料盒的外侧设置有自动上片装置；所述硅片上料盒包括底板，所述底板的上表面设置有第一挡板与第二挡板，所述第一挡板与第二挡板平行设置，所述第一挡板朝向第二挡板的一侧表面设置有多个第一卡槽，所述第二挡板朝向第一挡板的一侧表面设置有多个第二卡槽，多个第一卡槽与多个第二卡槽一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽内，硅片的另一端卡入与第一卡槽对应的第二卡槽内，所述相邻的两个第一卡槽之间的间距与相邻的两个卡板之间的间距相同，所述第一卡槽的数量与卡板的数量相同，所述硅片下料盒与硅片上料盒的结构相同；所述自动上片装置包括无头的第一输送带、无头的第二输送带、第一主动轮、第二主动轮、第一从动轮、第二从动轮，无头的第一输送带依次绕过第一主动轮和第一从动轮并且第一输送带被第一主动轮和第一从动轮绷紧，无头的第二输送带依次绕过第二主动轮和第二从动轮并且第二输送带被第二主动轮和第二从动轮绷紧，第一主动轮与第二主动轮分别与驱动电机相连，所述第一主动轮与第二主动轮的中心轴线互相重合，所述第一从动轮与第二从动轮的中心轴线互相重合，所述第一输送带与第二输送带互相平行且位于上层第一输送带与位于上层的第二输送带位于同一水平面，所述第一主动轮靠近硅片上料盒；所述第一主动轮、第二主动轮、第一从动轮、第二从动轮均通过轴承固定在支架上，所述第一输送带与第二输送带之间设置有支撑平台，所述支撑平台的上表面设置有接近开关，所述接近开关位于第一输送带与第二输送带之间且接近开关处于位于上层的第一输送带所在平面的下方，所述接近开关上连接有控制器，所述控制器与升降装置、驱动电机相连接；所述机械手包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨，两个第一滑轨固定在支架上，所述移动平台的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽，两个第一滑轨分别卡入两个第一滑槽内，所述移动平台上连接有用于使移动平台来回移动的第一驱动装置，所述移动平台的上表面设置有第二滑槽，所述第二滑槽与第一滑槽互相垂直，所述第二滑槽内设置有第一滑块，所述第一滑块沿第二滑槽来回滑动，所述第二滑槽内设置有用于使第一滑块来回移动的第二驱动装置，所述第一滑块上固定有第一支撑板，所述第一支撑板水平设置，所述第一支撑板的下表面固定有第一U形支撑架，所述第一支撑板与第一U形支撑架围成第一通孔，所述移动平台穿过第一通孔，所述第一U形支撑架的底部固定有第二支撑板，所述第二支撑板竖直设置，所述第二支撑板的一侧设置有第一支撑杆，所述第二支撑板上设置有用于使第一支撑杆上下移动的第三驱动装置，所述第一支撑杆上固定有第一支撑架，所述第一支撑架上设置有第一转动轴，所述第一转动轴通过轴承固定在第一支撑架上，所述第一支撑架上设置有用于使第一转动轴转动的第四驱动装置，所述第一转动轴的末端连接有硅片吸取装置；所述硅片吸取装置包括底座，所述底座的一侧表面固定在第一转动轴的末端，底座的另一侧表面固定有多个卡板，多个卡板依次平行设置，相邻的两个卡板之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔，每个固定孔内设置有一个固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每个通孔中心设置有吸盘，吸盘上连接有多个弹簧，多个弹簧与多个固定孔一一对应，弹簧的一端固定在吸盘上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一侧表面设置有多个导线槽，导线槽的数量与通孔的数量相同，每个导线槽与一个通孔连通，导线槽内设置有压缩空气管，压缩空气管的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘相连，所述吸盘、多个弹簧、每个固定孔内的固定板、每个导线槽内的压缩空气管均位于卡板的两个表面组成的间隙空间内。进一步的是，所述第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置均为电动推杆。进一步的是，所述第四驱动装置为旋转电机。进一步的是，每个卡板上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。进一步的是，所述第一挡板的上端与第二挡板的上端通过U形连接板相连。进一步的是，所述可拆卸结构为卡扣。进一步的是，所述升降装置为步进电机。进一步的是，所述支架上设置有限位挡块，所述限位挡块与位于硅片上料盒的内侧，所述限位挡块的上表面与位于上层的第一输送带所在平面之间的间距等于第一卡槽的槽宽。进一步的是，所述第一输送带的外侧设置有推板，推板上连接有电动气缸，所述电动气缸与控制器相连接，所述第二输送带的外侧设置有挡板，所述挡板与推板相对设置且二者互相平行，所述接近开关位于推板与挡板之间。本技术的有益效果是：该用于石墨舟上下片装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，接着利用自动上片装置将上一个工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒内，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，节约了人力成本，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率，同时，整个过程中，减少了硅片本文档来自技高网...
