下载用于石墨舟上下片装置的技术资料

文档序号:15606321

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本实用新型公开了一种工作效率较高且能够减少硅片受污染几率的用于石墨舟上下片装置。该用于石墨舟上下片装置,包括支架,支架上设置有托架,托架上方设置有机械手,支架上设置有硅片上料盒与硅片下料盒,硅片上料盒上连接有支撑架,支架上设置有升降装置,硅...
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