【技术保护点】
用于石墨舟上下片装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上设置有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒(5)内；所述硅片下料盒(5)通过可拆卸结构固定在支架(1)上，所述硅片上料盒(4)上连接有支撑架(7)，所述支架(1)上设置有用于使支撑架(7)上下移动的升降装置(8)，所述硅片上料盒(4)的外侧设置有自动上片装置(6)；所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同；所述自动上片装置(6)包括无头的第一输送带(601)、无头的第二输送带(602)、第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮，无头的第一输送带(601)依次绕过第一主动轮(603)和第一从动轮(604)并且第一输送带(601)被第一主动轮(603)和第一从动轮(604)绷紧，无头的第二输送带(602)依次绕过第二主动轮和第二从动轮并且第二输送带(602)被第二主动轮和第二从动轮绷紧，第一主动轮(603)与第二主动轮分别与驱动电机(605)相连，所述第一主动轮(603)与第二主动轮的中心轴线互相重合，所述第一从动轮(604)与第二从动轮的中心轴线互相重合，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)互相平行且位于上层第一输送带(601)与位于上层的第二输送带(602)位于同一水平面，所述第一主动轮(603)靠近硅片上料盒(4)；所述第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮均通过轴承固定在支架(1)上，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)之间设置有支撑平台(606)，所述支撑平台(606)的上表面设置有接近开关(607)，所述接近开关(607)位于第一输送带(601)与第二输送带(602)之间且接近开关(607)处于位于上层的第一输送带(601)所在平面的下方，所述接近开关(607)上连接有控制器(608)，所述控制器(608)与升降装置(8)、驱动电机(605)相连接；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(309)，所述第一支撑板(308)与第一U形支撑架(309)围成第一通孔(310)，所述移动平台(301)穿过第一通孔(310)，所述第一U形支撑架(309)的底部固定有第二支撑板(311)，所述第二支撑板(311)竖直设置，所述第二支撑板(311)的一侧设置有第一支撑杆(312)，所述第二支撑板(311)上设置有用于使第一支撑杆(312)上下移动的第三驱动装置(313)，所述第一支撑杆(312)上固定有第一支撑架(314)，所述第一支撑架(314)上设置有第一转动轴(315)，所述第一转动轴(315)通过轴承固定在第一支撑架(314)上，所述第一支撑架(314)上设置有用于使第一转动轴(315)转动的第四驱动装置(316)，所述第一转动轴(315)的末端连接有硅片吸取装置(317)；所述硅片吸取装置(317)包括底座(31701)，所述底座(3...
【技术特征摘要】
1.用于石墨舟上下片装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上设置有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒(5)内；所述硅片下料盒(5)通过可拆卸结构固定在支架(1)上，所述硅片上料盒(4)上连接有支撑架(7)，所述支架(1)上设置有用于使支撑架(7)上下移动的升降装置(8)，所述硅片上料盒(4)的外侧设置有自动上片装置(6)；所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同；所述自动上片装置(6)包括无头的第一输送带(601)、无头的第二输送带(602)、第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮，无头的第一输送带(601)依次绕过第一主动轮(603)和第一从动轮(604)并且第一输送带(601)被第一主动轮(603)和第一从动轮(604)绷紧，无头的第二输送带(602)依次绕过第二主动轮和第二从动轮并且第二输送带(602)被第二主动轮和第二从动轮绷紧，第一主动轮(603)与第二主动轮分别与驱动电机(605)相连，所述第一主动轮(603)与第二主动轮的中心轴线互相重合，所述第一从动轮(604)与第二从动轮的中心轴线互相重合，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)互相平行且位于上层第一输送带(601)与位于上层的第二输送带(602)位于同一水平面，所述第一主动轮(603)靠近硅片上料盒(4)；所述第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮均通过轴承固定在支架(1)上，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)之间设置有支撑平台(606)，所述支撑平台(606)的上表面设置有接近开关(607)，所述接近开关(607)位于第一输送带(601)与第二输送带(602)之间且接近开关(607)处于位于上层的第一输送带(601)所在平面的下方，所述接近开关(607)上连接有控制器(608)，所述控制器(608)与升降装置(8)、驱动电机(605)相连接；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈五奎，刘强，耿荣军，任超，黄振华，徐文州，
申请(专利权)人：乐山新天源太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。